氯硅烷及石英联合制备的方法技术

本发明专利技术公开了一种氯硅烷及石英联合制备的方法，包括以下步骤：(1)对金刚线切割硅片的砂浆进行固液分离，得到成品硅粉；(2)以成品硅粉为原料与氯化剂进行氯化反应，制备氯硅烷，得到第一反应残渣；(3)将第一反应残渣与氧气或氯气进行高温氧化反应或高温氯化反应，进行气固分离，得到第二反应残渣；(4)将第二反应残渣进行酸浸，除去金属氧化物杂质，得到悬浮液；(5)对悬浮液进行固液分离，得到固体二氧化硅；(6)将固体二氧化硅加热至熔融，冷却后得到熔融石英。本发明专利技术对金刚线切割硅片的砂浆中的硅元素进行充分的回收利用，降低了硅元素的浪费；实现了多晶硅产业链中硅元素的循环利用，杜绝了环境污染，降低了氯硅烷的生产成本。

【技术实现步骤摘要】
氯硅烷及石英联合制备的方法
本专利技术属于硅材料生产
，具体涉及一种氯硅烷及石英联合制备的方法。
技术介绍
金刚线多线切割技术具有硅耗低、切割效率高等优点，目前正在逐步取得砂线切割成为多线切割的主流技术。然而，在单晶或者多晶硅切片过程中，金刚线切削硅棒时产生的硅粉由于粒径极细表面能很高，同时切割过程中温度较高，导致部分硅粉被氧化为二氧化硅，此外，切割废液中分离出来的废硅粉存储过程中与空气接触也会发生氧化反应，进一步增加了二氧化硅的含量。切割废液中回收硅粉成分比较复杂，含有硅、氧、碳及金属杂质元素，同时比表面积大，密度小，增加了硅元素的回收难度，丢弃的切割废液不仅造成了浪费，而且对环境污染严重。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是针对现有技术中存在的上述不足，提供一种氯硅烷及石英联合制备的方法，对金刚线切割硅片的砂浆中的硅元素进行充分的回收利用，降低了硅元素的浪费。解决本专利技术技术问题所采用的技术方案是提供一种氯硅烷及石英联合制备的方法，包括以下步骤：(1)对金刚线切割硅片的砂浆进行固本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种氯硅烷及石英联合制备的方法，其特征在于，包括以下步骤：/n(1)对金刚线切割硅片的砂浆进行固液分离，得到成品硅粉，成品硅粉包括单质硅、二氧化硅；/n(2)以成品硅粉为原料与氯化剂进行氯化反应，制备氯硅烷，得到第一反应残渣，第一反应残渣包括金属杂质、残存的单质硅、二氧化硅；/n(3)将第一反应残渣与氧气或氯气进行高温氧化反应或高温氯化反应，进行气固分离，得到第二反应残渣，第二反应残渣包括固体二氧化硅，其中，金属杂质、残存的单质硅与氧气反应生成固体金属氧化物、固体二氧化硅，或者，金属杂质、残存的单质硅与氯气反应生成气体金属氯化物、气体氯硅烷，；/n(4)将第二反应残渣进行酸浸，除去第二反应...

【技术特征摘要】
1.一种氯硅烷及石英联合制备的方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)对金刚线切割硅片的砂浆进行固液分离，得到成品硅粉，成品硅粉包括单质硅、二氧化硅；
(2)以成品硅粉为原料与氯化剂进行氯化反应，制备氯硅烷，得到第一反应残渣，第一反应残渣包括金属杂质、残存的单质硅、二氧化硅；
(3)将第一反应残渣与氧气或氯气进行高温氧化反应或高温氯化反应，进行气固分离，得到第二反应残渣，第二反应残渣包括固体二氧化硅，其中，金属杂质、残存的单质硅与氧气反应生成固体金属氧化物、固体二氧化硅，或者，金属杂质、残存的单质硅与氯气反应生成气体金属氯化物、气体氯硅烷，；
(4)将第二反应残渣进行酸浸，除去第二反应残渣中的金属氧化物杂质，得到悬浮液；
(5)对悬浮液进行固液分离，得到固体二氧化硅；
(6)将固体二氧化硅加热至熔融，冷却后得到熔融石英。


2.根据权利要求1所述的氯硅烷及石英联合制备的方法，其特征在于，所述步骤(2)中氯化反应的温度为200～600℃。


3.根据权利要求1所述的氯硅烷及石英联合制备的方法，其特征在于，所述步骤(3)中高温氧化反应的温度为1000～1300℃。


4.根据权利要求1～3任意一项所述的氯硅烷及石英联合制备的方法，其特征在于，所述步骤(3)中的高温氯化反应在氯化炉内进行，当第一反应残渣与氯气进行高温氯化反应，金属杂质、残存的单质硅与氯气反应生成金属氯...

【专利技术属性】
技术研发人员：银波，武珠峰，刘兴平，范协诚，宋高杰，
申请(专利权)人：新特能源股份有限公司，
类型：发明
国别省市：新疆;65