基于高精度电感测头的逐级递推式纳米级测量系统技术方案

一种基于高精度电感测头的逐级递推式纳米级测量系统，包括控制部分，其特征在于还包括： 铁心（９）放置在线圈（１０）和（８）之间； 测杆（７），其一端连接铁心（９），另一端连接测杆触头（５）； 微进给装置（６）位于测杆（７）之间，根据被测物体（４）的微小位移量提供进给量。（*该技术在2012年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及纳米级测量系统，特别涉及基于高精度电感测头的逐级递推式纳米级测量系统。为实现上述目的，一种基于高精度电感测头的逐级递推式纳米级测量系统，包括控制部分，还包括铁心9放置在线圈10和8之间；测杆7，其一端连接铁心9，另一端连接测杆触头5；微进给装置6位于测杆7之间，根据被测物体4的微小位移量提供进给量。本技术针对微位移测量采用逐级递推方式进行分步推进，一方面使纳米级测量易于实现，另一方面使整个测量系统具有较大的测量范围。第一级为手动调节，调整铁芯的位置，使铁芯处在电感L1和L2的正中。因这一级要求达到的精度不高，操作并不困难。第二级和第三级都为自动调节，对不同测量段能够实现无缝对接，相当于量程能够自动切换。特别是最后一级，通过对微进给装置的纳米级补偿控制实现纳米级测量，因此，纳米级进给装置决定了该测量系统具有较高的测量精度。该测量系统采用接触方式测量，因此本系统适合准静态的微位移测量。逐级递推式纳米级测量系统分为三级，每前进一级测量精度都得到不同程度的提高。第一级为粗调整，也称手动调整。高精度电感测头固定在基座上，通过手动调整铁芯与电感L1、L2的相对位置，努力使铁芯处在本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：台宪青，胡旭晓，杨克己，
申请(专利权)人：中国科学院自动化研究所，
类型：实用新型
国别省市：