温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型公开了一种6N级高纯四氟化硅自动化纯化装置，属于气体纯化技术领域。所述装置包括：吸附塔、除轻塔、除重塔、气体检测器、信号接收及反馈装置、控制器，循环管路、充装气动阀门、循环气动阀门、充装钢瓶和原料钢瓶。所述方法包括如下步骤：(1)...该专利属于中船重工(邯郸)派瑞特种气体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中船重工(邯郸)派瑞特种气体有限公司授权不得商用。
温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型公开了一种6N级高纯四氟化硅自动化纯化装置，属于气体纯化技术领域。所述装置包括：吸附塔、除轻塔、除重塔、气体检测器、信号接收及反馈装置、控制器，循环管路、充装气动阀门、循环气动阀门、充装钢瓶和原料钢瓶。所述方法包括如下步骤：(1)...