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衍射光栅元件制造技术
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文档序号:2666352
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本发明提供一种衍射光栅元件及其制造方法和设计方法。在衍射光栅元件(10)中,在第1介质(11)和第4介质(14)之间,交互设置第2介质(12)和第3介质(13)形成衍射光栅。从第1介质(11)入射到衍射光栅的光被衍射光栅部衍射,出射到第4介...
该专利属于住友电气工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过住友电气工业株式会社授权不得商用。
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