一种探针塔、晶片测试承座与晶片测试系统技术方案

技术编号:2647952 阅读:157 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术揭露一种探针塔,用于晶片测试,包含:一圆形本体,配置有LCD测试区以及I/O测试区,且圆形本体具有一本体上座及一本体下座;多数群探针孔,配置在LCD测试区及I/O测试区,同时垂直贯穿本体上座及本体下座;以及多数群测试探针,配置在等探针孔内,以传递通过圆形本体的测试信号;多数群接地孔配置在I/O测试区;多数群接地针,以紧配方式嵌入于本体上座及本体下座其中之一的多数群接地孔,并电性导通至圆形本体,以将邻近的测试探针的噪声及漏电流接地;多数群间隔环,以绝缘材料制成,配置于探针孔的端部,以固定测试探针于圆形本体上,且提供测试探针及圆形本体的电性绝缘。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是关于一种探针塔(pogo tower ),特别是 指 一 种具有降低噪声与减少漏电流效果的探针塔。
技术介绍
目前探针塔其上的测试探针分别配置在探针塔的 I/O区与LCD区,其中I/O区所使用的测试探针较细, LCD区所使用的测试探针较粗,且目前在探针塔I/O区 与LCD区的测试探针为固定设置,是将测试探针套管 的部份先焊在PCB板上,再将测试探针针头放入测试 探针的套管中,并利用PCB板上的导线,将工/0区与 LCD区的接地互相连接,以达到将噪声与漏电流排除的 目的。己知技术的美国专利第6 1 1 4 8 6 9号、美 国专利第6 1 6 6 5 5 3号、美国专利第6 3 0 4 0 9 2号、美国专利第6 74 1 0 7 2号,以及美国专 利第6 8 7 6 2 1 5号皆揭露测试探针与探针塔相关 的基本结构。而目前己知技术的探针塔在使用上有下列三项问 题点1 .由于I/O区所使用的测试探针较细,故常常于 校机时造成测试探针针头的部份折断的问题,且此型 式的测试探针价格较昂贵。2 .因探针塔其测试探针的固定方式为将测试探 针针头部份放入测试探针套管中,故当测试探针套管 部份损坏需更换时',必须将测试探针套管解焊,才能 将测试探针套管取下更换,因此不易修复。3 .另外由于探针塔其I/O区与LCD区测试探针使用 间的接触力太小故常造成接角虫不良而耗费校*几时
技术实现思路
为了解决上述问题以达到噪声与漏电流排除的巨的,本专利技术是揭露经由计算而得到适当的测试探针外径大小与探针塔本体放置测试探针的孔径大小,以解决测试探针于校机时针头的部份容易折断的问题。再利用绝缘间隔环将试探针固设于探针塔上,取代传统先将测试探针焊在PCB板,再将测试探针针头部 份放入测试探针套管中,以解决已知技术中当测试探 针套管部份损坏需更换时,必须将测试探针套管解焊,才能将测试探针套管取下间隔环可隔离测试探针与互导通此外将地针直接探针塔的本体为导体材质漏电流的能力将增加。本专利技术的主要目的在探针塔,以达到降低噪声本专利技术次一目的在于针塔的制作方法,以达到本专利技术另一目的在于试承座,以达到降低噪本专利技术再一目的在于达到降低噪声的效果。本专利技术再一目的在于达到降低噪声的效果。本专利技术再一目的在于针塔,以达到减少漏电流本专利技术再一目的在于针塔,以达到减少漏电流本专利技术再一目的在于针塔的制作方法,以达到更换的问题。此外使用绝缘探针塔本体使苴 z 、之间不会相紧配嵌入探针塔本体中,由,以改善探针塔处理噪声与于提供 一 种用于曰 曰曰片领IJ试的的效果。提供 一 种用于晶片测试的探 降低噪声的效果。提供 一 种具有探针塔的晶片 声的效果。提供 一 种晶片测试系统,以提供 一 种晶片测试方法,以提供 一 种用于晶片测试的探 的效果。提供 一 种用于晶片测试的探 的效果。提供 一 种用于晶片测试的探 减少漏电流的效果。本专利技术再 一 目的在于提供 一 种晶片测试系统,以 达到减少漏电流的效果。本专利技术再 一 目的在于提供 一 种晶片测试方法,以 达到减少漏电流的效果。专利技术提供 一 种探针塔,用于晶片测试,本体,配置有LCD测试区以及I/O测试体具有一本体上座及一本体下座;多数置在LCD测试区及I/O测试区,同时垂 座及本体下座;以及多数群测试探针,据此包含 区,群探古冊 直贝配置且 针圆形孔 本在体 针本 形 本 配 上 孔内,用以传递通过圆形本体的测试信号;特征在于,多数群接地孔,配置在I/O泖J试区乡数群接地针,以紧配方式嵌入于本体上座及本体下座苴 z 、中之的多数群接地孔,并电性导通至圆形本体,用以将邻近的测试探针的噪声及漏电流接地多数群间隔环,以绝缘材料制成,配置于探针孔的J;山 顺部,用以固定测试探针于探针孔内,且提供泖J i式探针及圆形本体的电性绝种用于晶片测试的探针塔形本体,圆形本体配置有且圆形本体具有一本体上群探针孔,探针孔配置在时垂直贯穿本体上座及本体下座以及提供多数群测试探针,测试探针配置在探针孔内,用以传递通过圆形本体的领l试信号特征在于提供多数群接地孔,配置在工/0测试区提供多数群接地针,以紧配方式嵌入于本体上座及本体下座中之一的多数群接地孔,并电性导通至圆形本体,用以将邻近的测试探针的噪声及漏电流接地提供多数群间隔环,以绝缘材料制成,配置于探针孔的4山 乂而部,用以固定测试探针于探针孔内,且提供测试探针及圆形本体的电性绝缘。接着,本专利技术再提供 一 种具有探针塔的晶片测试 承座,至少具有 一 运动平台、 一 探针塔与 一 针测卡,运动平台是提供X-Y-Z三轴的移动用以承载 一 待测晶 片,其中探针塔包含 一圆形本体,配置有LCD测试 区以及I/O测试区,且圆形本体具有一本体上座及一 本体下座;多数群探针孔,配置在LCD测试区及I/O 测试区,同时垂直贯穿本体上座及本体下座;以及多 数群测试探针,配置在探针孔内,用以传递通过圆形 本体的测试信号;其特征在于,多数群接地孔,配置 在I/O测试区;多数群接地针,以紧配方式嵌入于本 体上座及本体下座其中之 一 的多数群接地孔,并电性 导通至圆形本体,用以将邻近的测试探针的噪声及漏 电流接地;多数群间隔环,以绝缘材料制成,配置于11探针孔的端部,用以固定测试探针于探针孔内,且提 供测试探针及圆形本体的电性绝缘。接着,本专利技术再提供 一 种晶片测试系统,包含一晶片测试承座,至少具有 一 运动平台、 一 探针塔与 一针测卡,运动平台是提供X-Y-Z三轴的移动用以承 载 一 待测晶片,其中探针塔包含 一 圆形本体,配置 有LCD测试区以及I /0测试区,且圆形本体具有 一 本体上座及一本体下座;多数群探针孔,配置在LCD测 试区及I/O测试区,同时垂直贯穿本体上座及本体下 座;以及多数群测试探针,配置在探针孔内,用以传 递通过圆形本体的测试信号;其特征在于,多数群接 地孔,配置在1/0测试区;多数群接地针,以紧配方 式嵌入于本体上座及本体下座其中之一的多数群接地 孔,并电性导通至圆形本体,用以将邻近的测试探针 的噪声及漏电流接地;多数群间隔环,以绝缘材料制 成,配置于探针孔的端部,用以固定测试探针于探针 孔内,且提供测试探针及圆形本体的电性绝缘; 一 测 试头,用以对应连接至探针塔; 一 控制与运算装置, 接收测试头的测试信号,加以运算统计成晶片的测试 结果;以及 一 显示装置,将晶片测试结果输出。接着,本专利技术再提供 一 种晶片测试方法,包含 提供 一 待测晶片;提供 一 晶片测试承座,至少具有一运动平台、 一 探针塔与 一 针测卡,运动平台是提供 X-Y-Z三轴的移动用以承载 一 待测晶片,其中探针塔包 含一 圆形本体,配置有LCD测试区以及I/O测试区,且圆形本体具有一本体上座及一本体下座;多数群探 针孔,配置在LCD测试区及I/O测试区,同时垂直贯 穿本体上座及本体下座;以及多数群测试探针,配置在探针孔内,用以传递通过圆形本体的测试信号;其 特征在于,多数群接地孔,配置在I/O测试区;多数 群接地针,以紧配方式嵌入于本体上座及本体下座其中之 一 的多数群接地孔,并电性导通至圆形本体,用 以将邻近的测试探针的噪声及漏电流接地;多数群间 隔环,以绝缘材料制成,配置于探针孔的端部,用以本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种探针塔,用于晶片测试,包含: 一圆形本体,配置有LCD测试区以及I/O测试区,且该圆形本体具有一本体上座及一本体下座; 多数群探针孔,配置在该LCD测试区及I/O测试区,同时垂直贯穿该本体上座及本体下座;以及 多数群测试探针,配置在该等探针孔内,用以传递通过该圆形本体的测试信号; 其特征在于, 多数群接地孔,配置在该I/O测试区; 多数群接地针,以紧配方式嵌入于该本体上座及本体下座其中之一的多数群接地孔,并电性导通至该圆形本体,用以将邻近的测试探针的噪声及漏电流接地; 多数群间隔环,以绝缘材料制成,配置于该等探针孔的端部,用以固定该等测试探针于该探针孔内,且提供该等测试探针及该圆形本体的电性绝缘。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:林源记黎孟达
申请(专利权)人:京元电子股份有限公司
类型:发明
国别省市:71[中国|台湾]

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