一种6N级高纯四氟化硅自动化纯化装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种6N级高纯四氟化硅自动化纯化装置，属于气体纯化技术领域。所述装置包括：吸附塔、除轻塔、除重塔、气体检测器、信号接收及反馈装置、控制器，循环管路、充装气动阀门、循环气动阀门、充装钢瓶和原料钢瓶。所述方法包括如下步骤：(1)设置吸附塔的温度为，通入四氟化硅气体；(2)吸附后的四氟化硅气体依次进入除轻塔和除重塔；(3)气体检测器对从除重塔出来的四氟化硅气体进行纯度检测，并发送信号给接收及反馈装置，向控制器发送是否启动循环管路的指令。所述装置节省人力，降低了生产成本，提高了工作效率，易于实现工业化生产；可以将95％～99％的四氟化硅气体纯度提高至6N级以上。

【技术实现步骤摘要】
一种6N级高纯四氟化硅自动化纯化装置
本技术属于气体纯化
，具体涉及一种6N级高纯四氟化硅自动化纯化装置。
技术介绍
四氟化硅的应用领域非常广泛，可用作生产高纯石英玻璃、太阳能电池、复印机感光鼓、氟硅酸、氟化铝、氟化镁、硅酸钾酯、氟化氢铵、电子材料、水泥以及大理石的硬化剂、光敏剂、电子级硅烷或多晶硅等。在电子和半导体领域，四氟化硅主要用于氮化硅、硅化钽等的刻蚀剂、P型掺杂剂、外延沉积扩散硅源等。目前现有文献中已经公开的四氟化硅制备方法包括含氟物质与含硅物质合成法、热解法、硫酸法、氢氟酸法等。随着集成电路产业的不断发展，对电子气体纯度的要求日益提高，杂质指标从10-6向10-9甚至更高的纯度发展，现有制备方法制得的粗品四氟化硅已经无法满足使用的要求，因此必须进行纯化处理。由于制备方法不同，杂质的种类也不尽相同，现有技术中采用较多的纯化方法有精馏法、吸附法、冷冻法、氟化法、催化法、离子交换法等。然而，对于这种普通工艺，一方面纯化效果不佳，去除效果不稳定，成本高，难以彻底将四氟化硅气体中的氟化氢和有机杂质去除；另一方面，在充装过本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种6N级高纯四氟化硅自动化纯化装置，其特征在于，所述装置包括：吸附塔(1)、除轻塔(2)、除重塔(3)、气体检测器(4)、信号接收及反馈装置(5)、控制器(6)，循环管路(7)、充装气动阀门(8)、循环气动阀门(9)、充装钢瓶(10)和原料钢瓶(11)；/n连接关系为：原料钢瓶(11)、吸附塔(1)、除轻塔(2)、除重塔(3)、气体检测器(4)、充装气动阀门(8)和充装钢瓶(10)依次顺序管路连接；循环管路(7)一端连接在原料钢瓶(11)和吸附塔(1)之间的管路上，另一端连接在气体检测器(4)和充装气动阀门(8)之间的管路上，循环管路(7)中连接有循环气动阀门(9)；信号接收及反馈装置(...

【技术特征摘要】
1.一种6N级高纯四氟化硅自动化纯化装置，其特征在于，所述装置包括：吸附塔(1)、除轻塔(2)、除重塔(3)、气体检测器(4)、信号接收及反馈装置(5)、控制器(6)，循环管路(7)、充装气动阀门(8)、循环气动阀门(9)、充装钢瓶(10)和原料钢瓶(11)；
连接关系为：原料钢瓶(11)、吸附塔(1)、除轻塔(2)、除重塔(3)、气体检测器(4)、充装气动阀门(8)和充装钢瓶(10)依次顺序管路连接；循环管路(7)一端连接在原料钢瓶(11)和吸附塔(1)之间的管路上，另一端连接在气体检测器(4)和充装气动阀门(8)之间的管路上，循环管路(7)中连接有循环气动阀门(9)；信号接收及反馈装置(5)分别与气体检测器(4)和控制器(6)连接，控制器(6)还与充装气动阀门(8)和循环气动阀门(9)连接，用于控制充装气动阀门(8)和循环气动阀门(9)的开启和关闭。


2.根据权利要求1所述的6N级高纯四氟化硅自动化纯化装置，其特征在于，所述气体检测器(4)、信号接收及反馈装置(5)、控制器(6)、循环管路(7)、充装气动阀门(8)和循环气动阀门(9)构成充装系统，用于对四氟化硅纯度指标进行检测，并根据检测结果实现对四氟化硅充装状态的自动切换；
具体为：...

【专利技术属性】
技术研发人员：王云飞，宋富财，李海军，张明杰，孙秋丽，鲁毅，张雷，李丹丹，郑艺，
申请(专利权)人：中船重工邯郸派瑞特种气体有限公司，
类型：新型
国别省市：河北;13