温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种基于高精度电感测头的逐级递推式纳米级测量系统，包括控制部分，其特征在于还包括： 铁心（９）放置在线圈（１０）和（８）之间； 测杆（７），其一端连接铁心（９），另一端连接测杆触头（５）； 微进给装置（６）位于测杆（７）之...
该专利属于中国科学院自动化研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院自动化研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。