一种防爆气体加热的设备制造技术

一种防爆气体加热的设备，包括：防爆加热模块、加热保温罐、工艺气进口和工艺气出口，防爆加热模块与加热保温罐上部连接，工艺气进口和工艺气出口与加热保温罐上部连接。其中，防爆加热模块包括：防爆盒、防爆盒顶盖、防爆通头、电器接头、防爆盒底座、铂热电阻温度传感器、温控器、接线端子和接线柱。本实用新型专利技术与传统技术相比，通过在调压阀前增设加热模块，进行预加热，能够使气体在经过减压时因为温度降低而使调压阀及其它部件冷凝结冰的现象有效缓解，提高阀门及部件的使用寿命。提高阀门及部件的使用寿命。提高阀门及部件的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种防爆气体加热的设备


[0001]本技术涉及气体输送设备上气体加热的
，具体涉及一种防爆气体加热的设备。

技术介绍

[0002]由于全球电子、光伏产业的蓬勃发展，及我国政府大力提倡科技兴国，国内半导体、光伏制造业发展迅猛。据2006年中国半导体产业研究报告指出：“2006年底，中国国内有近50家晶圆制造厂，112家IC封装和IC装配厂，450家IC设计公司。2006年中国国内半导体产业产值807亿元人民币，大约为100亿美元，其中封测350亿元，晶圆制造242亿元，IC设计215亿元。中国国内半导体市场的规模在2006年超过600亿美元。其中前20大厂家就占有300亿美元以上。”光伏产业在近两年快速发展，是未来新能源产业的主力军。
[0003]而在半导体、光伏相关产业常用的制程中需要使用带许多特殊气体，而某些气体在通过减压后，因为温度降低而使调压阀及其它部件冷凝结冰，导致阀门及部件的寿命受损和气体的不能正常供应。所以加热模块显得及其重要。
[0004]加热模块主要用在半导体、光伏产业中为工艺机台连续配送工艺气体的设备上，加热气体。
[0005]在目前和以前的某些特气输送设备，若不使用加热模块，则有可能导致气体不能正常运输和供应。
[0006]为了解决上述问题，我们做出了一系列改进。

技术实现思路

[0007]本技术的目的在于，提供一种防爆气体加热的设备，以克服现有技术所存在的上述缺点和不足。
[0008]一种防爆气体加热的设备，包括：防爆加热模块、加热保温罐、工艺气进口和工艺气出口，所述防爆加热模块与加热保温罐上部连接，所述工艺气进口和工艺气出口与加热保温罐上部连接；
[0009]其中，所述防爆加热模块包括：防爆盒、防爆盒顶盖、防爆通头、电器接头、防爆盒底座、铂热电阻温度传感器、温控器、接线端子和接线柱，所述防爆盒与加热保温罐上部连接，所述防爆盒顶盖与防爆盒顶部连接，所述防爆通头与防爆盒两侧连接，所述电器接头与防爆通头连接，所述防爆盒底座与防爆盒底部连接，所述铂热电阻温度传感器与接线柱连接，所述温控器与防爆盒内连接，所述铂热电阻温度传感器与加热保温罐内连接，所述接线端子与温控器连接。
[0010]进一步，所述加热保温罐包括：外壳、保温层、铸铝、盘管和隔离法兰，所述保温层与外壳内侧连接，所述铸铝与保温层内侧连接，所述盘管与铸铝内部连接，所述隔离法兰与外壳顶部连接。
[0011]本技术的有益效果：
[0012]本技术与传统技术相比，通过在调压阀前增设加热模块，进行预加热，能够使气体在经过减压时因为温度降低而使调压阀及其它部件冷凝结冰的现象有效缓解，提高阀门及部件的使用寿命。
附图说明：
[0013]图1为本技术的结构示意图。
[0014]图2为本技术的俯视图。
[0015]附图标记：
[0016]防爆加热模块100、防爆盒110、防爆盒顶盖120、防爆通头130、电器接头140、防爆盒底座150、铂热电阻温度传感器160、温控器170、接线端子180和接线柱190。
[0017]加热保温罐200、外壳210、保温层220、铸铝230、盘管240、隔离法兰250、工艺气进口300和工艺气出口400。
具体实施方式
[0018]以下结合具体实施例，对本技术作进步说明。应理解，以下实施例仅用于说明本技术而非用于限定本技术的范围。
[0019]实施例1
[0020]图1为本技术的结构示意图。图2为本技术的俯视图。
[0021]如图1和2所示，一种防爆气体加热的设备，包括：防爆加热模块100、加热保温罐200、工艺气进口300和工艺气出口400，防爆加热模块100与加热保温罐200上部连接，工艺气进口300和工艺气出口400与加热保温罐200上部连接；
[0022]其中，防爆加热模块100包括：防爆盒110、防爆盒顶盖120、防爆通头130、电器接头140、防爆盒底座150、铂热电阻温度传感器160、温控器170、接线端子180和接线柱190，防爆盒110与加热保温罐200上部连接，防爆盒顶盖120与防爆盒110顶部连接，防爆通头130与防爆盒110两侧连接，电器接头140与防爆通头130连接，防爆盒底座150与防爆盒110底部连接，铂热电阻温度传感器160与接线柱190连接，温控器170与防爆盒110内连接，铂热电阻温度传感器160与加热保温罐200内连接，接线端子180与温控器170连接。
[0023]加热保温罐200包括：外壳210、保温层220、铸铝230、盘管240和隔离法兰250，保温层220与外壳210内侧连接，铸铝230与保温层220内侧连接，盘管240与铸铝230内部连接，隔离法兰250与外壳210顶部连接。
[0024]本技术的工作原理是，通过接线柱190，接入加热电源，接线柱190共四个，分为两组，单组功率为600W或1200W，两组全接时功率翻倍，设定温控器170的温度，过温开关根据气体性质，大部分会被限制在65℃以下，部分冷却效应过高的气体会限制在100℃，当模块达到动作温度时会进行自我保护，然后接好电器接头140和控制器，控制模块里的电源和信号，固定电器接头140出来的线缆在线缆固定座上，接入工艺气体在工艺气进口300，接出工艺气体在工艺气出口400，防爆加热模块100所有接口准备就绪，工艺气体进入防爆加热模块100，气体温度升高直至达到设定温度60℃左右，气体正常供应，加热模块根据接口管径，加热功率，温度和流量的不同，设计有三种规格，可供用户选择。本技术通过在调压阀前增设加热模块，进行预加热，能够使气体在经过减压时因为温度降低而使调压阀及
其它部件冷凝结冰的现象有效缓解，提高阀门及部件的使用寿命。
[0025]以上对本技术的具体实施方式进行了说明，但本技术并不以此为限，只要不脱离本技术的宗旨，本技术还可以有各种变化。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种防爆气体加热的设备，其特征在于，包括：防爆加热模块(100)、加热保温罐(200)、工艺气进口(300)和工艺气出口(400)，所述防爆加热模块(100)与加热保温罐(200)上部连接，所述工艺气进口(300)和工艺气出口(400)与加热保温罐(200)上部连接；其中，所述防爆加热模块(100)包括：防爆盒(110)、防爆盒顶盖(120)、防爆通头(130)、电器接头(140)、防爆盒底座(150)、铂热电阻温度传感器(160)、温控器(170)、接线端子(180)和接线柱(190)，所述防爆盒(110)与加热保温罐(200)上部连接，所述防爆盒顶盖(120)与防爆盒(110)顶部连接，所述防爆通头(130)与防爆盒(110)两侧连接，所述电器接头(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：甘万，杨欣，江福荣，
申请(专利权)人：上海盛韬半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：