衍射元件制造技术

实现毋需用特殊液晶、无波长依赖性的衍射元件。在使入射光衍射的衍射元件（１）中，在透明基片（３０）上交错地排列着使入射光发生衍射的多个第一相位差区域（１０）与第二相位差区域（２０），形成衍射图案。在此第一与第二相位差区域中为使入射光中的多种波长的相位差一致，按照比多个波长中最短波长还短的节距间隔纳米级地排列许多微小凹凸结构，且使此第一与第二相位差区域中的微小凹凸结构正交。通过纳米级的微小凹凸结构使相位差一致，通过衍射图案可发挥衍射效率对波长依赖性小的衍射功能。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及使入射光衍射的衍射元件，特别涉及到对波长依赖性少的衍射元件。
技术介绍
光学元件中存在有使入射光衍射的衍射元件，衍射元件例如可用于光拾波器等之中。光拾波器除能把光源发出的光用作光信号，还能将其用作聚焦误差，探测信号与跟踪误差探测信号。这样，衍射元件在入射光之中将信号光作为0阶光衍射，而将聚焦误差探测信号与跟踪误差探测信号作为±1阶光衍射。为此，衍射元件便采用按微米级于玻璃基片上形成凹凸构造的结构。但是近年来的光拾波器除CD(激光唱盘利用波长780mm的光的光盘)与DVD(数字多用途光盘利用波长650nm的光的光盘)外，正渐次普及到大容量光盘(利用波长405nm的蓝色激光的光波)。由于对上述三个波段的光分别设置各自独立的光拾波器时会使装置总体大型化，故企图使光拾波器的结构部件与三个波长相对应以使光拾波器小型化。伴随着这种企图，光拾波器中所用的衍射元件也需要采用与这三个波长相对应的。近来，用于光拾波器中的光学部件多为在各个特定波长下能发挥其光学特性的部件。因而用于光拾波器的衍射元件也设计成能在CD、DVD或大容量光盘之中使其衍射效率最优化。为此，当使用与这三个波长中的某本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种衍射元件，其特征在于：在透明基片上将用于使入射光衍射的第一相位差区域与第二相位差区域交错地排列着多个，形成衍射图案；在上述第一相位差区域与第二相位差区域中，为使上述入射光中多个波长的相位差一致，以比上述多个波长中最短波长还短的节距排列许多微小的凹凸结构；且使上述第一相位差区域的微小凹凸结构与上述第二相位差区域的微小凹凸结构正交。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：川村宜司，仓桥肇，
申请(专利权)人：富士能佐野株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]