【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及测试半导体器件等被测器件的测试装置、使测试装置具有 功能的程序、及存储程序的记录介质。本专利技术与以下日本申请有关。对于 承认根据文献参照而插入的指定国而言，将下述日本国申请所记载的内容 通过参照插入到本申请中，作为本申请记载的一部分。特愿2005 — 126893 出愿日 2005年4月25日
技术介绍
测试被测器件的测试装置，为了测试被测器件，向被测器件输出多个 信号。这时，需要控制每个输出信号，以使相对于基准相位差的相位差一 致，现有的测试装置具有多个测试模块，从这些测试模块输出多个输出信 号，另外，为了齐备多个输出信号的相位，在测试模块的各个输出通道设 可变延迟电路，调整输出信号的相位。现有的测试装置中，安装多块同一种测试模块，由于被安装的测试模 块的构成是固定的，可以容易地进行该当可变延迟电路的设定。 由于现在尚未考证相关的专利文献等，因此省略其记载。但是，由于现有的测试装置的测试模块的构成是固定的，所以，通用 性低，对此，提出了变更测试模块的构成，例如，可以同时使用多种多种 测试模块的测试装置。但是，变更测试模块的构成时，在每个测试...
【技术保护点】
一种测试装置，是测试被测器件的测试装置，包括；根据所给与的时序信号，将所述被测器件的测试用测试图案提供给所述被测器件的多个测试模块、 生成基准时钟的基准时钟生成部、 对应所述多个测试模块设置，根据所述基准时钟生成所述时序信号，将所述时序信号提供给各个对应的所述测试模块的多个时序供给部、 根据各个所述测试模块接受所述时序信号后，到输出所述测试图案为止的各个所述测试模块的延迟量，控制各个所述时序供给部输出所述时序信号的时序，以使所述多个测试模块输出的各个所述测试图案的时序大致相同的控制部。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
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