平面度检测设备、方法和电子设备技术

本申请提供一种平面度检测设备、方法和电子设备，平面度检测设备包括：摄取组件，用于根据原始光路摄取目标图像；分光组件，用于将原始光路分成第一光路和第二光路；第一获取组件，用于获取第一光路处的第一检测图像；第二获取组件，用于获取第二光路处的第二检测图像；处理组件，电性连接于第一获取组件和第二获取组件，用于根据第一图像和第二图像的对比度数据，计算目标图像的平面度数据。本申请提供的平面度检测设备、方法和电子设备，使用图像处理方法将景深范围和焦内平面高度相关联，克服现有平面度检测装置不易安装等缺陷，具有准确率高，易检测等优点。

【技术实现步骤摘要】
平面度检测设备、方法和电子设备
本申请涉及芯片检测领域，具体而言，涉及一种平面度检测设备、方法和电子设备。
技术介绍
随着红外成像技术产业的快速发展，对于红外探测器组件的平面度有了更高的要求，目前对于平面度的测量一般通过专业的测量工具进行测量，受到图像景深、量产、特殊工作台等环境因素影响，景深通常是指摄像镜头对待摄场景能够清晰成像的物距范围，现如今，对于景深范围只有概念性的解答，但是对于焦内没有明确的定量关系。现需要一种简易的平面度检测装置，对探测器组件进行观察、检测。
技术实现思路
本申请实施例的目的在于提供一种平面度检测设备、方法和电子设备，用以解决现有技术中存在的技术问题。第一方面，本专利技术实施例提供一种平面度检测设备，包括：摄取组件，用于根据原始光路摄取目标图像；分光组件，用于将原始光路分成第一光路和第二光路；第一获取组件，用于获取第一光路处的第一检测图像；第二获取组件，用于获取第二光路处的第二检测图像；处理组件，电性连接于第一获取组件和第二获取组件，用于根据第一图像和第二图像的对比度数据，计算目标图像的平面度数据。在可选的实施方式中，分光组件包括：透光介质；入射面，设置在透光介质靠近摄取组件的一端，入射面垂直于原始光路；第一折射面，设置在透光介质内，第一折射面用于将原始光路向第一方向折射，形成第一光路；第二折射面，设置在透光介质远离摄取组件的另一端，第二折射面用于将原始光路向第二方向折射，形成第二光路。在可选的实施方式中，第一光路与第二光路之间具有高度差。>在可选的实施方式中，第一光路垂直于原始光路。在可选的实施方式中，第一获取组件包括：第一折射部，设置在第一光路的传播路径上，用于将第一光路折射，形成第三光路；第一检测器，用于接收第三光路的入射光，生成第一检测图像。在可选的实施方式中，第二光路垂直于原始光路。在可选的实施方式中，第二获取组件包括：第二折射部，设置在第二光路的传播路径上，用于将第二光路折射，形成第四光路；第二检测器，用于接收第四光路的入射光，生成第二检测图像。在可选的实施方式中，透光介质包括：棱镜。第二方面，本专利技术实施例提供一种平面度检测方法，应用于上述前述实施方式任一项的设备，包括：获取第一检测图像和第二检测图像；比较第一检测图像的对比度和第二检测图像的对比度的大小，生成对比度比较结果；判断第一检测图像和第二检测图像是否在预设景深范围内，生成范围检测结果；根据对比度比较结果、范围检测结果和预设探测高度对照表，生成探测高度数据。第三方面，本专利技术实施例提供一种电子设备，包括：存储器，用以存储计算机程序；处理器，用以执行如前述实施方式中任一项的方法。本申请提供的平面度检测方法，使用图像处理方法将景深范围和焦内平面高度相关联，克服现有平面度检测装置不易安装等缺陷，具有准确率高，易检测等优点。附图说明为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对本申请实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。图1为本申请实施例提供的一种平面度检测设备的应用场景；图2为本申请实施例提供的一种平面度检测设备的结构示意图；图3为本申请实施例提供的另一种平面度检测设备的结构示意图；图4为本申请实施例提供的一种电子设备的结构示意图；图5为本申请实施例提供的一种平面度检测方法的流程图。图标：1-平面度检测设备；11-摄取组件；12-分光组件；121-透光介质；122-入射面；123-第一折射面；124-第二折射面；13-第一获取组件；131-第一折射部；132-第一检测器；133-第三光路；14-第二获取组件；141-第二折射部；142-第二检测器；143-第四光路；15-处理组件；16-原始光路；17-第一光路；18-第二光路；2-基板；3-芯片；4-胶面；5-电子设备；51-处理器；52-存储器。具体实施方式下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行描述。图1为本申请实施例提供的平面度检测设备1的应用场景，在该应用场景中，平面度检测设备1悬垂设置在基板2上方，朝向基板2获取图像。在平面度检测设备1中，可以采用CCD(ChargecoupledDevice，电荷耦合器件)相机搭配光学镜头或其他成像器来获取图像，利用光学镜头或其他成像器的景深原理，确定芯片3上各位置处的高度是否一致。其中，景深是指在镜头前方(焦点的前、后)有一段一定长度的空间，当被摄物体位于这段空间内时，其在底片上的成像恰位于同一个弥散圆之间。被摄体所在的这段空间的长度，也即光学镜头或其他成像器前沿能够取得清晰图像的成像所测定的被摄物体前后距离范围。当光学镜头或其他成像器对着某一物体聚焦清晰时，在其中心所对的位置垂直镜头轴线的同一平面的点都可以在胶片或者接收器上形成相当清晰的图像，在这个平面沿着镜头轴线的前面和后面一定范围的点也可以结成眼睛可以接受的较清晰的像点。于一实施例中，在芯片3安装过程中，首先在芯片3安装的目标位置处滴胶，然后手工或利用机械臂将芯片3贴在基板2的滴胶处，由于滴胶材质、安装力度等误差影响，会导致芯片3与基板2之间的滴胶形成不平整的胶面4，从而使得芯片3与基板2不平行。此时利用CCD相机对芯片3进行图像采集，并保持光学镜头或其他成像器在同一高度对芯片3上的不同采样点进行拍照取相，图像会有明显的清晰与模糊的区别。若芯片3的平面度达标，也即芯片3与基板2平行时，CCD相机利用光学镜头或其他成像器在同一高度对芯片3上的不同采样点进行拍照，图像始终保持清晰。请参阅图2，其为本申请实施例提供的一种平面度检测设备1的结构示意图，平面度检测设备1包括：摄取组件11、分光组件12、第一获取组件13、第二获取组件14和处理组件15。其中，摄取组件11获取原始光路16后传输至分光组件12，分光组件12将原始光路16分成第一光路17和第二光路18，第一光路17传向第一获取组件13，第二光路18传向第二获取组件14，然后第一获取组件13和第二获取组件14将两光路上的图像数据传输至处理组件15，处理组件15对图像进行识别和判定。于一实施例中，识别可以是通过提取对比度对图像进行分析识别，并基于直方图对比，判定可以是利用景深原理判断图像是否处于景深范围。于一实施例中，摄取组件11用于根据原始光路16摄取目标图像。摄取组件11可以是光学镜头或其他成像器，例如显微镜的物镜镜头，显微镜的物镜镜头用于获取输入的原始光路16上的目标图像，目标图像可以是显微镜内的视场图像。其中，显微镜可以是Z向显微镜，Z向是指，定义基板2所在面为X-Y面，显微镜获取的是垂直于该X-Y面的原始光路16，则原始光路16的传播方向为Z向。于一实施例中，分光组件12用于将原始光路16分成第一光路本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种平面度检测设备，其特征在于，包括：/n摄取组件，用于根据原始光路摄取目标图像；/n分光组件，用于将所述原始光路分成第一光路和第二光路；/n第一获取组件，用于获取所述第一光路处的第一检测图像；/n第二获取组件，用于获取所述第二光路处的第二检测图像；/n处理组件，电性连接于所述第一获取组件和所述第二获取组件，用于根据所述第一检测图像和所述第二检测图像的对比度数据，计算目标图像的平面度数据。/n

【技术特征摘要】
1.一种平面度检测设备，其特征在于，包括：
摄取组件，用于根据原始光路摄取目标图像；
分光组件，用于将所述原始光路分成第一光路和第二光路；
第一获取组件，用于获取所述第一光路处的第一检测图像；
第二获取组件，用于获取所述第二光路处的第二检测图像；
处理组件，电性连接于所述第一获取组件和所述第二获取组件，用于根据所述第一检测图像和所述第二检测图像的对比度数据，计算目标图像的平面度数据。


2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述分光组件包括：
透光介质；
入射面，设置在所述透光介质靠近所述摄取组件的一端，所述入射面垂直于所述原始光路；
第一折射面，设置在所述透光介质内，所述第一折射面用于将所述原始光路向第一方向折射，形成第一光路；
第二折射面，设置在所述透光介质远离所述摄取组件的另一端，所述第二折射面用于将所述原始光路向第二方向折射，形成第二光路。


3.根据权利要求2所述的设备，其特征在于，所述第一光路与所述第二光路之间具有高度差。


4.根据权利要求3所述的设备，其特征在于，所述第一光路垂直于所述原始光路。


5.根据权利要求4所述的设备，其特征在于，所述第一获取组件包括：
第一折射部...

【专利技术属性】
技术研发人员：王河，许向阳，艾博，陈威，
申请(专利权)人：北京半导体专用设备研究所中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：发明
国别省市：北京;11