下载一种用于温补衰减器溅射机的夹持装置的技术资料

文档序号:26666547

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本实用新型提供一种用于温补衰减器溅射机的夹持装置,温补衰减器具有三个引出端,包括可设置在溅射机内的挂架、间隔设置在挂架上的多个固定机构和分别可拆卸地设置在各固定机构上的夹具,温补衰减器设置在夹具内,夹具上设置有三个分别对应于三个引出端的溅射...
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