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一种激光微加工机光学聚焦系统技术方案

技术编号:2665744 阅读:172 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种激光微加工机光学聚焦系统,涉及机械制造及激光微加工领域,其特别适用于既要求聚焦光斑小,聚焦光斑尺寸不随距离而变化,又要求对工件位置误差的敏感度为零,且无需考虑齐焦问题的加工中,其特征在于:在正旋转棱镜后放置两个球面透镜,第一个球面透镜到正旋转棱镜的距离根据激光器的功率确定,第二个球面透镜与第一个球面透镜共焦;只需制造一个旋转棱镜,通过更换第二个球面透镜就能方便地产生不同光斑尺寸的无衍射光束,以适应不同的加工要,本发明专利技术只需一个旋转棱镜,通过更换价格低廉的普通球面透镜可得到不同尺寸的微米级的无衍射光束,能适应不同的加工要求。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及机械制造及激光微加工领域,特指一种激光微加工机光学聚焦系 统,特别适用于既要求聚焦光斑小,聚焦光斑尺寸不随距离而变化,又要求对工 件位置误差的敏感度为零,且无需考虑齐焦问题的加工中。技术背景激光加工是激光应用的主要方向之一,由于激光加工热影响区小,光束方向 性好,而且能使光斑点聚焦到波长级,可准确地控制加工范围及深度,有较高的 重复性和良好的边缘性,可进行选择性加工,精密加工,所以它是机加工中最具 竞争力的一种替代手段。激光加工是一门综合技术的应用,涉及光、机、电、材 料、计算机及自动控制等学科领域,正在形成高技术范围内多学科相互渗透的一 门新型边缘学科。经过多年的研究,已在理论基础和应用工艺两个方面得到了迅 速发展。在理论研究方面,激光加工机理已初步形成了较为完善的理论体系,而 激光加工工艺亦巳形成系列,并己在电子工业和机械制造两个领域得到应用。在 电子工业领域,激光加工用于电阻微调、基板划片、打标和半导体处理等方面; 在机械制造领域,激光加工已在切割、打孔、焊接、表面处理、切削加工等方面 得到应用。其中的光学系统是激光加工设备的重要组成部分之一,它的特性直接影本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激光微加工机光学聚焦系统,其特征在于:在正旋转棱镜后放置两个球面透镜,第一个球面透镜到正旋转棱镜的距离根据激光器的功率确定,第二个球面透镜与第一个球面透镜共焦。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:姚红兵张永康叶霞鲁金忠李国杰
申请(专利权)人:江苏大学
类型:发明
国别省市:32[中国|江苏]

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