一种基于空心PMMA管复合波导气体传感器制造技术

本发明专利技术涉及一种基于空心PMMA管复合波导气体传感器，包括密封在两个PMMA板之间的三根从内到外同轴设置的PMMA管，在靠近传感器两端处的管壁上分别设置出气口和进气口；每根PMMA管都具有不同的光栅结构，从内到外依次刻蚀复合型光栅结构、双啁啾型光栅结构和单啁啾复合型光栅结构。与现有技术相比，本发明专利技术在太赫兹波入射下，能够实现气体的压强检测，此外，不同直径的组合在一起能够提高太赫兹波检测气体压强的灵敏度。

【技术实现步骤摘要】
一种基于空心PMMA管复合波导气体传感器
本专利技术涉及太赫兹波检测领域，尤其是涉及一种基于空心PMMA管复合波导气体传感器。
技术介绍
太赫兹波是指频率介于0.1到10THz之间，即波长在30μm～3mm的一段性质非常独特的电磁波。由于其在电磁波谱中处于微波、毫米波与红外之间，故在光电子
被广泛研究。物质的太赫兹光谱(包括透射谱和反射谱)包含着非常丰富的物理和化学信息，所以研究物质在该波段的光谱对于物质结构的探索具有重要意义；其次太赫兹脉冲光源与传统光源相比具有诸如瞬态性、宽带性、相干性、低能性等很多独特的性质，利用太赫兹脉冲可以分析材料的性质，而太赫兹时域光谱(THz-TDS)是一种非常有效的测试手段。太赫兹时域系统(THz-TDS)信噪比高，而且稳定性较好，能对物质进行定性鉴别，同时也是一种无损探测方法，所以在基础研究领域、工业应用领域、医学领域、生物领域、军事领域及国家安全中有重要的应用前景。气体作为一种高效、环保、低廉的能源，广泛应用于工业与生活中，同时气体的泄露也会造成严重的灾害。而检测气体又不能影响正常使用，就要求检本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于空心PMMA管复合波导气体传感器，其特征在于，包括密封在两个PMMA板之间的三根从内到外同轴设置的PMMA管，在靠近传感器两端处的管壁上分别设置出气口和进气口；每根PMMA管都具有不同的光栅结构，从内到外依次刻蚀复合型光栅结构、双啁啾型光栅结构和单啁啾复合型光栅结构。/n

【技术特征摘要】
1.一种基于空心PMMA管复合波导气体传感器，其特征在于，包括密封在两个PMMA板之间的三根从内到外同轴设置的PMMA管，在靠近传感器两端处的管壁上分别设置出气口和进气口；每根PMMA管都具有不同的光栅结构，从内到外依次刻蚀复合型光栅结构、双啁啾型光栅结构和单啁啾复合型光栅结构。


2.根据权利要求1所述的一种基于空心PMMA管复合波导气体传感器，其特征在于，所述复合型光栅结构包括依次设置的起始段、第一光栅段、第二光栅段、第三光栅段和终止段，具体的：起始段包括10个周期间距为300μm的光栅，第一光栅段包括34个周期间距为400um的光栅，第二光栅段包括39个周期间距为350um的光栅，第三光栅段包括45个周期间距为300um的光栅，终止段包括5个周期间距为300μm的光栅。


3.根据权利要求2所述的一种基于空心PMMA管复合波导气体传感器，其特征在于，所述复合型光栅结构中：起始段的光栅的刻蚀宽度为90μm，刻蚀深度为50μm；第一光栅段的光栅的刻蚀宽度为210μm，刻蚀深度为180μm；第二光栅段的光栅的刻蚀宽度为180μm，刻蚀深度为150μm；第三光栅段的光栅的刻蚀宽度为100μm，刻蚀深度为50μm；终止段的光栅的刻蚀宽度为90μm，刻蚀深度为50μm；相邻两段之间的距离均为1mm。


4.根据权利要求1所述的一种基于空心PMMA管复合波导气体传感器，其特征在于，所述双啁啾型光栅结构包括依次设置的起始段、单啁啾复合光栅段和终止段，具体的：起始段包括10个周期间距为300μm的光栅，单啁啾复合光栅段包括41个周期间距为400μm、350μm或300μm的光栅，终止段包括5个周期间距为300μm的光栅。


5.根据权利要求4所述的一种基于空心PMMA管复合波导气体传感器，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈剑，冯吉军，张大伟，庄松林，
申请(专利权)人：上海理工大学，
类型：发明
国别省市：上海;31