一种用于温补衰减器溅射机的夹持装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种用于温补衰减器溅射机的夹持装置，温补衰减器具有三个引出端，包括可设置在溅射机内的挂架、间隔设置在挂架上的多个固定机构和分别可拆卸地设置在各固定机构上的夹具，温补衰减器设置在夹具内，夹具上设置有三个分别对应于三个引出端的溅射孔，通过调整夹具固定在固定机构上的角度，以使各引出端均被充分溅射。本实用新型专利技术能够使温补衰减器各引出端溅射充分且提高产量。

【技术实现步骤摘要】
一种用于温补衰减器溅射机的夹持装置
本技术涉及一种用于温补衰减器溅射机的夹持装置
技术介绍
温补衰减器在生产过程中需要用磁控溅射的方法，对温补衰减器产品的三个引出端的侧面溅射形成端电极，溅射机即可用来进行该项工作。但现有的溅射机内配置的挂架为一矩形板，该矩形板更适用于电阻溅射，而对于温补衰减器，因其具有三个引出端，而且将其固定在挂架上后即不可再调整，因此极容易出现某些引出端溅射不充分的情况，且现有挂架因工位限制，导致产量不够高。
技术实现思路
本技术的目的是针对现有技术的不足，提出一种用于温补衰减器溅射机的夹持装置，能够使温补衰减器各引出端溅射充分且提高产量。本技术通过以下技术方案实现：一种用于温补衰减器溅射机的夹持装置，温补衰减器具有三个引出端，包括可设置在溅射机内的挂架、间隔设置在挂架上的多个固定机构和分别可拆卸地设置在各固定机构上的夹具，温补衰减器设置在夹具内，夹具上设置有三个分别对应于三个引出端的溅射孔，通过调整夹具固定在固定机构上的角度，可使各引出端均被充分溅射。进一步的，所述固定机构包括设置在挂架上的基板、间隔设置在基板上下两端且向外延伸的两固定板、设置在一固定板上的螺孔和与螺孔匹配的紧固螺栓，两固定板端部分别设置有相对竖直延伸的阻挡部，所述夹具设置在两固定板之间，紧固螺栓穿过螺孔后相对夹具旋转以固定夹具。进一步的，所述挂架包括第一竖板、分别设置在第一竖板上下两端的两横板、设置在两横板之间且与第一竖板垂直间隔布置的第二竖板，所述固定机构设置在第二竖板上。r>进一步的，所述第二竖板相对的两面均设置有多个所述固定机构。进一步的，所述基板焊接在所述第二竖板上。进一步的，所述基板和两固定板一体成型。进一步的，所述紧固螺栓为M4螺栓。进一步的，所述夹具包括基座、第一部件和第二部件，第一部件设置在基座上端，基座一侧面设置有向内延伸的放置槽，第二部件与该侧面和放置槽相匹配，所述温补衰减器设置在放置槽内，三个所述溅射孔分别设置在基座另一侧面、第一部件和第二部件上。本技术具有如下有益效果：1、本技术的挂架上设置有多个固定机构，各固定机构均可拆卸地设置有一个夹具，可实现同时对多个温补衰减器进行溅射，从而提高产量；夹具上设置有三个分别对应于三个引出端的溅射孔，在使用时，可先将夹具固定在三个溅射孔均外露的角度，这种情况下，如果出现某个引出端溅射不充分，可将夹具拆下并调整其固定角度，使该引出端对应的溅射孔位于溅射条件较好的位置，以达到对该引出端溅射充分的效果，如此多次调整，即可保证各引出端均被充分溅射，从而保证温补衰减器的质量。2、夹具放置在两固定板之间，阻挡部对夹具施加向内的力以防止其向外掉落，紧固螺栓相对夹具旋转以固定夹具，当需要调整夹具角度时，松开紧固螺栓即可调整，操作简单方便。3、第二竖板相对的两面均设置有多个固定机构，进一步提高产量。附图说明下面结合附图对本技术做进一步详细说明。图1为本技术的结构示意图。图2为本技术夹具的结构示意图。其中，1、温补衰减器；21、第一竖板；22、横板；23、第二竖板；31、基板；32、固定板；33、紧固螺栓；34、阻挡部；41、溅射孔；42、基座；43、第一部件；44、第二部件；45、放置槽。具体实施方式如图1和图2所示，用于温补衰减器溅射机的夹持装置用于固定放置有温补衰减器的夹具，以与溅射机配合对温补衰减器1进行溅射。温补衰减器1具有三个引出端，夹持装置包括可设置在溅射机内的挂架、间隔设置在挂架上的多个固定机构和分别可拆卸地设置在各固定机构上的夹具，温补衰减器1设置在夹具内，夹具上设置有三个分别对应于三个引出端的溅射孔41，通过调整夹具固定在固定机构上的角度，可使各引出端均被充分溅射。在图1中，夹具的角度被调整为有两个溅射孔41露出，还有一个溅射孔41被遮挡。挂架包括第一竖板21、分别设置在第一竖板21上下两端的两横板22、设置在两横板22之间且与第一竖板21垂直间隔布置的第二竖板23，固定机构设置在第二竖板23上，第二竖板23相对的两面均设置有多个固定机构。挂架的尺寸与现有溅射机内的挂架尺寸相同，与现有溅射机能够匹配。固定机构包括焊接设置在挂架上的基板31、间隔设置在基板31上下两端且向外延伸的两固定板32、设置在位于上端的固定板32上的螺孔和与螺孔匹配的紧固螺栓33，两固定板32端部分别设置有相对竖直延伸的阻挡部34，该阻挡部34可用于阻挡夹具向外掉落，夹具设置在两固定板32之间，紧固螺栓33穿过螺孔后相对夹具旋转以向下抵紧夹具，从而固定夹具。夹具包括基座42、第一部件43和第二部件44，第一部件43设置在基座42上端，基座42一侧面设置有向内延伸的放置槽45，第二部件44与该侧面和放置槽45相匹配，温补衰减器1设置在放置槽45内，三个溅射孔41分别设置在基座42相对放置槽45的另一侧面、第一部件43和第二部件44上(附图2中第二部件44的溅射孔41未画出)。溅射时，第一部件43和第二部件44均锁紧在基座42上，以形成与固定机构匹配的长方体结构。夹具更具体的结构为现有技术。在本实施例中，基板31和两固定板32一体成型。紧固螺栓33为M4螺栓。以上所述，仅为本技术的较佳实施例而已，故不能以此限定本技术实施的范围，即依本技术申请专利范围及说明书内容所作的等效变化与修饰，皆应仍属本技术专利涵盖的范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于温补衰减器溅射机的夹持装置，温补衰减器具有三个引出端，其特征在于：包括可设置在溅射机内的挂架、间隔设置在挂架上的多个固定机构和分别可拆卸地设置在各固定机构上的夹具，温补衰减器设置在夹具内，夹具上设置有三个分别对应于三个引出端的溅射孔，通过调整夹具固定在固定机构上的角度，可使各引出端均被充分溅射。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于温补衰减器溅射机的夹持装置，温补衰减器具有三个引出端，其特征在于：包括可设置在溅射机内的挂架、间隔设置在挂架上的多个固定机构和分别可拆卸地设置在各固定机构上的夹具，温补衰减器设置在夹具内，夹具上设置有三个分别对应于三个引出端的溅射孔，通过调整夹具固定在固定机构上的角度，可使各引出端均被充分溅射。


2.根据权利要求1所述的一种用于温补衰减器溅射机的夹持装置，其特征在于：所述固定机构包括设置在挂架上的基板、间隔设置在基板上下两端且向外延伸的两固定板、设置在一固定板上的螺孔和与螺孔匹配的紧固螺栓，两固定板端部分别设置有相对竖直延伸的阻挡部，所述夹具设置在两固定板之间，紧固螺栓穿过螺孔后相对夹具旋转以固定夹具。


3.根据权利要求2所述的一种用于温补衰减器溅射机的夹持装置，其特征在于：所述挂架包括第一竖板、分别设置在第一竖板上下两端的两横板、设置在两横板之间且与第一竖板垂直间隔布置的第二竖板，所述固定机构设置在...

【专利技术属性】
技术研发人员：林泽清，陈培阳，潘甲东，
申请(专利权)人：福建毫米电子有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35