基于衍射光栅的光学装置制造方法及图纸

本发明专利技术实施例涉及由一个以上亚波长衍射光栅层构成的平面光学装置。在一个实施例中，光学装置包括第一近似平面的反射结构(104、1904)、第二近似平面的反射结构(106、1906)以及布置于所述第一反射结构和所述第二反射结构之间的近似平面的亚波长光栅层(102、1902)。所述光栅层被配置有线条(208-211、214-217)，线条宽度、线条厚度和线条周期间隔被选择以控制透过所述光学装置的光束的不同部分的相变。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】基于衍射光栅的光学装置
本专利技术实施例涉及光学装置，具体地涉及包括一个以上的被配置为作为光学元件工作的高对比度亚波长衍射光栅的光学装置。
技术介绍
在许多
中，使聚焦光束的光束宽度或“光斑尺寸”最小化尤为重要。例如， 光斑尺寸对于将数据写入光盘或从光盘读取数据是重要的。光斑尺寸越小，则光盘的记录密度越高。为了获得小的光斑尺寸，通常使光束穿过具有高的数值孔径(NA)的凸透镜。可通过增大透镜沿光轴方向的厚度以及缩短焦距来增大凸透镜的NA。然而，由于制作非常小的大曲率透镜的难度和由于为使透镜不存在像差所需的精密抛光，因此将这种透镜结合到基于光学的装置中可能成本昂贵。另外，常规的凸透镜和凹透镜可能不适于平面集成电路。也可利用聚焦光栅耦合器产生聚焦光束。利用聚焦光栅耦合器，可使沿光波导传播的光投射到波导之外的自由空间并聚焦。虽然可利用聚焦光栅耦合器将光从波导耦合到自由空间，但其不能被配置和操作为将光从自由空间耦合到自由空间。虽然近几年在亚波长光学元件设计和制作上已有很大进展，但光学元件的设计者和制造者仍在寻求可拓宽光学元件设计和应用的可能范围的改进。附图说明图1A-1B分别示出了根据本本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：李晶晶，戴维·A·法塔勒，雷蒙德·G·博索雷，马科斯·菲奥伦蒂诺，
申请(专利权)人：惠普发展公司，有限责任合伙企业，
类型：发明
国别省市：