衍射光栅元件制造技术

本发明专利技术提供一种衍射光栅元件及其制造方法和设计方法。在衍射光栅元件（１０）中，在第１介质（１１）和第４介质（１４）之间，交互设置第２介质（１２）和第３介质（１３）形成衍射光栅。从第１介质（１１）入射到衍射光栅的光被衍射光栅部衍射，出射到第４介质（１４）。或者，从第４介质（１４）入射到衍射光栅的光被衍射光栅部衍射出射到第１介质（１１）。各介质的折射率ｎ↓［１］～ｎ↓［４］满足ｎ↓［３］＜ｎ↓［１］＜ｎ↓［２］，ｎ↓［３］≤ｎ↓［４］≤ｎ↓［２］或者ｎ↓［３］≤ｎ↓［１］≤ｎ↓［２］，ｎ↓［３］＜ｎ↓［４］＜ｎ↓［２］这样的关系式。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及透过型衍射光栅元件、衍射光栅元件制造方法及衍射光栅元件的设计方法。
技术介绍
衍射光栅元件一般是在具有相互平行的第1面以及第2面的透明平板中在第1面形成了衍射光栅的元件(参照如小馆香椎子“衍射光学的发展和新进展”，日本女子大学纪要、理学部第10号pp7-24(2002))。在该衍射光栅元件中，例如，如果光以一定入射角从与第1面相接的介质入射到该第1面，则该光将被形成在第1面的衍射光栅衍射，通过透明平板的内部出射到与第2面相接的介质。从透明平板的第2面出射时的光的衍射角因波长而异。 这样，该衍射光栅元件可以作为分波入射的光并出射的光分波器使用。此外，该衍射光栅元件在与上述情况相反的方向引导光线时，还可以作为合波入射的光并出射的光合波器使用。进而，通过组合衍射光栅元件和其他的光学元件，也可以构成对应波长调整光的群延迟时间的分散调整器。因而，衍射光栅元件在多重化传送多波长的信号光的波分复用(WDMWavelength Division Multiplexing)光通信系统中已成为重要的光学器件之一。 这样的衍射光栅元件要求有高的衍射效率。因而，有人先后提出了若干种本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种衍射光栅元件，其特征在于：在假定了相互平行并顺序地排列了第１平面～第３平面时，具有：在上述第１平面的外侧相接于上述第１平面设置的折射率为ｎ↓［１］的第１介质；在上述第２平面和上述第３平面之间相接于上述第２平面以及 上述第３平面在平行于上述第１平面的预定方向交互设置从而形成了衍射光栅的折射率为ｎ↓［２］的第２介质以及折射率为ｎ↓［３］的第３介质，其中ｎ↓［３］＜ｎ↓［２］；在上述第３平面的外侧相接于上述第３平面设置的折射率为ｎ↓［４］的第４介质 ；和在上述第１平面和上述第２平面之间相接于上述第１平面以及上述第２平面设置的平均折射率为...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：盐崎学，茂原政一，
申请(专利权)人：住友电气工业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]