载物台装置和图像测量装置制造方法及图纸

一种载物台装置，它具有：放置玻璃（２１０），在其上表面上具有大致平面的载物面（２１１），在该载物面（２１１）上放置有规定工件（Ｗ）；面状的面发光体（２２０），它设置在放置玻璃（２１０）的下表面的大致整面上，透过放置玻璃（２１０）而对工件（Ｗ）进行透射照明；支承部（３００），它支承面发光体（２２０）下表面侧的多个点，并通过分别调整所支承各点的高度而调整载物面（２１１）的平面度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及载物台装置和图像测量装置。例如，所涉及的载物台装置可通过透射照明来照明被测量物，其可用于图像测量装置中，该图像测量装置根据所拍摄到的被测量物的图像数据来测量被测量物的形状、尺寸等。
技术介绍
以往，人们知道有一种图像测量装置，它根据所拍摄到的被测量物的图像来测量被测量物的形状、尺寸(例如文献日本专利公开公报特开2001-41711号)。例如如图8所示，这种图像测量装置具有放置玻璃210，它作为载物台来放置被测量物W；拍摄构件514，它用于拍摄被测量物W；照明构件700，它透过放置玻璃210对被测量物W进行透射照明；移动机构600，它根据被测量物W的被测量部位来移动拍摄构件514和照明构件700；分析部(未图示)，它对由拍摄构件514所拍摄到的图像进行分析处理。放置玻璃210具有载物面211，其由没有凹凸和起伏的平面形成，用于放置被测量物W。移动机构600具有Y移动机构610，它使拍摄构件514和拍摄构件700沿Y方向移动，该Y方向与放置玻璃210的载物面211平行；X移动机构620，它使拍摄构件514和拍摄构件700沿X方向移动，该X方向与放置玻璃210的载物面211平行，但与Y方向垂直。Y移动机构610具有Y轴导向部611、611，它们互相平行地配设于与载物面211平行的面内，其间设置有放置玻璃210；Y滑动器612、612，它们分别可在Y轴导向部611、611上滑动。X移动机构620具有第1X轴导向部621，其两脚部固定设置于Y滑动器612、612上，且其呈与放置玻璃210平行状配置于放置玻璃210的载物面211侧；第2X轴导向部622，其两脚部固定设置于Y滑动器612、612上，且其呈与放置玻璃210平行状配置于与放置玻璃210的载物面211相反一侧；第1X滑动器623，它可在第1X轴导向部621上滑动；第2X滑动器624，它可在第2X轴导向部622上滑动。拍摄构件514安装于第1X滑动器623上，照明构件700安装于第2X滑动器624上。在这种构造中，在放置玻璃210的载物面211上作为被测量物W放置有例如显示板。对应被测量部位，通过Y移动机构610和X移动机构620来移动拍摄构件514和照明构件700。用照明机构700进行透射照明并用拍摄构件514对被测量物W进行拍摄。于是根据图像数据，由分析部(未图示)进行图像分析，从而测量出被测量物W的形状、尺寸等。近年来，被测量物W趋向于大型化，例如，作为被测量物W的显示板大小为2500mm×2500mm。为了放置该大型被测量物W而致使放置玻璃210也不得不大型化。然而，若单纯增大放置玻璃210则会产生由自身重量引起的挠曲。例如，厚度25mm、2500mm×2500mm的玻璃由自身重量引起的挠曲为约0.8mm～1.8mm。由于像这样放置玻璃210挠曲之后，被测量物也产生挠曲，所以无法进行准确测量。在这里，也考虑到为了调整这种放置玻璃210的挠曲而用支承件支承在放置玻璃210的下表面。然而在这种情况下，由于支承件的阻挡而导致照明构件700无法移动到某些部位，从而产生了无法照明的区域。因此，人们迫切希望能有一种用于透射照明大型被测量物W的构造。
技术实现思路
本专利技术的主要目的在于，提供一种载物台装置和图像测量装置，它能够保证载物面的平面度且可大型化。本专利技术的载物台装置的特征在于具有透光性板材，在其上表面上具有大致平面的载物面，在该载物面上放置有规定工件；面状的面发光体，它设置在上述透光性板材的下表面的大致整面上，透过上述透光性板材而对上述工件进行透射照明；平面度调整构件，它支承上述面发光体下表面侧的多个点，并通过分别调整所支承各点的高度而调整上述载物面的平面度。采用该构造，能够由平面度调整构件来进行载物面的平面调整。于是由于载物面一直维持为平面，所以例如在对放置于载物面上的工件进行拍摄测量时能够提高测量精度。在现有技术中，由于为了透射照明而必须移动照明构件，所以必须在透光性板材的下表面侧设置移动机构。关于这一点，在本专利技术中，由于面发光体沿透光性板材的下表面的大致整个面设置，所以即使不移动照明构件也能从透光性板材的大致整面进行透射照明。因而由于取消了移动机构所以能够降低零件成本和组装成本。另外，由于具有面发光体而取消了移动照明构件的移动机构，所以可设置平面度调整构件，用于从透光性板材的下表面侧调整透光性板材的平面度。因此，即使在透光性板材大型化的情况下也能由平面度调整构件来维持透光性板材的平面度。例如，通过维持一边长2500mm的大型透光性板材的平面度并可在大致整面上进行透射性照明，所以非常适用于大型的显示板等的透射照明。另外通过设置平面度调整构件，可不必由透光性板材自身的刚性来维持载物面的平面度，所以透光性板材为小的刚性即可，另外透光性板材的厚度也可减薄。从而降低了部件成本。其中作为形成透光性板材的材料例举了例如无机玻璃，但除此以外，其材料也可以是例如由透光性树脂制成的有机玻璃(例如丙烯树脂)。在本专利技术中，上述平面度调整构件最好为具有支柱的支柱构件，该支柱配设在上述面发光体下表面侧的规定的多个位置上且可上下进退。采用该构造，可通过支柱构件来使面发光体的下表面侧的高度与规定的多个点相一致，由此使载物面的高度相一致，从而进行载物面的平面调整。在本专利技术中，上述平面度调整构件最好具有高度检测构件，用于检测上述面发光体下表面侧的规定多个点的高度；控制构件，它根据上述高度检测构件的检测结果，对支承上述面发光体下表面侧的规定多个点的高度进行控制。采用该构造，可根据高度检测构件的检测结果，由控制构件来进行控制，使得规定的多个点的高度相一致。因而可一直自动维持载物面的平行度。本专利技术的载物台装置的特征在于具有透光性板材，在其上表面上具有大致平面的载物面，在该载物面上放置有规定工件；面状的面发光体，它设置在上述透光性板材的下表面的大致整面上，透过上述透光性板材而对上述工件进行透射照明；基板，它具有规定的刚度，并与上述透光性板材夹着上述面发光体而设置于上述透光性板材的相对侧。采用该构造，可由基板的刚性来向透光性板材提供刚性，从而维持载物面的平面度。另外，若由基板来向透光性板材提供刚性，则由于可均一地对刚体表面进行加工，所以可将载物面加工成高精度的平面。在本专利技术中，上述面发光体最好分为多个零件并对其中每个零件都进行发光控制。采用该构造，可只使需要发光的部分(零件)发光。由此可比整面照明的情况节省所消耗的电力。例如与2500mm×2500mm的整面整体发光的情况相比，由于可只使必要部分发光，所以可有效削减所消耗的电力。特别是作为面发光体使用例如EL等时，由于在得到同等亮度的前提下，面积越小、电压越低越好，所以通过减少发光面积可有效谋求省电力化。另外，由于通过减少发光面积可减少面发光体的发热量，所以能够降低载物台装置以及该载物台装置上所放置的工件(例如被测量物)所受的热影响。于是可抑制透光性板材和工件的热变形，例如，当在测量装置中使用这种载物台装置时能够提高测量精度。另外，通过只使必要部分发光，与大面积整体发光的情况相比可抑制光亮刺激眼部，当使用该载物台装置时操作容易。在本专利技术中，最好是具有光反射板，且其与上述透光性板材夹着上述面发光体而设置于上述透光性板材的相本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种载物台装置，其特征在于，具有：透光性板材，在其上表面上具有大致为平面的载物面，在该载物面上放置规定工件；面状的面发光体，其设置在上述透光性板材的下表面的大致整个表面上，透过上述透光性板材对上述工件进行透射照明；平 面度调整构件，它支承上述面发光体下表面侧的多个点，并通过分别调整所支承各点的高度而调整上述载物面的平面度。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：上山修一，西辻丰，
申请(专利权)人：株式会社三丰，
类型：发明
国别省市：JP[日本]