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本实用新型公开了并联式氯硅烷尾气回收系统，属于多晶硅制造技术领域，其通过布置设置跨接管路，以连通相邻两根回收管路，从而使得整个系统中的氯硅烷尾气回收装置可以共享其处理能力，使其进气余量得到充分的应用，提高了氯硅烷尾气回收装置的使用效率。...
该专利属于新疆东方希望新能源有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过新疆东方希望新能源有限公司授权不得商用。

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