一种PVD真空镀膜机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种PVD真空镀膜机，包括：真空镀膜机主体和翻转机构：其中，所述真空镀膜机主体包括真空组件和镀膜组件，所述真空组件安装在所述真空镀膜机主体的顶部，所述镀膜组件安装在所述真空镀膜机主体的内部；其中，所述翻转机构包括两个支撑板，两个所述支撑板对称设置在所述真空镀膜机主体的内部，所述支撑板的外部安装有气缸；本实用新型专利技术通过使用翻转机构，能够实现转动待镀膜材料的作用，并且翻转机构与真空镀膜机主体组合使用，使待镀膜材料能够有效的进行镀膜，避免因待镀膜材料的底面与放置设备接触而无法有效的喷淋，从而提升镀膜材料镀膜的效果，增强人工镀膜的工作效率。作效率。作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种PVD真空镀膜机


[0001]本技术涉及PVD真空镀膜机的
，具体地涉及一种PVD真空镀膜机。

技术介绍

[0002]PVD即物理气相沉积，是当前国际上广泛应用的先进的表面处理技术。它具有沉积速度快和表面清洁的特点，特别具有膜层附着力强、绕性好、可镀材料广泛等优点。真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜的机器，工作原理包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
[0003]然而现有的PVD真空镀膜机在实际在喷淋作业时，仅有待镀膜材料的顶面接受喷淋，其底面则与放置座相接触，无法得到有效的喷淋作业，以至于人员在实际作业时，需要定时翻动待镀膜材料，调换接触面，不仅费时费力，而且工作效率较差，为此提出一种PVD真空镀膜机。

技术实现思路

[0004]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。
[0005]为此，本技术的一个目的在于提出一种PVD真空镀膜机，包括真空镀膜机主体和翻转机构：其中，所述真空镀膜机主体包括真空组件和镀膜组件，所述真空组件安装在所述真空镀膜机主体的顶部，所述镀膜组件安装在所述真空镀膜机主体的内部；其中，所述翻转机构包括两个支撑板，两个所述支撑板对称设置在所述真空镀膜机主体的内部，所述支撑板的外部安装有气缸，所述气缸的活塞杆固定连接有推板，所述推板的一侧固定连接有L形板，所述L形板的外部滑动连接在所述支撑板的内部，所述L形板的底部固定连接有齿条，所述齿条的底部啮合连接有齿轮，所述齿轮通过传动组件转动连接有U形夹板。
[0006]优选的，所述支撑板的内部固定连接有限位板，所述齿条的一侧滑动连接在所述限位板的外部。
[0007]优选的，所述真空组件包括真空泵，所述真空泵安装在所述真空镀膜机主体的顶部，所述真空泵的进气口连通有进气管，所述真空泵的出气口连通有排气管。
[0008]优选的，所述镀膜组件包括调节电压箱，所述调节电压箱的内部安装有电压发射器，所述调节电压箱的顶部安装有集液箱，所述集液箱的内部连通有喷淋管。
[0009]优选的，所述传动组件包括两个传动轮，一个所述传动轮安装在所述齿轮上，另一个所述传动轮安装在所述U形夹板上，两个所述传动轮通过皮带转动连接。
[0010]优选的，所述喷淋管的出水口位于两个所述支撑板的中部。
[0011]优选的，所述U形夹板上安装有夹持机构，所述夹持机构包括两个握把，两个所述握把的一侧均对称固定连接有两个螺杆，所述螺杆的外部贯穿所述U形夹板的内部，所述螺杆远离所述握把的一端固定连接有固定板，所述螺杆的外部螺纹连接有螺母。
[0012]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0014]本技术通过使用翻转机构，能够实现转动待镀膜材料的作用，并且翻转机构与真空镀膜机主体组合使用，使待镀膜材料能够有效的进行镀膜，避免因待镀膜材料的底面与放置设备接触而无法有效的喷淋，从而提升镀膜材料镀膜的效果，增强人工镀膜的工作效率。
附图说明
[0015]图1为根据本技术的实施例的PVD真空镀膜的结构示意图；
[0016]图2为根据本技术的实施例的PVD真空镀膜的内部剖视图；
[0017]图3为根据本技术的实施例的PVD真空镀膜中支撑板的内部剖视图；
[0018]图4为根据本技术的实施例的PVD真空镀膜中U形夹板的侧部结构示意图。
[0019]附图标记：10、真空镀膜机主体；11、真空组件；1101、真空泵；1102、进气管；1103、排气管；12、镀膜组件；1201、调节电压箱；1202、电压发射器；1203、集液箱；1204、喷淋管；20、翻转机构；21、支撑板；22、气缸；23、推板；24、L形板；25、齿条；26、传动组件；2601、皮带；2602、传动轮；27、限位板；28、齿轮；29、U形夹板；30、夹持机构；31、握把；32、螺杆；33、固定板；34、螺母。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]请参阅图1－图4，本技术的实施例提供了一种PVD真空镀膜机，包括：真空镀膜机主体10和翻转机构20以及夹持机构30。
[0022]请参阅图1－图2，真空镀膜机主体10包括真空组件11和镀膜组件12，真空组件11安装在真空镀膜机主体10的顶部，镀膜组件12安装在真空镀膜机主体10的内部；通过真空组件11和镀膜组件12的组成，实现PVD真空镀膜作业。
[0023]具体的，真空组件11包括真空泵1101，真空泵1101安装在真空镀膜机主体10的顶部，真空泵1101的进气口连通有进气管1102，真空泵1101的出气口连通有排气管1103；实现对真空镀膜机主体10内部抽真空的作用。
[0024]具体的，镀膜组件12包括调节电压箱1201，调节电压箱1201的内部安装有电压发射器1202，调节电压箱1201的顶部安装有集液箱1203，集液箱1203的内部连通有喷淋管1204；实现对真空镀膜机主体10内PVD镀膜的作用。
[0025]具体的，喷淋管1204的出水口位于两个支撑板21的中部；便于对PVD均匀镀膜。
[0026]请参阅图1－图3，翻转机构20包括两个支撑板21，两个支撑板21对称设置在真空镀膜机主体10的内部，支撑板21的外部安装有气缸22，气缸22的活塞杆固定连接有推板23，推板23的一侧固定连接有L形板24，L形板24的外部滑动连接在支撑板21的内部，L形板24的底部固定连接有齿条25，齿条25的底部啮合连接有齿轮28，齿轮28通过传动组件26转动连接有U形夹板29；启动气缸22，气缸22的活塞杆带动推板23移动，推板23带动L形板24和齿条25移动在支撑板21的内部，使齿条25传动齿轮28，齿轮28转动后传动传动组件26，使传动组
件26带动U形夹板29转动，从而实现翻转待镀膜材料的作用。
[0027]具体的，支撑板21的内部固定连接有限位板27，齿条25的一侧滑动连接在限位板27的外部；提升齿轮28移动时的稳定性。
[0028]具体的，传动组件26包括两个传动轮2602，一个传动轮2602安装在齿轮28上，另一个传动轮2602安装在U形夹板29上，两个传动轮2602通过皮带2601转动连接；实现齿轮28转动时带动U形夹板29转动的功能。
[0029]请参阅图2和图4，U形夹板29上安装有夹持机构30，夹持机构30包括两个握把31，两个握把31的一侧均对称固定连接有两个螺杆32，螺杆32的外部贯穿U形夹板29的内本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种PVD真空镀膜机，包括真空镀膜机主体(10)和翻转机构(20)，其特征在于：其中，所述真空镀膜机主体(10)包括真空组件(11)和镀膜组件(12)，所述真空组件(11)安装在所述真空镀膜机主体(10)的顶部，所述镀膜组件(12)安装在所述真空镀膜机主体(10)的内部；其中，所述翻转机构(20)包括两个支撑板(21)，两个所述支撑板(21)对称设置在所述真空镀膜机主体(10)的内部，所述支撑板(21)的外部安装有气缸(22)，所述气缸(22)的活塞杆固定连接有推板(23)，所述推板(23)的一侧固定连接有L形板(24)，所述L形板(24)的外部滑动连接在所述支撑板(21)的内部，所述L形板(24)的底部固定连接有齿条(25)，所述齿条(25)的底部啮合连接有齿轮(28)，所述齿轮(28)通过传动组件(26)转动连接有U形夹板(29)。2.根据权利要求1所述的一种PVD真空镀膜机，其特征在于：所述支撑板(21)的内部固定连接有限位板(27)，所述齿条(25)的一侧滑动连接在所述限位板(27)的外部。3.根据权利要求1所述的一种PVD真空镀膜机，其特征在于：所述真空组件(11)包括真空泵(1101)，所述真空泵(1101)安装在所述真空镀膜机主体(10)的顶部，所述真空泵(1101)的进气口连通有进气管(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾现军，曾振峰，张浮格，闫岩，
申请(专利权)人：徐州睿创智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：