棱镜的制造方法技术

制造具有高角度精度的棱镜。准备大型基板（１）和小型基板（２），该大型基板（１）为平板状的基板，该小型基板（２）的宽度尺寸和厚度与大型基板（１）相同，但进深尺寸却比大型基板（１）短。在各基板的一侧表面形成电介质多层膜（３），交替地层叠大型基板（１）与小型基板（２），以使在宽度方向上仅按厚度量错开形成台阶状，在进深方向上使大型基板（１）的两端作为基板面Ｂ露出。叠层玻璃体（４）沿与台阶状平行的方向切断，对切断的多联玻璃体（５）的切断面进行研磨。然后，沿垂直方向切断多联玻璃体（５），获得长方块玻璃体（６），对长方块玻璃体（６）的切断面进行研磨。此时，以露出的基准面Ｂ为基准进行研磨，从而可相对基准面Ｂ将研磨面严格地形成为４５°。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种。
技术介绍
作为以光拾取装置为代表的光学系统的构成部件，例如具有偏振光分光器。偏振光分光器为将从光源出射的激光分离成反射光和透射光的光学元件，反射光和透射光中的任一方的光射向光盘，另一方的光射向用于检测激光强度的APC(自动功率控制)受光元件。偏振光分光器反射的反射光一般以90°角反射，所以，构成偏振光分光器的偏振光分离膜相对光轴成45°角地配置。因此，作为偏振光分光器，使用立方体形状的棱镜，偏振光分离膜相对光轴按45°角形成于棱镜。制造按预定角度形成偏振光分离膜的光学器件(棱镜)的方法例如公开于专利文献1。在专利文献1中，准备多个相同的平板玻璃，以台阶状层叠这些平板玻璃而获得叠层体后，切断叠层体，形成分割叠层体，反复进行分割叠层体的层叠·切断，获得最终的棱镜。此时，为了获得在棱镜内部按预定角度形成偏振光分离膜的光学器件，沿具有与偏振光分离膜的倾斜角对应的角度的倾斜侧壁按台阶状排列已切断了叠层体的分割叠层体。日本特开2000-199810号公报可是，形成于最终制造的棱镜的电介质多层膜(在专利文献1中为偏振光分离膜)必须相对光的入射面按极高的角度精度形成。因此，当制造棱镜时，必须按极高的角度精度形成电介质多层膜。然而，在所述专利文献1的专利技术中，难以满足棱镜要求的高角度精度。即，在专利文献1的专利技术中，当层叠多个平板玻璃和分割叠层体时，在各个平板玻璃间涂覆粘接剂进行粘合。此时，由各层的粘接剂产生厚度的误差。粘接剂叠层多层，所以，各层的粘接剂的厚度误差累积。另外，由于反复进行平板玻璃和分割叠层体的层叠·切断，所以，所述累积误差进一步累积，另外，切断时也产生切断误差，所以，最终制造的棱镜包含极大的误差。另外，虽然平板玻璃和叠层分割体沿倾斜壁排列成台阶状，但层叠时或切断时产生切断误差，另外还存在倾斜侧壁本身产生误差的可能性。以上那样的误差产生影响，可能在形成于最终制造的棱镜内部的膜的倾斜角产生极大的误差。因此，不能保证高精度的角度精度，为此，在专利文献1的专利技术中，按高角度精度在棱镜形成电介质多层膜极为困难。
技术实现思路
因此，本专利技术的目的在于提供一种用来制造具有高角度精度的棱镜的棱镜制造方法。本专利技术的棱镜制造方法制造按预定角度形成电介质多层膜的棱镜；其特征在于包括平板两面研磨工序、电介质多层膜成膜工序、基板粘接工序、叠层玻璃体切断工序、多联玻璃体两面研磨工序、多联玻璃体切断工序、第一长方块玻璃体研磨工序、第二长方块玻璃体研磨工序、及长方块玻璃体切断工序；该平板两面研磨工序，研磨大型基板和小型基板的两面，获得所述大型基板和所述小型基板的两面的平面度和平行度，该大型基板为平板状的基板，该小型基板的宽度尺寸和厚度与该大型基板相同、进深尺寸比所述大型基板短；该电介质多层膜成膜工序，在由所述平板两面研磨工序研磨获得的所述大型基板和所述小型基板的两面中的任何两个面上形成电介质多层膜，从而形成成膜面和非成膜面；该基板粘接工序为以粘接所述成膜面与所述非成膜面的方式交替粘接所述大型基板与所述小型基板的工序，以在宽度方向上错开预定间隔成为台阶状且将所述大型基板的进深方向两端作为基准面露出的方式进行层叠，获得叠层玻璃体；该叠层玻璃体切断工序，沿与所述台阶状的倾斜平行的方向按大于等于所述棱镜一边的长度的间隔切断所述叠层玻璃体，获得多个多联玻璃体；该多联玻璃体两面研磨工序，对所述多联玻璃体中的、由所述叠层玻璃体切断工序切断的两个切断面进行两面研磨，获得两个切断面的平面度和平行度；该多联玻璃体切断工序，在与所述研磨面垂直的方向上按大于等于所述棱镜一边的长度的间隔切断所述多联玻璃体，获得多个长方块玻璃体；该第一长方块玻璃体研磨工序，将形成于所述长方块玻璃体两端的所述基准面作为基准，对在所述多联玻璃体切断工序中切断的切断面进行研磨；该第二长方块玻璃体研磨工序，以在所述第一长方块玻璃体研磨工序中研磨获得的面作为基准，对与该面相反的面进行研磨；该长方块玻璃体切断工序，沿与在所述多联玻璃体两面研磨工序中研磨获得的研磨面或在所述长方块玻璃体研磨工序中研磨获得的研磨面垂直的方向，按相等间隔切断在所述长方块玻璃体研磨工序中研磨后的所述长方块玻璃体，获得多个棱镜。按照本专利技术的棱镜制造方法，当层叠大型基板与小型基板时，在进深方向以大型基板的两端从小型基板突出的方式进行层叠。大型基板与小型基板预先进行两面的表面研磨，获得平面度和平行度，所以，该研磨的面作为基准面时常露出。然后，以基准面作为基准进行研磨，可获得高的角度精度。在这里，大型基板和小型基板虽然进行两面的表面研磨，但此后在大型基板的两面形成电介质多层膜，而不在小型基板的两面形成电介质多层膜。在该场合，由于在露出的基准面(大型基板的突出的面)总形成电介质多层膜，所以，可将形成了电介质多层膜的面作为基准进行研磨。因此，可制造相对形成电介质多层膜的面具有极高精度的角度精度的棱镜。另外，本专利技术也可适用于将电介质多层膜形成于进行了表面研磨的大型基板和小型基板的两面中的小型基板的两面而不是大型基板的两面的场合。此时，由于在大型基板上未形成电介质多层膜，所以，在露出的基准面上时常不形成电介质多层膜。因此，虽然以未形成电介质多层膜的面作为基准面进行研磨，但在该场合，最终制造的棱镜的形成电介质多层膜的面为隔着粘接剂与基准面相对的面。为此，需要按高精度控制粘接剂的厚度，所以，与将形成所述电介质多层膜的面作为基准面的场合相比，有时角度精度相应地下降一些。然而，即使不将形成电介质多层膜的面作为基准面，也与将具有高精度的平面度和平行度的基准面作为基准进行研磨的场合没有差别，所以，在该场合，也可制造具有高角度精度的棱镜。另外，本专利技术也适用于在大型基板和小型基板的一侧表面分别形成电介质多层膜的场合。此时，在露出的基准面中的一面形成电介质多层膜，但不在其相反面形成电介质多层膜。因此，具有形成电介质多层膜的基准面的长方块玻璃体和具有未形成电介质多层膜的基准面的长方块玻璃体分别按一半的比例生成。然而，虽然未形成电介质多层膜的的角度精度有时也稍下降一些，但在以进行了两面研磨的表面作为基准面进行研磨这一点是一样的，所以，可制造具有高角度精度的棱镜。在该场合，角度精度有时产生一些偏差。为此，虽然在大型基板和小型基板的一侧表面分别形成电介质多层膜，但在小型基板的一侧表面形成于整个面。另外，在大型基板的一侧表面上与小型基板相同的区域(构成叠层玻璃体时，与大型基板的区域中接合于小型基板的区域相同的区域)形成电介质多层膜。为此，未形成电介质多层膜的面时常成为基准面，所以，可消除所述偏差。本专利技术的棱镜制造方法可制造具有高角度精度的棱镜。附图说明图1为示出本专利技术处理流程的流程图。图2为棱镜的透视图。图3为大型基板和小型基板的透视图。图4为叠层玻璃体的透视图。图5为叠层玻璃体的正面图和侧面图。图6为多联玻璃体的透视图。图7为长方块玻璃体的透视图。图8为夹具的透视图和放大图。具体实施例方式下面，根据图1的流程图说明本专利技术的实施方式。图2为最终制造的棱镜10。本实施方式的棱镜10为一边长PL的立方体型的光学元件，相对光轴按45°的角度形成电介质多层膜3。在此，在本实施方式中，将棱镜10各面的对角线长度(形成有电介质多层膜3的面的长边本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种棱镜的制造方法，制造按预定角度形成电介质多层膜的棱镜；其特征在于：包括平板两面研磨工序、电介质多层膜成膜工序、基板粘接工序、叠层玻璃体切断工序、多联玻璃体两面研磨工序、多联玻璃体切断工序、第一长方块玻璃体研磨工序、第二长方块玻璃体研磨工序、及长方块玻璃体切断工序；该平板两面研磨工序，研磨大型基板和小型基板的两面，获得所述大型基板和所述小型基板的两面的平面度和平行度，该大型基板为平板状的基板，该小型基板的宽度尺寸和厚度与该大型基板相同、进深尺寸比所述大型基板短； 该电介质多层膜成膜工序，在由所述平板两面研磨工序研磨获得的所述大型基板和所述小型基板的两面中的任何两个面上形成电介质多层膜，从而形成成膜面和非成膜面；该基板粘接工序为以粘接所述成膜面与所述非成膜面的方式交替粘接所述大型基板与所述 小型基板的工序，以在宽度方向上错开预定间隔成为台阶状且将所述大型基板的进深方向两端作为基准面露出的方式进行层叠，获得叠层玻璃体；该叠层玻璃体切断工序，沿与所述台阶状的倾斜平行的方向按大于等于所述棱镜一边的长度的间隔切断所述叠层玻璃体 ，获得多个多联玻璃体；该多联玻璃体两面研磨工序，对所述多联玻璃体中的、由所述叠层玻璃体切断工序切断的两个切断面进行两面研磨，获得两个切断面的平面度和平行度；该多联玻璃体切断工序，在与所述研磨面垂直的方向上按大于等于所述棱镜一 边的长度的间隔切断所述多联玻璃体，获得多个长方块玻璃体；该第一长方块玻璃体研磨工序，将形成于所述长方块玻璃体两端的所述基准面作为基准，对在所述多联玻璃体切断工序中切断的切断面进行研磨；该第二长方块玻璃体研磨工序，以在所述第一 长方块玻璃体研磨工序中研磨获得的面作为基准，对与该面相反的面进行研磨；该长方块玻璃体切断工序，沿与在所述多联玻璃体两面研磨工序中研磨获得的研磨面或在所述长方块玻璃体研磨工序中研磨获得的研磨面垂直的方向，按相等间隔切断在所述长方块玻璃 体研磨工序中研磨后的所述长方块玻璃体，获得多个棱镜。...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：龙保民，小野健治，大塚寿，关口隆史，冈崎隆一，
申请(专利权)人：富士能佐野株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]