一种提高原料利用率的六氟化钨制备装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种提高原料利用率的六氟化钨制备装置，属于六氟化钨制备技术领域。所述装置包括回收罐、流化床反应器、吹扫气管、冷凝器、收集罐、压缩机、缓冲罐、含氟混合气罐以及进料机构。六氟化钨制备前，在流化床反应器中匀气盘作用下，吹扫气体可均匀分吹出，吹扫气体将流化床反应器内部进行吹扫并抽真空，制备六氟化钨时，接料盘可避免钨粉沉积在流化床反应器底部无法参与反应，保证钨粉充分反应，并且利用过滤盘将钨粉过滤，避免钨粉随着气体进入第一管道内部，提高了原料的利用率，也使得生成的六氟化钨纯度高，六氟化钨制备后，利用吹扫气管的吹扫气体进行脉冲式反吹，使附在过滤盘上的钨粉被吹下，回收罐进行回收，减少物料浪费。减少物料浪费。减少物料浪费。

【技术实现步骤摘要】
一种提高原料利用率的六氟化钨制备装置


[0001]本技术涉及一种提高原料利用率的六氟化钨制备装置，属于六氟化钨制备


技术介绍

[0002]六氟化钨，分子式为WF6，分子量为297.830。无色气体或浅黄色液体，固体为易潮解的白色结晶，在潮湿空气中冒烟。
[0003]六氟化钨主要用在电子工业中，尤其在半导体领域中有着十分广泛的应用，是金属钨化学气相沉积工艺的原材料，能很大程度避免放射性杂质α粒子在记忆电路中的软误差。
[0004]现有技术中，工业上常用固定床反应器进行六氟化钨的制备反应，但存在以下几种问题：
[0005]1.在制备反应的过程中，生成的气体易夹带钨粉进入冷凝器的内部，这样会降低制备的质量，也造成了物料的浪费；
[0006]2.在制备反应前，往往不能够充分将流化床反应器内进行充分的吹扫，影响制备的效果；
[0007]3.在制备反应的过程中，金属钨粉容易沉积在流化床反应器底部无法参与反应，导致金属钨粉的利用率不高。

技术实现思路

[0008]为克服现有技术存在的缺陷，本技本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种提高原料利用率的六氟化钨制备装置，其特征在于：所述装置包括回收罐(1)、流化床反应器、吹扫气管(16)、冷凝器(18)、收集罐(20)、压缩机(21)、缓冲罐(22)、含氟混合气罐(25)以及进料机构；回收罐(1)通过连接管道(2)与流化床反应器之间相连通，流化床反应器顶部设有出气口(11)通过第一管道(17)与冷凝器(18)相连通，冷凝器(18)与收集罐(20)之间相连通，冷凝器(18)通过第二管道(19)与压缩机(21)相连通，压缩机(21)与缓冲罐(22)之间通过管道相连通，缓冲罐(22)与流化床反应器之间通过第三管道(23)相连通，含氟混合气罐(25)通过第四管道(24)与第三管道(23)相连通；流化床反应器的左侧设置有进料机构，进机构通过输料口(9)与流化床反应器连通；第一管道(17)的侧壁设置有吹扫气管(16)，吹扫气管(16)与吹扫气罐连接，所述吹扫气为氮气或惰性气体；吹扫气管(16)、第一管道(17)、第二管道(19)、第三管道(23)以及第四管道(24)上均设置有...

【专利技术属性】
技术研发人员：林坤，王少波，张长金，马朝选，王亚峰，白雪萍，秦海庆，杨万吉，
申请(专利权)人：中船重工邯郸派瑞特种气体有限公司，
类型：新型
国别省市：