测试结构及包括复数该测试结构的探针装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术关于一种测试结构，其包括一基座；一测试机构，其包括一可活动地设于该基座的探针座及一设于该探针座的探针；其中，调整该探针座可带动该探针于一第一位置及一第二位置之间移动，该第一位置及该第二位置的间距为2.00mm。本实用新型专利技术另关于一种探针装置，包括复数上述的测试结构，其中于该第二位置时，其中一该测试机构的探针与相邻的至少一该测试机构的探针错位设置。本实用新型专利技术提供的测试结构及包括复数该测试结构的探针装置，可调整一探针座相对该基座的位置，以利于拆装一探针。

【技术实现步骤摘要】
测试结构及包括复数该测试结构的探针装置
本技术有关于一种测试结构及包括复数该测试结构的探针装置。
技术介绍
习知的晶片检测机包括一机台、复数环形设置于该机台的针座、复数分别装设于其中一该针座的自由端的探针，及一可供一晶圆放置的检测台。然而，习知技术要替换探针时，由于相邻的针座设置的相当紧密，若要直接拆装探针会碰撞到邻近的针座，因此必须拆离整组的针座才能将探针拆离机台，造成拆、装上的不便且费工，再者在拆卸过程中会拉扯到电性连接于探针上的导线，造成导线的打结或损坏。因此，有必要提供一种新颖且具有进步性的探针装置，以解决上述问题。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种测试结构及包括复数该测试结构的探针装置，可调整一探针座相对该基座的位置，以利于拆装一探针。为达成上述目的，本技术提供一种测试结构，其包括一基座；一测试机构，其包括一可活动地设于该基座的探针座及一设于该探针座的探针；其中，调整该探针座可带动该探针于一第一位置及一第二位置之间移动，该第一位置及该第二位置的间距为2.00mm。在一实施例中，该探针座可线性移动定位地设于该基座，该基座包括一第一滑卡结构；该探针座包括一第二滑卡结构，该第二滑卡结构滑设于该第一滑卡结构，该第二滑卡结构与该第一滑卡结构于一垂直于该探针座的一滑移路线的第一方向上相卡抵而不能相互脱离。在一实施例中，该测试机构另包括一调节件，该调节件可移动地螺设于该第一滑卡结构及该第二滑卡结构其中一者并可松脱地迫紧另一者。在一实施例中，该第一滑卡结构及该第二滑卡结构其中一者设有二于该滑移路线上间隔设置的孔槽，该调节件可选择地插入其中一该孔槽。在一实施例中，该第一滑卡结构及该第二滑卡结构其中一者为鸠尾槽、另一者为鸠尾凸，该鸠尾槽与该鸠尾凸的形状相同，该鸠尾凸朝该鸠尾槽的槽底方向渐扩，该鸠尾凸于相对二侧设有二侧部，各该侧部包括一斜面段及一横向于该斜面段的侧面段，各该侧部的斜面段可于该第一方向上抵于该鸠尾槽。在一实施例中，该鸠尾凸朝该第一方向凸出该鸠尾槽。在一实施例中，该第二滑卡结构可拆卸地设于该探针座。在一实施例中，该探针座另以二固接件可拆卸地连接该第二滑卡结构，该探针座另定义二平行于该滑移路线的第一垂直线，该二第一垂直线各通过其中一该固接件的中心，由该第一方向观之，该调节件的轴心位于该二第一垂直线之间。在一实施例中，该调节件可移动地螺设于该第一滑卡结构及该第二滑卡结构其中一者并朝该第一方向迫紧另一者；该第一滑卡结构及该第二滑卡结构其中一者为鸠尾槽、另一者为鸠尾凸，该鸠尾槽与该鸠尾凸的形状相同，该鸠尾凸朝该鸠尾槽的槽底方向渐扩，该鸠尾凸于相对二侧设有二侧部，各该侧部包括一斜面段及一横向于该斜面段的侧面段，各该侧部的斜面段可于该第一方向上抵于该鸠尾槽；该侧面段为一朝第一方向延伸的直面；该探针座另包括一朝该第一方向延伸的悬臂，该悬臂设有一沟槽及一迫紧件，该迫紧件可移动地锁固于该悬臂，该沟槽可供设置该探针于内，该迫紧件可供朝该沟槽的方向松脱地迫紧该探针；该探针座于至少二相异端面各设有一导线沟及至少一定位件，该导线沟供一导线设置于内，各该定位件可移动地锁固于该探针座，各该定位件可供朝该导线沟的方向松脱地迫紧该导线；该探针座另包括二贯孔，该第二滑卡结构设有二于该滑移路线上间隔设置的锁孔组，各该锁孔组包括二可选择地对应该贯孔的锁孔，该二固接件穿锁该二贯孔及其中一该锁孔组的该二锁孔。在一实施例中，该探针座以一枢部为转动轴心而可相对该基座旋摆。在一实施例中，该探针座于一滑移路线可线性移动定位地设于该基座，该基座包括一第一滑卡结构；该探针座包括一第二滑卡结构，该第二滑卡结构滑设于该第一滑卡结构，该第一滑卡结构包括一第一滑抵斜面，该第二滑卡结构包括一与该第一滑抵斜面相互滑靠的第二滑抵斜面。在一实施例中，该第一滑卡结构及该第二滑卡结构其中一者为一滑槽、另一者为滑设于该滑槽的滑块，该基座包括至少一第一限位结构，该探针座包括至少一第二限位结构，各该第一限位结构及各该第二限位结构其中一者为一滑孔、另一者为可滑移于该滑槽内的凸柱。在一实施例中，该至少一第一限位结构的数量为二，该至少一第二限位结构的数量为二，其中一该第一限位结构为该凸柱，其中一该第二限位结构为该滑孔，该凸柱设有一抵缘，该抵缘于一垂直于该滑移路线的第一方向于该滑孔外抵挡该探针座而该探针座不能朝该第一方向脱离该基座。为达成上述目的，本技术另提供一种探针装置，包括复数上述的测试结构，其中于该第二位置时，其中一该测试机构的探针与相邻的至少一该测试机构的探针错位设置。本技术的优点是：本技术提供的测试结构及包括复数该测试结构的探针装置，可调整一探针座相对该基座的位置，以利于拆装一探针。附图说明图1为本技术一第一较佳实施例的立体图。图2为本技术一第一较佳实施例的分解图。图3为本技术一第一较佳实施例的剖面图。图4为图3的局部图。图5为本技术一第一较佳实施例的复数探针装置使用状态图。图6为图5的局部放大图。图7为本技术一第一较佳实施例的一探针座升高的局部放大图。图8为本技术一第二较佳实施例的使用状态图。图9为本技术一第三较佳实施例的立体图。图10为本技术一第三较佳实施例的另一立体图。图11为本技术一第三较佳实施例的局部立体图。具体实施方式以下将通过实施例说明本技术的结构特征及其预期达成的功效，惟非用以限制本技术所欲保护的范畴，合先叙明。请参考图1至图7，其显示本技术的一第一较佳实施例，本技术的测试结构1，其包括一基座10及一测试机构5。该测试机构5包括一可活动地设于该基座10的探针座20及一设于该探针座20的探针2；其中，调整该探针座20可带动该探针20于一第一位置及一第二位置之间移动，该第一位置及该第二位置的间距D为2.00mm；详细地说明，如图3，该探针座20及该探针2为实线的部分是位于该第一位置，而该探针座20及该探针2为虚线的部分是位于该第二位置；如此可调整该探针座20相对该基座10的位置并定位，以利于拆装一探针2。该探针座20可线性移动定位地设于该基座10，该基座10包括一第一滑卡结构40；该探针座20包括一第二滑卡结构50，该第二滑卡结构50滑设于该第一滑卡结构40，该第二滑卡结构50与该第一滑卡结构40于一垂直于该探针座20的一滑移路线L1的第一方向L2上相卡抵而不能相互脱离；进一步说明，该测试机构5另包括一调节件30，该调节件30可移动地螺设于该第一滑卡结构40及该第二滑卡结构50其中一者并可松脱地朝该第一方向L2迫紧另一者；该调节件30连接该第一滑卡结构40及该第二滑卡结构50。于本实施例中，该调节件30可移动地螺设于该第二滑卡结构50并朝该第一方向L2可松脱地迫紧该第一滑卡结构40，该调节件30可迫紧于一平面、一凹凸面或一孔本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种测试结构，其特征在于，包括：/n一基座；/n一测试机构，包括一可活动地设于该基座的探针座及一设于该探针座的探针；/n其中，调整该探针座可带动该探针于一第一位置及一第二位置之间移动，该第一位置及该第二位置的间距为2.00mm。/n

【技术特征摘要】
20190621 TW 1082079331.一种测试结构，其特征在于，包括：
一基座；
一测试机构，包括一可活动地设于该基座的探针座及一设于该探针座的探针；
其中，调整该探针座可带动该探针于一第一位置及一第二位置之间移动，该第一位置及该第二位置的间距为2.00mm。


2.如权利要求1所述的测试结构，其特征在于，该探针座可线性移动定位地设于该基座，该基座包括一第一滑卡结构；该探针座包括一第二滑卡结构，该第二滑卡结构滑设于该第一滑卡结构，该第二滑卡结构与该第一滑卡结构于一垂直于该探针座的一滑移路线的第一方向上相卡抵而不能相互脱离。


3.如权利要求2所述的测试结构，其特征在于，该测试机构另包括一调节件，该调节件可移动地螺设于该第一滑卡结构及该第二滑卡结构其中一者并可松脱地迫紧另一者。


4.如权利要求3所述的测试结构，其特征在于，该第一滑卡结构及该第二滑卡结构其中一者设有二于该滑移路线上间隔设置的孔槽，该调节件可选择地插入其中一该孔槽。


5.如权利要求2所述的测试结构，其特征在于，该第一滑卡结构及该第二滑卡结构其中一者为鸠尾槽、另一者为鸠尾凸，该鸠尾槽与该鸠尾凸的形状相同，该鸠尾凸朝该鸠尾槽的槽底方向渐扩，该鸠尾凸于相对二侧设有二侧部，各该侧部包括一斜面段及一横向于该斜面段的侧面段，各该侧部的斜面段可于该第一方向上抵于该鸠尾槽。


6.如权利要求5所述的测试结构，其特征在于，该鸠尾凸朝该第一方向凸出该鸠尾槽。


7.如权利要求2所述的测试结构，其特征在于，该第二滑卡结构可拆卸地设于该探针座。


8.如权利要求3所述的测试结构，其特征在于，该探针座另以二固接件可拆卸地连接该第二滑卡结构，该探针座另定义二平行于该滑移路线的第一垂直线，该二第一垂直线各通过其中一该固接件的中心，由该第一方向观之，该调节件的轴心位于该二第一垂直线之间。


9.如权利要求8所述的测试结构，其特征在于，该调节件可移动地螺设于该第一滑卡结构及该第二滑卡结构其中一者并朝该第一方向迫紧另一者；该第一滑卡结构及该第二滑卡结构其中一者为鸠尾槽...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓博文，李孟洁，詹前伟，
申请(专利权)人：惠特科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾;71