并联式氯硅烷尾气回收系统技术方案

本实用新型专利技术公开了并联式氯硅烷尾气回收系统，属于多晶硅制造技术领域，其通过布置设置跨接管路，以连通相邻两根回收管路，从而使得整个系统中的氯硅烷尾气回收装置可以共享其处理能力，使其进气余量得到充分的应用，提高了氯硅烷尾气回收装置的使用效率。

【技术实现步骤摘要】
并联式氯硅烷尾气回收系统
本技术涉及多晶硅制造
，具体而言，尤其涉及并联式氯硅烷尾气回收系统。
技术介绍
在多晶硅的生产过程当中，尾气回收系统主要用于还原炉尾气的回收再利用。如图1所示，传统的尾气回收系统，其主要由多组还原炉组和对应的氯硅烷尾气回收装置所构成，还原炉组中包含有多个还原炉，多个还原炉的尾气汇总后通过单独的回收管路排入至氯硅烷尾气回收装置中，以进行回收作业。其中，由于各个氯硅烷尾气回收装置之间相互独立，而对应氯硅烷尾气回收装置进气余量与对应还原炉之间的尾气量难以完全适配，所以整个尾气回收系统具有着回收装置负荷分配不均、使用率不饱和的缺陷。详细的说，如图1中所示的传统的尾气回收系统，其还原炉组中单个还原炉的的尾气量大致为3000Nm3，而氯硅烷尾气回收装置的进气量大致为10000Nm3，这导致了还原炉组在开启三台还原炉时，氯硅烷尾气回收装置尚存有1000Nm3的进气余量，使用不饱和。同时，对于传统的尾气回收系统而言，其在面临部分氯硅烷尾气回收装置出现故障时，只能将对应的还原炉组进行关停，影响了企业的正常效率，降低了尾气回收系统的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.并联式氯硅烷尾气回收系统，包括有多组还原炉组，多组氯硅烷尾气回收装置，以及多根与还原炉组、氯硅烷尾气回收装置相对应的回收管路，所述回收管路并行设置，还原炉组的出气口通过回收管路而与氯硅烷尾气回收装置的进气口对应连通，其特征在于：相邻的两回收管路通过设置于两者之间的跨接管路而相互连通。/n

【技术特征摘要】
1.并联式氯硅烷尾气回收系统，包括有多组还原炉组，多组氯硅烷尾气回收装置，以及多根与还原炉组、氯硅烷尾气回收装置相对应的回收管路，所述回收管路并行设置，还原炉组的出气口通过回收管路而与氯硅烷尾气回收装置的进气口对应连通，其特征在于：相邻的两回收管路通过设置于两者之间的跨接管路而相互连通。


2.如权利要求1所述的并联式氯硅烷尾气回收系统，其特征在于：所述跨接管路上设有多个并联的跨接截止阀。


3.如权利要求2所述的并联式氯硅烷尾气回收...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁川江，勾护国，刘鹏飞，
申请(专利权)人：新疆东方希望新能源有限公司，
类型：新型
国别省市：新疆;65