【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及机械制造及激光微加工领域,特指一种激光微加工机光学聚焦系 统,特别适用于既要求聚焦光斑小,聚焦光斑尺寸不随距离而变化,又要求对工 件位置误差的敏感度为零,且无需考虑齐焦问题的加工中。技术背景激光加工是激光应用的主要方向之一,由于激光加工热影响区小,光束方向 性好,而且能使光斑点聚焦到波长级,可准确地控制加工范围及深度,有较高的 重复性和良好的边缘性,可进行选择性加工,精密加工,所以它是机加工中最具 竞争力的一种替代手段。激光加工是一门综合技术的应用,涉及光、机、电、材 料、计算机及自动控制等学科领域,正在形成高技术范围内多学科相互渗透的一 门新型边缘学科。经过多年的研究,已在理论基础和应用工艺两个方面得到了迅 速发展。在理论研究方面,激光加工机理已初步形成了较为完善的理论体系,而 激光加工工艺亦巳形成系列,并己在电子工业和机械制造两个领域得到应用。在 电子工业领域,激光加工用于电阻微调、基板划片、打标和半导体处理等方面; 在机械制造领域,激光加工已在切割、打孔、焊接、表面处理、切削加工等方面 得到应用。其中的光学系统是激光加工设备的重要组成部分 ...
【技术保护点】
一种激光微加工机光学聚焦系统,其特征在于:在正旋转棱镜后放置两个球面透镜,第一个球面透镜到正旋转棱镜的距离根据激光器的功率确定,第二个球面透镜与第一个球面透镜共焦。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:姚红兵,张永康,叶霞,鲁金忠,李国杰,
申请(专利权)人:江苏大学,
类型:发明
国别省市:32[中国|江苏]
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