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一种激光微加工机光学聚焦系统技术方案
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下载一种激光微加工机光学聚焦系统的技术资料
文档序号:2665744
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一种激光微加工机光学聚焦系统,涉及机械制造及激光微加工领域,其特别适用于既要求聚焦光斑小,聚焦光斑尺寸不随距离而变化,又要求对工件位置误差的敏感度为零,且无需考虑齐焦问题的加工中,其特征在于:在正旋转棱镜后放置两个球面透镜,第一个球面透镜到...
该专利属于江苏大学所有,仅供学习研究参考,未经过江苏大学授权不得商用。
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