平面度检测设备、方法和电子设备技术

本申请提供一种平面度检测设备、方法和电子设备，平面度检测设备包括：摄取组件，用于根据原始光路摄取目标图像；分光组件，用于将原始光路分成第一光路和第二光路；第一获取组件，用于获取第一光路处的第一检测图像；第二获取组件，用于获取第二光路处的第二检测图像；处理组件，电性连接于第一获取组件和第二获取组件，用于根据第一图像和第二图像的对比度数据，计算目标图像的平面度数据。本申请提供的平面度检测设备、方法和电子设备，使用图像处理方法将景深范围和焦内平面高度相关联，克服现有平面度检测装置不易安装等缺陷，具有准确率高，易检测等优点。

【技术实现步骤摘要】
平面度检测设备、方法和电子设备
本申请涉及芯片检测领域，具体而言，涉及一种平面度检测设备、方法和电子设备。
技术介绍
随着红外成像技术产业的快速发展，对于红外探测器组件的平面度有了更高的要求，目前对于平面度的测量一般通过专业的测量工具进行测量，受到图像景深、量产、特殊工作台等环境因素影响，景深通常是指摄像镜头对待摄场景能够清晰成像的物距范围，现如今，对于景深范围只有概念性的解答，但是对于焦内没有明确的定量关系。现需要一种简易的平面度检测装置，对探测器组件进行观察、检测。
技术实现思路
本申请实施例的目的在于提供一种平面度检测设备、方法和电子设备，用以解决现有技术中存在的技术问题。第一方面，本专利技术实施例提供一种平面度检测设备，包括：摄取组件，用于根据原始光路摄取目标图像；分光组件，用于将原始光路分成第一光路和第二光路；第一获取组件，用于获取第一光路处的第一检测图像；第二获取组件，用于获取第二光路处的第二检测图像；处理组件，电性连接于第一获取组件和第二获取组件，用于根据第一图像和第二图像的对比度数据，计算目标图像的平本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种平面度检测设备，其特征在于，包括：/n摄取组件，用于根据原始光路摄取目标图像；/n分光组件，用于将所述原始光路分成第一光路和第二光路；/n第一获取组件，用于获取所述第一光路处的第一检测图像；/n第二获取组件，用于获取所述第二光路处的第二检测图像；/n处理组件，电性连接于所述第一获取组件和所述第二获取组件，用于根据所述第一检测图像和所述第二检测图像的对比度数据，计算目标图像的平面度数据。/n

【技术特征摘要】
1.一种平面度检测设备，其特征在于，包括：
摄取组件，用于根据原始光路摄取目标图像；
分光组件，用于将所述原始光路分成第一光路和第二光路；
第一获取组件，用于获取所述第一光路处的第一检测图像；
第二获取组件，用于获取所述第二光路处的第二检测图像；
处理组件，电性连接于所述第一获取组件和所述第二获取组件，用于根据所述第一检测图像和所述第二检测图像的对比度数据，计算目标图像的平面度数据。


2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述分光组件包括：
透光介质；
入射面，设置在所述透光介质靠近所述摄取组件的一端，所述入射面垂直于所述原始光路；
第一折射面，设置在所述透光介质内，所述第一折射面用于将所述原始光路向第一方向折射，形成第一光路；
第二折射面，设置在所述透光介质远离所述摄取组件的另一端，所述第二折射面用于将所述原始光路向第二方向折射，形成第二光路。


3.根据权利要求2所述的设备，其特征在于，所述第一光路与所述第二光路之间具有高度差。


4.根据权利要求3所述的设备，其特征在于，所述第一光路垂直于所述原始光路。


5.根据权利要求4所述的设备，其特征在于，所述第一获取组件包括：
第一折射部...

【专利技术属性】
技术研发人员：王河，许向阳，艾博，陈威，
申请(专利权)人：北京半导体专用设备研究所中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：发明
国别省市：北京;11