一种多曲面阀杆的镀膜装置制造方法及图纸

技术编号:26709810 阅读:39 留言:0更新日期:2020-12-15 13:58
本实用新型专利技术公开了一种多曲面阀杆的镀膜装置,包括真空镀膜机,所述真空镀膜机内中部垂直安装有转轴,且转轴的一端转动连接在真空镀膜机的底部,所述转轴的另一端垂直连接有安装板,且转轴外侧垂直连接有多个支撑杆,所述支撑杆设置在转轴上靠近安装板的一端,且支撑杆上远离转轴的一端分别固定连接有定位杆,所述定位杆上靠近支撑杆的一端固定连接有定位夹块。该种多曲面阀杆的镀膜装置,在真空镀膜机内设置了旋转装置,在镀膜的时候,曲面阀杆能跟随转动,实现多角度的均匀镀膜,而且在真空镀膜机的两侧内壁上设置了具备升降功能的离子放射装置,根据离子放射状的运动轨迹以及旋转装置的转动速度,可以实现多曲面阀杆的均匀镀膜。

【技术实现步骤摘要】
一种多曲面阀杆的镀膜装置
本技术涉及镀膜
,具体为一种多曲面阀杆的镀膜装置。
技术介绍
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。需要镀膜的被称为基片,镀的材料被称为靶材。基片与靶材同在真空腔中。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。对于溅射类镀膜,可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且最终沉积在基片表面,经历成膜过程,最终形成薄膜,阀杆是阀门重要部件,用于传动,上接执行机构或者手柄,下面直接带动阀芯移动或转动,以实现阀门开关或者调节作用。阀杆在生产过程中,为保证阀杆的使用寿命,通常会在阀杆的表面进行镀膜,而传统的镀膜方式阀杆静止不动,由于一些曲面的阀杆形状不一,容易造成镀膜不均匀的现象。因此我们对此做出改进,提出一种多曲面阀杆的镀膜装置。...

【技术保护点】
1.一种多曲面阀杆的镀膜装置,包括真空镀膜机(1),其特征在于,所述真空镀膜机(1)内中部垂直安装有转轴(4),且转轴(4)的一端转动连接在真空镀膜机(1)的底部,所述转轴(4)的另一端垂直连接有安装板(13),且转轴(4)外侧垂直连接有多个支撑杆(6),所述支撑杆(6)设置在转轴(4)上靠近安装板(13)的一端,且支撑杆(6)上远离转轴(4)的一端分别固定连接有定位杆(5),所述定位杆(5)上靠近支撑杆(6)的一端固定连接有定位夹块(11),且定位杆(5)的另一端活动连接有移动夹块(10),所述移动夹块(10)通过滑块(14)滑动连接在定位杆(5)上,所述安装板(13)上安装有推杆电机(8)...

【技术特征摘要】
1.一种多曲面阀杆的镀膜装置,包括真空镀膜机(1),其特征在于,所述真空镀膜机(1)内中部垂直安装有转轴(4),且转轴(4)的一端转动连接在真空镀膜机(1)的底部,所述转轴(4)的另一端垂直连接有安装板(13),且转轴(4)外侧垂直连接有多个支撑杆(6),所述支撑杆(6)设置在转轴(4)上靠近安装板(13)的一端,且支撑杆(6)上远离转轴(4)的一端分别固定连接有定位杆(5),所述定位杆(5)上靠近支撑杆(6)的一端固定连接有定位夹块(11),且定位杆(5)的另一端活动连接有移动夹块(10),所述移动夹块(10)通过滑块(14)滑动连接在定位杆(5)上,所述安装板(13)上安装有推杆电机(8),且推杆电机(8)推杆上连接有推板(7),所述推板(7)与滑块(14)之间分别通过调节杆(9)连接。


2.根据权利要求1所述的一种多曲面阀杆的镀膜装置,其特征在于,所述调节杆(9)的一端转动连接在推板(7)的侧壁上,且调节杆(9)的另一端均与滑块(14)的表面转动连接。


3.根据权利要求1所述的一种多曲面阀杆的镀膜装置...

【专利技术属性】
技术研发人员:张广安蔡恰恰张浮格
申请(专利权)人:徐州睿创智能科技有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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