一种用于温补衰减器溅射机的夹持装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种用于温补衰减器溅射机的夹持装置，温补衰减器具有三个引出端，包括可设置在溅射机内的挂架、间隔设置在挂架上的多个固定机构和分别可拆卸地设置在各固定机构上的夹具，温补衰减器设置在夹具内，夹具上设置有三个分别对应于三个引出端的溅射孔，通过调整夹具固定在固定机构上的角度，以使各引出端均被充分溅射。本实用新型专利技术能够使温补衰减器各引出端溅射充分且提高产量。

【技术实现步骤摘要】
一种用于温补衰减器溅射机的夹持装置
本技术涉及一种用于温补衰减器溅射机的夹持装置
技术介绍
温补衰减器在生产过程中需要用磁控溅射的方法，对温补衰减器产品的三个引出端的侧面溅射形成端电极，溅射机即可用来进行该项工作。但现有的溅射机内配置的挂架为一矩形板，该矩形板更适用于电阻溅射，而对于温补衰减器，因其具有三个引出端，而且将其固定在挂架上后即不可再调整，因此极容易出现某些引出端溅射不充分的情况，且现有挂架因工位限制，导致产量不够高。
技术实现思路
本技术的目的是针对现有技术的不足，提出一种用于温补衰减器溅射机的夹持装置，能够使温补衰减器各引出端溅射充分且提高产量。本技术通过以下技术方案实现：一种用于温补衰减器溅射机的夹持装置，温补衰减器具有三个引出端，包括可设置在溅射机内的挂架、间隔设置在挂架上的多个固定机构和分别可拆卸地设置在各固定机构上的夹具，温补衰减器设置在夹具内，夹具上设置有三个分别对应于三个引出端的溅射孔，通过调整夹具固定在固定机构上的角度，可使各引出端均被充分溅射。进一步的，所述固定机构包括设置在本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于温补衰减器溅射机的夹持装置，温补衰减器具有三个引出端，其特征在于：包括可设置在溅射机内的挂架、间隔设置在挂架上的多个固定机构和分别可拆卸地设置在各固定机构上的夹具，温补衰减器设置在夹具内，夹具上设置有三个分别对应于三个引出端的溅射孔，通过调整夹具固定在固定机构上的角度，可使各引出端均被充分溅射。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于温补衰减器溅射机的夹持装置，温补衰减器具有三个引出端，其特征在于：包括可设置在溅射机内的挂架、间隔设置在挂架上的多个固定机构和分别可拆卸地设置在各固定机构上的夹具，温补衰减器设置在夹具内，夹具上设置有三个分别对应于三个引出端的溅射孔，通过调整夹具固定在固定机构上的角度，可使各引出端均被充分溅射。


2.根据权利要求1所述的一种用于温补衰减器溅射机的夹持装置，其特征在于：所述固定机构包括设置在挂架上的基板、间隔设置在基板上下两端且向外延伸的两固定板、设置在一固定板上的螺孔和与螺孔匹配的紧固螺栓，两固定板端部分别设置有相对竖直延伸的阻挡部，所述夹具设置在两固定板之间，紧固螺栓穿过螺孔后相对夹具旋转以固定夹具。


3.根据权利要求2所述的一种用于温补衰减器溅射机的夹持装置，其特征在于：所述挂架包括第一竖板、分别设置在第一竖板上下两端的两横板、设置在两横板之间且与第一竖板垂直间隔布置的第二竖板，所述固定机构设置在...

【专利技术属性】
技术研发人员：林泽清，陈培阳，潘甲东，
申请(专利权)人：福建毫米电子有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35