一种用于特殊气体钢瓶预处理的烘箱设备制造技术

一种用于特殊气体钢瓶预处理的烘箱设备，包括：操作单元、烘箱单元、控制显示操作单元、声光报警器和急停按钮，操作单元与烘箱单元外部连接，控制显示操作单元与烘箱单元连接，声光报警器和急停按钮与控制显示操作单元表面连接。其中，操作单元包括：架子、氦气入口阀、氦气手动阀、氦气备用阀、吹扫气备用阀、吹扫气一级手阀、吹扫气一级调压阀、吹扫气二级手阀、吹扫气二级调压阀、吹扫气气动阀、分析口阀、管路阀、压力表、压力传感器、真空计、排放气动阀、抽真空气动阀、支路排放气动阀、抽真空阀、真空电磁阀、泵、仪表气入口阀、仪表气备用阀和仪表气调压阀。本实用新型专利技术与传统技术相比，配件系统化集成，避免人为引起的设备和人身损害。避免人为引起的设备和人身损害。避免人为引起的设备和人身损害。

【技术实现步骤摘要】
一种用于特殊气体钢瓶预处理的烘箱设备


[0001]本技术涉及特殊气体钢瓶充装
，具体涉及一种用于特殊气体钢瓶预处理的烘箱设备。

技术介绍

[0002]由于全球电子、光伏产业的蓬勃发展，及我国政府大力提倡科技兴国，国内半导体、光伏制造业发展迅猛。据2006年中国半导体产业研究报告指出：“2006年底，中国国内有近50家晶圆制造厂，112家IC封装和IC装配厂，450家IC设计公司。2006年中国国内半导体产业产值807亿元人民币，大约为100亿美元，其中封测350亿元，晶圆制造242亿元，IC设计215亿元。中国国内半导体市场的规模在2006年超过600亿美元。其中前20大厂家就占有300亿美元以上。”光伏产业在近两年快速发展，是未来新能源产业的主力军。
[0003]而在半导体、光伏相关产业常用的制程中需要使用带许多特殊气体，特殊气体一般通过钢瓶储存，所以一定涉及到钢瓶气体的充装预处理；目前市场上一些设备，钢瓶的预处理很少有加热功能的，对于钢瓶预处理的质量和效果上不很理想影响充装气体质量，从而影响后端电子产品的质量，造成很大的损失。
[0004]为了解决上述问题，我们做出了一系列改进。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于，提供一种用于特殊气体钢瓶预处理的烘箱设备，以克服现有技术所存在的上述缺点和不足。
[0006]一种用于特殊气体钢瓶预处理的烘箱设备，包括：操作单元、烘箱单元、控制显示操作单元、声光报警器和急停按钮，所述操作单元与烘箱单元外部连接，所述控制显示操作单元与烘箱单元连接，所述声光报警器和急停按钮与控制显示操作单元表面连接；
[0007]其中，所述操作单元包括：架子、氦气入口阀、氦气手动阀、氦气备用阀、吹扫气备用阀、吹扫气一级手阀、吹扫气一级调压阀、吹扫气二级手阀、吹扫气二级调压阀、吹扫气气动阀、分析口阀、管路阀、压力表、压力传感器、真空计、排放气动阀、抽真空气动阀、支路排放气动阀、抽真空阀、真空电磁阀、泵、仪表气入口阀、仪表气备用阀和仪表气调压阀，所述架子与烘箱单元内部连接，所述氦气入口阀前端与外部接入气体连接，所述氦气入口阀前端与压力表连接，所述氦气入口阀后端与氦气手动阀连接，所述氦气手动阀后端与吹扫气一级手阀连接，所述氦气手动阀和吹扫气一级手阀中间与压力表连接，所述氦气备用阀与氦气入口阀和氦气手动阀中间连接，所述吹扫气备用阀与氦气手动阀和吹扫气一级手阀中间连接，所述吹扫气一级手阀后端与吹扫气一级调压阀连接，所述吹扫气一级调压阀与压力表连接，所述吹扫气一级调压阀后端与吹扫气二级手阀连接，所述吹扫气二级手阀后端与吹扫气二级调压阀连接，所述吹扫气二级调压阀后端与吹扫气气动阀连接，所述吹扫气二级调压阀和吹扫气气动阀中间与压力表连接，所述吹扫气气动阀后端与管路阀连接，所述吹扫气气动阀和管路阀中间与压力表和压力传感器连接，所述分析口阀前端与吹扫气气
动阀和管路阀中间连接，所述分析口阀后端与分析设备连接，所述管路阀后端与烘箱单元内部连接，所述排放气动阀前端与吹扫气气动阀和管路阀中间连接，所述排放气动阀后端与外部排放点连接，所述抽真空气动阀前端与吹扫气气动阀和管路阀中间连接，所述抽真空气动阀后端与抽真空阀连接，所述支路排放气动阀前端与吹扫气气动阀和管路阀中间连接，所述支路排放气动阀后端与抽真空气动阀和抽真空阀中间连接，所述抽真空气动阀和抽真空阀中间与真空计连接，所述抽真空阀后端与泵连接，所述真空电磁阀前端与抽真空阀和泵中间连接，所述真空电磁阀后端与外部排放点连接，所述泵后端与外部排放点连接，所述仪表气入口阀前端与外部接入点连接，所述仪表气入口阀后端与仪表气调压阀连接，所述仪表气入口阀和仪表气调压阀中间与压力表连接，所述仪表气调压阀后端与吹扫气气动阀、排放气动阀、抽真空气动阀和支路排放气动阀连接，所述仪表气调压阀与压力表连接，所述仪表气备用阀与仪表气入口阀和仪表气调压阀中间连接，所述仪表气备用阀后端与设备外部连接，所述吹扫气气动阀、抽真空气动阀、支路排放气动阀、排放气动阀、压力传感器、真空计和泵与控制显示操作单元连接。
[0008]进一步，所述烘箱单元包括：箱体、管路、电加热器和排风扇，所述管路与箱体内部连接，所述管路前端与管路阀连接，所述管路与钢瓶连接，所述电加热器与箱体顶部连接，所述排风扇与箱体顶部连接，所述电加热器和排风扇与控制显示操作单元连接。
[0009]进一步，所述控制显示操作单元包括：电控箱体、微处理器、触摸屏和温度显示器，所述触摸屏与电控箱体连接，所述微处理器与电控箱体内部连接，所述电控箱体与架子上部连接，所述微处理器与触摸屏连接，所述温度显示器与电控箱体连接。
[0010]进一步，所述操作单元内设有第一安全阀、第二安全阀、第三安全阀、第四安全阀、爆破片、缓冲罐、排污阀和切换面板，所述第一安全阀与吹扫气一级调压阀和吹扫气二级手阀中间连接，所述第二安全阀与吹扫气二级调压阀和吹扫气气动阀中间连接，所述第三安全阀与吹扫气气动阀和管路阀中间连接，所述第四安全阀与仪表气调压阀后端连接，所述爆破片与抽真空气动阀和抽真空阀中间连接，所述缓冲罐与泵后端连接，所述排污阀与缓冲罐连接，所述切换面板与操作单元内连接。
[0011]进一步，所述切换面板包括：N2入口阀、Ar入口阀、气体入口阀、备用阀和切换管路，所述N2入口阀前端与N2接入点连接，所述N2入口阀和N2接入点中间与压力表连接，所述N2入口阀后端与切换点连接，所述Ar入口阀前端与Ar接入点连接，所述Ar入口阀和Ar接入点中间与压力表连接，所述Ar入口阀后端与切换点连接，所述气体入口阀前端通过切换管路与切换点连接，所述切换管路与压力表连接，所述气体入口阀后端与吹扫气一级手阀连接，所述备用阀前端与切换管路连接。
[0012]本技术的有益效果：
[0013]本技术与传统技术相比，通过将设备进行系统集成，通过系统控制气动阀自己完成钢瓶的预处理工作，从而避免因人为误操作引起的设备损害和人身危害。
附图说明：
[0014]图1为本技术的外部结构示意图。
[0015]图2为本技术的外部结构后视图。
[0016]图3为本技术烘箱单元的内部结构示意图。
[0017]图4为本技术的结构示意图。
[0018]图5为本技术的控制逻辑图。
[0019]附图标记：
[0020]操作单元100、架子110、氦气入口阀120、氦气手动阀130、氦气备用阀140、吹扫气备用阀150、吹扫气一级手阀160、吹扫气一级调压阀170、吹扫气二级手阀180、吹扫气二级调压阀190、吹扫气气动阀1100、分析口阀1200、管路阀1300、压力表1400、压力传感器1500、真空计1600、排放气动阀1700、抽真空气动阀1800、支路排放气动阀1900、抽真空阀1110、真空电磁阀1120、泵1130、仪表气入口阀1140、仪表气备用阀1150和仪表气调压阀1160。
[0021]第一安全阀101、第二安全阀102、本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于特殊气体钢瓶预处理的烘箱设备，其特征在于，包括：操作单元(100)、烘箱单元(200)、控制显示操作单元(300)、声光报警器(400)和急停按钮(500)，所述操作单元(100)与烘箱单元(200)外部连接，所述控制显示操作单元(300)与烘箱单元(200)连接，所述声光报警器(400)和急停按钮(500)与控制显示操作单元(300)表面连接；其中，所述操作单元(100)包括：架子(110)、氦气入口阀(120)、氦气手动阀(130)、氦气备用阀(140)、吹扫气备用阀(150)、吹扫气一级手阀(160)、吹扫气一级调压阀(170)、吹扫气二级手阀(180)、吹扫气二级调压阀(190)、吹扫气气动阀(1100)、分析口阀(1200)、管路阀(1300)、压力表(1400)、压力传感器(1500)、真空计(1600)、排放气动阀(1700)、抽真空气动阀(1800)、支路排放气动阀(1900)、抽真空阀(1110)、真空电磁阀(1120)、泵(1130)、仪表气入口阀(1140)、仪表气备用阀(1150)和仪表气调压阀(1160)，所述架子(110)与烘箱单元(200)内部连接，所述氦气入口阀(120)前端与外部接入气体连接，所述氦气入口阀(120)前端与压力表(1400)连接，所述氦气入口阀(120)后端与氦气手动阀(130)连接，所述氦气手动阀(130)后端与吹扫气一级手阀(160)连接，所述氦气手动阀(130)和吹扫气一级手阀(160)中间与压力表(1400)连接，所述氦气备用阀(140)与氦气入口阀(120)和氦气手动阀(130)中间连接，所述吹扫气备用阀(150)与氦气手动阀(130)和吹扫气一级手阀(160)中间连接，所述吹扫气一级手阀(160)后端与吹扫气一级调压阀(170)连接，所述吹扫气一级调压阀(170)与压力表(1400)连接，所述吹扫气一级调压阀(170)后端与吹扫气二级手阀(180)连接，所述吹扫气二级手阀(180)后端与吹扫气二级调压阀(190)连接，所述吹扫气二级调压阀(190)后端与吹扫气气动阀(1100)连接，所述吹扫气二级调压阀(190)和吹扫气气动阀(1100)中间与压力表(1400)连接，所述吹扫气气动阀(1100)后端与管路阀(1300)连接，所述吹扫气气动阀(1100)和管路阀(1300)中间与压力表(1400)和压力传感器(1500)连接，所述分析口阀(1200)前端与吹扫气气动阀(1100)和管路阀(1300)中间连接，所述分析口阀(1200)后端与分析设备连接，所述管路阀(1300)后端与烘箱单元(200)内部连接，所述排放气动阀(1700)前端与吹扫气气动阀(1100)和管路阀(1300)中间连接，所述排放气动阀(1700)后端与外部排放点连接，所述抽真空气动阀(1800)前端与吹扫气气动阀(1100)和管路阀(1300)中间连接，所述抽真空气动阀(1800)后端与抽真空阀(1110)连接，所述支路排放气动阀(1900)前端与吹扫气气动阀(1100)和管路阀(1300)中间连接，所述支路排放气动阀(1900)后端与抽真空气动阀(1800)和抽真空阀(1110)中间连接，所述抽真空气动阀(1800)和抽真空阀(1110)中间与真空计(1600)连接，所述抽真空阀(1110)后端与泵(1130)连接，所述真空电磁阀(1120)前端与抽真空阀(1110)和泵(1130)中间连接，所述真空电磁阀(1120)后端与外部排放点连接，所述泵(1130)后端与外部排放点连接，所述仪表气入口阀(1140)前端与外部接入点连接，所述仪表气入口阀(1140)后端与仪表气调压阀(1160)连接，所述仪表...

【专利技术属性】
技术研发人员：甘万，杨欣，江福荣，
申请(专利权)人：上海盛韬半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：