【技术实现步骤摘要】
一种用于气体输送的钢瓶架
[0001]本技术涉及气体输送
,具体涉及一种用于气体输送的钢瓶架。
技术介绍
[0002]由于全球电子、光伏产业的蓬勃发展,及我国政府大力提倡科技兴国,国内半导体、光伏制造业发展迅猛。据2006年中国半导体产业研究报告指出:“2006年底,中国国内有近50家晶圆制造厂,112家IC封装和IC装配厂,450家IC设计公司。2006年中国国内半导体产业产值807亿元人民币,大约为100亿美元,其中封测350亿元,晶圆制造242亿元,IC设计215亿元。中国国内半导体市场的规模在2006年超过600亿美元。其中前 20大厂家就占有300亿美元以上。”光伏产业在近两年快速发展,是未来新能源产业的主力军。
[0003]而在半导体、光伏相关产业常用的制程中需要使用带许多气体,其中一种为惰性气体(如N2),其中的输送没有太多的危害,需要采用普通的手动操作系统,来节约成本。
[0004]为了解决上述问题,我们做出了一系列改进。
技术实现思路
[0005]本技术的目的在于,提供一种用于气体输送的钢瓶架,以克服现有技术所存在的上述缺点和不足。
[0006]一种用于气体输送的钢瓶架,包括:架子、气体供应单元和钢瓶,所述气体供应单元与架子连接,所述钢瓶与气体供应单元和架子连接;
[0007]其中,所述气体供应单元包括:入口阀、调压阀、低压端过滤器、高压气体排放阀、低压出口隔离阀、压力表和垫片式过滤器,所述入口阀通过Pigtail管路与钢瓶连接,所述入口阀与压力表连 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于气体输送的钢瓶架,其特征在于,包括:架子(100)、气体供应单元(200)和钢瓶(300),所述气体供应单元(200)与架子(100)连接,所述钢瓶(300)与气体供应单元(200)和架子(100)连接;其中,所述气体供应单元(200)包括:入口阀(210)、调压阀(220)、低压端过滤器(230)、高压气体排放阀(240)、低压出口隔离阀(250)、压力表(260)和垫片式过滤器(270),所述入口阀(210)通过Pigtail管路与钢瓶(300)连接,所述入口阀(210)与压力表(260)连接,所述入口阀(210)通过管路与调压阀(220)连接,所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:甘万,杨欣,江福荣,
申请(专利权)人:上海盛韬半导体科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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