一种用于气体混合的混气设备制造技术

一种用于气体混合的混气设备，包括：主柜体、电控箱体、气体供应单元、分析单元、缓冲单元、控制显示操作单元和报警单元，电控箱体设于主柜体内左侧上部，气体供应单元与主柜体内部连接，分析单元与气体供应单元连接，缓冲单元与主柜体内部连接，控制显示操作单元与主柜体和电控箱体连接，报警单元与主柜体和控制显示操作单元连接。本实用新型专利技术与传统技术相比，通过利用计算机控制技术，实现气体按比例混合流程编好程式，通过程式控制气动阀自己完成气体按比例混合并进行分析，从而避免因人为误操作引起的设备损害和人身危害。

A gas mixing equipment for gas mixing

【技术实现步骤摘要】
一种用于气体混合的混气设备
本技术涉及气体输送设备上流体控制的
，具体涉及一种用于气体混合的混气设备。
技术介绍
由于全球电子、光伏产业的蓬勃发展，及我国政府大力提倡科技兴国，国内半导体、光伏制造业发展迅猛。据2006年中国半导体产业研究报告指出：“2006年底，中国国内有近50家晶圆制造厂，112家IC封装和IC装配厂，450家IC设计公司。2006年中国国内半导体产业产值807亿元人民币，大约为100亿美元，其中封测350亿元，晶圆制造242亿元，IC设计215亿元。中国国内半导体市场的规模在2006年超过600亿美元。其中前20大厂家就占有300亿美元以上。”光伏产业在近两年快速发展，是未来新能源产业的主力军。而在半导体、光伏相关产业常用的制程中需要使用带许多特殊气体，其中一种就是混气。以往的混气都使用的是预先制好的放置在钢瓶中的混气，这就存着要经常更换钢瓶，而对于一些特殊的气体如4％H2/N2的混合气，在经常反复的拆装钢瓶中，可能会因为泄漏给人体甚至整个工厂造成危害；另外因为H2和N2的密度不同，防止较久的钢瓶，可本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于气体混合的混气设备，其特征在于，包括：主柜体(100)、电控箱体(200)、气体供应单元(300)、分析单元(400)、缓冲单元(500)、控制显示操作单元(600)和报警单元(700)，所述电控箱体(200)设于主柜体(100)内左侧上部，所述气体供应单元(300)与主柜体(100)内部连接，所述分析单元(400)与气体供应单元(300)连接，所述缓冲单元(500)与主柜体(100)内部连接，所述控制显示操作单元(600)与主柜体(100)和电控箱体(200)连接，所述报警单元(700)与主柜体(100)和控制显示操作单元(600)连接；/n其中，所述气体供应单元(300)包括：...

【技术特征摘要】
1.一种用于气体混合的混气设备，其特征在于，包括：主柜体(100)、电控箱体(200)、气体供应单元(300)、分析单元(400)、缓冲单元(500)、控制显示操作单元(600)和报警单元(700)，所述电控箱体(200)设于主柜体(100)内左侧上部，所述气体供应单元(300)与主柜体(100)内部连接，所述分析单元(400)与气体供应单元(300)连接，所述缓冲单元(500)与主柜体(100)内部连接，所述控制显示操作单元(600)与主柜体(100)和电控箱体(200)连接，所述报警单元(700)与主柜体(100)和控制显示操作单元(600)连接；
其中，所述气体供应单元(300)包括：原料气入口隔离阀(310)、原料气入口气动阀(320)、原料气过滤器(330)、原料气调压阀(340)、支路前隔离阀(350)、质量流量控制器(360)、支路气动阀(370)、支路后隔离阀(380)、吹扫隔离阀(390)、排放隔离阀(3100)、背压阀(3200)、分析隔离阀(3300)、排放气动阀(3400)、供应气动阀(3500)、缓冲单元隔离阀(3600)、调压阀(3700)、出口气动阀(3800)、出口隔离阀(3900)、测试阀(3910)、压力传感器(3920)、质量流量计(3930)、真空发生器(3940)和管路(3950)，所述原料气入口隔离阀(310)前端通过管路(3950)与主柜体(100)外部连接，所述原料气入口隔离阀(310)后端与原料气入口气动阀(320)连接，所述原料气入口气动阀(320)后端与管路(3950)连接，所述原料气入口气动阀(320)后端的管路(3950)与压力传感器(3920)连接，所述原料气过滤器(330)设于原料气入口气动阀(320)后端，所述原料气调压阀(340)设于原料气过滤器(330)后端，所述支路前隔离阀(350)设于原料气调压阀(340)后端的管路(3950)上，所述原料气调压阀(340)后端的管路(3950)上设有压力传感器(3920)，所述支路后隔离阀(380)设于支路气动阀(370)后端的管路(3950)上，所述排放隔离阀(3100)与支路气动阀(370)后端的管路(3950)连接，所述质量流量控制器(360)设于支路前隔离阀(350)后端连接，所述支路气动阀(370)与质量流量控制器(360)后端连接，所述背压阀(3200)设于原料气混合之后的管路(3950)上，所述原料气混合之后的管路(3950)上设有压力传感器(3920)和分析隔离阀(3300)，所述背压阀(3200)后端通过管路(3950)与供应气动阀(3500)连接，所述背压阀(3200)后端的管路(3950)中设有排放气动阀(3400)，所述排放气动阀(3400)后端与排放管路(3951)连接，所述供应气动阀(3500)后端与缓冲单元隔离阀(3600)连接，所述缓冲单元隔离阀(3600)后端通过管路(3950)与调压阀(3700)连接，所述缓冲单元隔离阀(3600)后端的管路(3950)设有压力传感器(3920)和分析隔离阀(3300)，所述调压阀(3700)后端通过管路(3950)与质量流量计(3930)连接，所述调压阀(3700)后端的管路(3950)中设有压力传感器(3920)，所述质量流量计(3930)后端通过管路(3950)与出口气动阀(3800)连接，所述质量流量计(3930)后端的管路(3950)中设有排放阀(3931)，所述排放阀(3931)与测试阀(3910)连接，所述出口气动阀(3800)后端与出口隔离阀(3900)连接，所述出口隔离阀(3900)后端与工艺机台连接，所述真空发生器(3940)设于排放管路(3951)中，所述真空发生器(3940)后端设有排放隔离阀(3100)，所述原料气入口气动阀(320)、质量流量控制器(360)、支路气动阀(370)、排放气动阀(3400)、供应气动阀(3500)、出口气动阀(3800)、质量流量计(3930)与控制显示操作单元(600)连接。


2.根据权利要求1所述的一种用于气体混合的混气设备，其特征在于：所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：甘万，杨欣，江福荣，
申请(专利权)人：上海盛韬半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31