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一种基于空心PMMA管复合波导气体传感器制造技术
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文档序号:26688063
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本发明涉及一种基于空心PMMA管复合波导气体传感器,包括密封在两个PMMA板之间的三根从内到外同轴设置的PMMA管,在靠近传感器两端处的管壁上分别设置出气口和进气口;每根PMMA管都具有不同的光栅结构,从内到外依次刻蚀复合型光栅结构、双啁啾...
该专利属于上海理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海理工大学授权不得商用。
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