熔融石英透射1×2分束光栅制造技术

一种用于常用波段１５５０纳米光纤通信的熔融石英透射１×２分束光栅，是一种矩形高密度深刻蚀光栅，入射光分别在０级衍射和１级衍射等效率透射。本发明专利技术可以使ＴＥ偏振光在０和１级的透射效率分别为４８．５２％和４８．５６％，ＴＭ偏振光在０和１级的透射效率分别为４９．３５％和４９．０７％，实现对ＴＥ和ＴＭ偏振光同时１×２分束。本发明专利技术熔融石英光栅由光学全息记录技术或电子束直写装置结合微电子深刻蚀工艺加工而成，可以低成本、大批量生产。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及1x2分束器，特别是一种针对光纤通信用1550纳米波段的熔融 石英透射lx2分束光栅。技术背景分束器广泛应用于各种光学系统中，它能把一束入射光分成几束能量相等的出射 光。传统的基于多层介质膜的宽带分束器能量损失较大，制造过程复杂，成本高。近 來， 一些文献报道了相位光栅作为分束器，例如3通道耦合器、干涉计用反射50/50 输出等等。通常，全息光栅的工作带宽窄。众所周知，熔融石英是一种非常好的光学 材料，它具有从深紫外到远红外的宽透射谱。以熔融石英为材料，已经设计和制作了 低偏振相关损耗高效率光栅和偏振分束光栅。因此，如果熔融石英用来制作分束光栅 应用于宽带高功率激光系统中，将是非常吸引人的。矩形高密度深刻蚀光栅是利用微电子深刻蚀工艺，在基底上加工出的具有 较深槽形的光栅。由于表面刻蚀光栅的刻蚀深度较深，所以衍射性能类似于体 光栅，具有高效率的体光栅布拉格衍射效应，这一点与普通的表面浅刻蚀的平面光栅完全不同。矩形高密度深刻蚀光栅的衍射理论，不能由简单的标量光栅 衍射方程来解释，而必须采用矢量形式的麦克斯韦方程并结合边界条件，通过 编码的计算机程序精确地计算出结果。M本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于常用波段１５５０纳米光纤通信的熔融石英透射１×２分束光栅，其特征在于该光栅是矩形高密度深刻蚀光栅，光栅的占空比为０．５００、周期为１５５０纳米、刻蚀深度为１．３８０微米。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：周常河，王博，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]