一种用于液体钢瓶充装的设备制造技术

一种用于液体钢瓶充装的设备，包括：主架子、操作面板、充装单元、抽真空单元和控制箱，操作面板与主架子连接，充装单元与操作面板连接，抽真空单元通过管路与操作面板和充装单元连接，控制箱与抽真空单元连接。本实用新型专利技术与传统技术相比，能够实现液体的快速充装。能够实现液体的快速充装。能够实现液体的快速充装。

【技术实现步骤摘要】
一种用于液体钢瓶充装的设备


[0001]本技术涉及液体钢瓶充装
，具体涉及一种用于液体钢瓶充装的设备。

技术介绍

[0002]由于全球电子、光伏产业的蓬勃发展，及我国政府大力提倡科技兴国，国内半导体、光伏制造业发展迅猛。据2006年中国半导体产业研究报告指出：“2006年底，中国国内有近50家晶圆制造厂，112家IC封装和IC装配厂，450家IC设计公司。2006年中国国内半导体产业产值807亿元人民币，大约为100亿美元，其中封测350亿元，晶圆制造242亿元，IC设计215亿元。中国国内半导体市场的规模在2006年超过600亿美元。其中前20大厂家就占有300亿美元以上。”光伏产业在近两年快速发展，是未来新能源产业的主力军。
[0003]而在半导体、光伏相关产业常用的制程中需要使用带许多液体，液体一般通过钢瓶储存，所以一定涉及到钢瓶气体的充装。
[0004]为了解决上述问题，我们做出了一系列改进。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于，提供一种用于液体钢瓶充装的设备，以克服现有技术所存在的上述缺点和不足。
[0006]一种用于液体钢瓶充装的设备，包括：主架子、操作面板、充装单元、抽真空单元和控制箱，所述操作面板与主架子连接，所述充装单元与操作面板连接，所述抽真空单元通过管路与操作面板和充装单元连接，所述控制箱与抽真空单元连接；
[0007]其中，所述操作面板包括：氦气入口阀、第一PT隔离阀、第二PT隔离阀、第三PT隔离阀、氦气调压阀、第一氦气气动阀、第二氦气气动阀、氮气入口阀、氮气分流阀、氮气气动阀、液体入口阀、液体隔离阀、液体气动阀、液体回转气动阀、液体回转调压阀、液体回转隔离阀、分析气动阀、分析调压阀、分析隔离阀、第一储存气动阀、第二储存气动阀、储存调压阀、储存隔离阀、充装气动阀、第一过滤器、第二过滤器、第三过滤器、第四过滤器、单向阀、压力表、压力传感器、温度传感器、安全阀、主管路和垫片式爆破片，所述氦气入口阀前端接入氦气，所述氦气入口阀后端通过管路与氦气调压阀连接，所述第一过滤器、单向阀和压力表与氦气入口阀和氦气调压阀中间连接，所述第一过滤器后侧管路与第一PT隔离阀前端连接，所述第一PT隔离阀后端与压力传感器连接，所述单向阀后侧管路与第二氦气气动阀连接，所述氦气调压阀后端通过管路与第一氦气气动阀连接，所述氦气调压阀和第一氦气气动阀中间设置有压力表，所述第一氦气气动阀后端与主管路连接，所述第二氦气气动阀前端通过管路与氦气入口阀连接，所述第二氦气气动阀后端与主管路连接，所述氮气入口阀前端通过管路接入氮气，所述氮气入口阀后端通过管路与氮气气动阀连接，所述氮气入口阀前端通过管路与入氮气分流阀连接，所述氮气入口阀后端管路中设置有第二过滤器和单向阀，所述第二过滤器和单向阀的中间管路与第二PT隔离阀连接，所述第二PT隔离阀后端设
置有压力传感器，所述氮气气动阀后端与主管路连接，所述液体入口阀前端接入液体，所述液体入口阀后端通过管路连接汇总，所述液体入口阀后端与第三过滤器、第四过滤器和液体隔离阀连接，所述液体入口阀后端管路中设置有压力表，所述第一过滤器、第二过滤器和液体隔离阀后端通过管路连接汇总与液体气动阀连接，所述液体气动阀后端与主管路连接，所述液体回转气动阀前端与主管路连接，所述液体回转气动阀后端通过管路与液体回转调压阀连接，所述液体回转气动阀和液体回转调压阀中间的管路设置有压力表，所述液体回转调压阀后端通过管路与液体回转隔离阀连接，所述液体回转调压阀和液体回转隔离阀中间的管路设置有压力表和单向阀，所述液体回转隔离阀后端接出至液体罐，所述分析气动阀前端与主管路连接，所述分析气动阀后端通过管路与分析调压阀连接，所述分析气动阀和分析调压阀中间的管路设置有压力表，所述分析调压阀后端通过管路与分析隔离阀连接，所述分析调压阀和分析隔离阀中间的管路设置有压力表和单向阀，所述第一储存气动阀和第二储存气动阀前端与主管路连接，所述第二储存气动阀后端通过管路与储存调压阀连接，所述第二储存气动阀和储存调压阀中间的管路设置有压力表，所述储存调压阀后端与第一储存气动阀后端连接，所述第一储存气动阀后端的管路中设置有压力表和单向阀，所述第一储存气动阀后端的管路与储存柜连接，所述储存隔离阀前端与主管路连接，所述储存隔离阀后端通过管路与储存柜连接，所述储存隔离阀后端的管路中设置有压力传感器、垫片式爆破片、安全阀和单向阀，所述第三PT隔离阀前端与主管路连接，所述第三PT隔离阀后端与压力表和压力传感器连接，所述温度传感器与主管路连接，所述充装气动阀前端与主管路连接，所述充装气动阀后端通过管路与充装单元和抽真空单元连接。
[0008]进一步，所述充装单元包括：充装管路、充装阀、钢瓶和气控开关阀，所述充装管路与充装气动阀连接，所述充装阀与充装管路连接，所述钢瓶与充装阀连接，所述气控开关阀与操作面板连接，所述充装阀数量为10个，所述钢瓶数量为20个。
[0009]进一步，所述抽真空单元包括：入口阀、第一排放阀、第二排放阀、泵和真空计，所述入口阀前端与操作面板和充装单元中间的管路连接，所述入口阀后端与第一排放阀和第二排放阀连接，所述第二排放阀通过管路与泵连接，所述第二排放阀和泵中间的管路设置有压力传感器和真空计。
[0010]本技术的有益效果：
[0011]本技术与传统技术相比，能够实现液体的快速充装。
附图说明：
[0012]图1为本技术的外部结构示意图。
[0013]图2为本技术的内部结构示意图。
[0014]图3为本技术的充装操作面板的结构示意图。
[0015]图4为本技术的抽真空单元的结构示意图。
[0016]附图标记：
[0017]主架子100、操作面板200、氦气入口阀210、第一PT隔离阀220、第二PT隔离阀230、第三PT隔离阀240、氦气调压阀250、第一氦气气动阀260、第二氦气气动阀270、氮气入口阀280、氮气分流阀290、氮气气动阀2100、液体入口阀2200、液体隔离阀2300、液体气动阀2400、液体回转气动阀2500、液体回转调压阀2600、液体回转隔离阀2700、分析气动阀2800、
分析调压阀2900、分析隔离阀2010、第一储存气动阀2020、第二储存气动阀2030、储存调压阀2040、储存隔离阀2050、充装气动阀2060、第一过滤器2070、第二过滤器2080、第三过滤器2090、第四过滤器2001、单向阀2002、压力表2003、压力传感器2004、温度传感器2005、安全阀2006、主管路2007和垫片式爆破片2008。
[0018]充装单元300、充装管路310、充装阀320、钢瓶330和气控开关阀340。
[0019]抽真空单元400、入口阀410、第一排放阀420、第二排放阀430、泵440、真空计450和控制箱500。
具体实施方式
[0020]以下结合具体实施例，对本技术作进步说明。应理解，以下实施例仅用于本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于液体钢瓶充装的设备，其特征在于，包括：主架子(100)、操作面板(200)、充装单元(300)、抽真空单元(400)和控制箱(500)，所述操作面板(200)与主架子(100)连接，所述充装单元(300)与操作面板(200)连接，所述抽真空单元(400)通过管路与操作面板(200)和充装单元(300)连接，所述控制箱(500)与抽真空单元(400)连接；其中，所述操作面板(200)包括：氦气入口阀(210)、第一PT隔离阀(220)、第二PT隔离阀(230)、第三PT隔离阀(240)、氦气调压阀(250)、第一氦气气动阀(260)、第二氦气气动阀(270)、氮气入口阀(280)、氮气分流阀(290)、氮气气动阀(2100)、液体入口阀(2200)、液体隔离阀(2300)、液体气动阀(2400)、液体回转气动阀(2500)、液体回转调压阀(2600)、液体回转隔离阀(2700)、分析气动阀(2800)、分析调压阀(2900)、分析隔离阀(2010)、第一储存气动阀(2020)、第二储存气动阀(2030)、储存调压阀(2040)、储存隔离阀(2050)、充装气动阀(2060)、第一过滤器(2070)、第二过滤器(2080)、第三过滤器(2090)、第四过滤器(2001)、单向阀(2002)、压力表(2003)、压力传感器(2004)、温度传感器(2005)、安全阀(2006)、主管路(2007)和垫片式爆破片(2008)，所述氦气入口阀(210)前端接入氦气，所述氦气入口阀(210)后端通过管路与氦气调压阀(250)连接，所述第一过滤器(2070)、单向阀(2002)和压力表(2003)与氦气入口阀(210)和氦气调压阀(250)中间连接，所述第一过滤器(2070)后侧管路与第一PT隔离阀(220)前端连接，所述第一PT隔离阀(220)后端与压力传感器(2004)连接，所述单向阀(2002)后侧管路与第二氦气气动阀(270)连接，所述氦气调压阀(250)后端通过管路与第一氦气气动阀(260)连接，所述氦气调压阀(250)和第一氦气气动阀(260)中间设置有压力表(2003)，所述第一氦气气动阀(260)后端与主管路(2007)连接，所述第二氦气气动阀(270)前端通过管路与氦气入口阀(210)连接，所述第二氦气气动阀(270)后端与主管路(2007)连接，所述氮气入口阀(280)前端通过管路接入氮气，所述氮气入口阀(280)后端通过管路与氮气气动阀(2100)连接，所述氮气入口阀(280)前端通过管路与入氮气分流阀(290)连接，所述氮气入口阀(280)后端管路中设置有第二过滤器(2080)和单向阀(2002)，所述第二过滤器(2080)和单向阀(2002)的中间管路与第二PT隔离阀(230)连接，所述第二PT隔离阀(230)后端设置有压力传感器(2004)，所述氮气气动阀(2100)后端与主管路(2007)连接，所述液体入口阀(2200)前端接入液体，所述液体入口阀(2200)后端通过管路连接汇总，所述液体入口阀(2200)后端与第三过滤器(2090)、第四过滤器(2001)和液体隔离阀(2300)连接，所述液体入口阀(2200)后端管路中设置有压力表(2003)，所述第一过滤器(2070)、第二过滤器(2080)和液体隔离阀(2300)后端通过管路连接汇总与液体气动阀(2400)连接，所述液体气动阀(2...

【专利技术属性】
技术研发人员：甘万，杨欣，江福荣，
申请(专利权)人：上海盛韬半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：