载台移动装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种载台移动装置，包括：一基座；一载台，供承载一基板，以一中心线为轴可转动地设于该基座；及至少一致动机构，设于该基座，包括至少一抵推件，该至少一抵推件可相对该载台往复移动并抵推该载台的一外周面以带动该载台转动，该至少一抵推件的一抵推中心轴偏心于该中心线。推中心轴偏心于该中心线。推中心轴偏心于该中心线。

【技术实现步骤摘要】
载台移动装置


[0001]本技术与移动装置有关，特别是有关于一种载台移动装置。

技术介绍

[0002]于半导体加工或检测作业中，多采用可移动的载台以承载一工件，以便移动或转动该工件而达到自动化及精准对位的效果。
[0003]然而，现有的载台多借由螺杆、棘齿或转动轴等机构带动而转动，结构复杂且所需的配置空间大，导致设备组装不易、生产成本高及体积大等问题，存在亟待改善的缺弊。
[0004]因此，有必要提供一种新颖且具有进步性的载台移动装置，以解决上述的问题。

技术实现思路

[0005]本技术的主要目的在于提供一种载台移动装置，结构简单且有助于薄型化。
[0006]为达成上述目的，本技术提供一种载台移动装置，包括：一基座；一载台，供承载一基板，以一中心线为轴可转动地设于该基座；及至少一致动机构，设于该基座，包括至少一抵推件，该至少一抵推件可相对该载台往复移动并抵推该载台的一外周面以带动该载台转动，该至少一抵推件的一抵推中心轴偏心于该中心线。
[0007]作为上述技术方案的优选，较佳的，另包括一轴承，其中该轴承包括一内环件及一可相对该内环件转动的外环件，该内环件抵接于该载台，该外环件抵接于该基座。
[0008]作为上述技术方案的优选，较佳的，该载台包括一中空部分及一设于该中空部分的透光板，复数吸附孔相间隔地分布于该中空部分的外周以供吸附该基板。
[0009]作为上述技术方案的优选，较佳的，另包括一感测单元，其中该感测单元包括一被测件及一设于该基座的传感器，该被测件径向凸设于该载台的该外周面，该传感器可感测该被测件的相对位置。
[0010]作为上述技术方案的优选，较佳的，另包括一光学尺模块，其中该光学尺模块包括一光学尺及一设于该基座的读头，该光学尺设于该载台的该外周面，该读头对应于该光学尺以供反馈该载台的转动位置。
[0011]作为上述技术方案的优选，较佳的，各该致动机构为一线性马达且包括二沿该载台的一厚度方向相叠设的该抵推件。
[0012]作为上述技术方案的优选，较佳的，该至少一致动机构的数量为复数，该载台定义至少一垂直且通过该中心线的径向延伸线；自各该致动机构朝该中心线观之，其中一该抵推中心轴位于一该径向延伸线的右侧，另一该抵推中心轴位于一该径向延伸线的左侧。
[0013]作为上述技术方案的优选，较佳的，该载台定义至少一垂直且通过该中心线的径向延伸线，各该抵推中心轴平行于一该径向延伸线。
[0014]作为上述技术方案的优选，较佳的，其中一该抵推中心轴与一该径向延伸线之间距不小于0.3毫米且不大于2毫米。
[0015]作为上述技术方案的优选，较佳的，该轴承包括一内环件及一可相对该内环件转
动的外环件，该内环件抵接于该载台，该外环件抵接于该基座；该载台包括一中空部分及一设于该中空部分的透光板，复数吸附孔相间隔地分布于该中空部分的外周以供吸附该基板；该载台包括一本体及一环设于该本体的陶瓷环体，各该抵推件可径向抵推该陶瓷环体；该载台另包括一可拆卸地连接于该本体的第一压板，该内环件夹设于该本体与该第一压板之间；一第二压板可拆卸地连接于该基座，该外环件夹设于该第二压板与该基座之间；该第一压板及该第二压板分别呈环形延伸；该载台移动装置另包括一感测单元，该感测单元包括一被测件及一设于该基座的传感器，该被测件径向凸设于该载台的该外周面，该传感器可感测该被测件的相对位置；该本体另包括一环凸缘，该光学尺设于该环凸缘的外周面，该被测件为一凸设于该环凸缘的挡片；各该致动机构为一线性马达且包括二沿该载台的一厚度方向相叠设的该抵推件；该至少一致动机构的数量为复数，该载台定义至少一垂直且通过该中心线的径向延伸线；自各该致动机构朝该中心线观之，其中一该抵推中心轴位于一该径向延伸线的右侧，另一该抵推中心轴位于一该径向延伸线的左侧；各该抵推中心轴平行于一该径向延伸线；其中一该抵推中心轴与一该径向延伸线的间距不小于0.3毫米且不大于2毫米；该基座包括一呈矩形的容置部，该载台设于该容置部的一中间部分，各该致动机构设于该容置部的一角隅处；及该载台移动装置另包括相互叠设的一X轴位移模块及一Y轴位移模块，该基座设于该X轴位移模块及该Y轴位移模块其中之一。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]图1为本技术一较佳实施例的立体图。
[0018]图2为本技术一较佳实施例的局部剖视图。
[0019]图3为本技术一较佳实施例的局部分解图。
[0020]图4为图3的局部放大图。
[0021]图5为本技术一较佳实施例的俯视图。
[0022]图6为图5的局部放大图。
[0023]图7为本技术一较佳实施例的局部侧视图。
[0024]其中，1:载台移动装置，2:基板，10:基座，11:容置部，12:第二压板，20:载台，21:本体，211:环凸缘，22:陶瓷环体，23:第一压板，24:中空部分，25:透光板，26:吸附孔，30:致动机构，31:抵推件，40:轴承，41:内环件，42:外环件，50:感测单元，51:被测件，52:传感器，60:光学尺模块，61:光学尺，62:读头，70:X轴位移模块，80:Y轴位移模块，A:抵推中心轴，C:中心线，D:间距，R:径向延伸线。
具体实施方式
[0025]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施
例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0026]请参考图1至7，其显示本技术的一较佳实施例，本技术的载台移动装置1包括一基座10、一载台20及至少一致动机构30。
[0027]该载台20供承载一基板2且以一中心线C为轴可转动地设于该基座10；该至少一致动机构30设于该基座10且包括至少一抵推件31，该至少一抵推件31可相对该载台20往复移动并抵推该载台20的一外周面以带动该载台20转动，该至少一抵推件31的一抵推中心轴A偏心于该中心线C。借此，该至少一致动机构30系位于该载台20的径向外侧，结构简单且有助该载台移动装置1的薄型化。
[0028]于本实施例中，该载台20定义至少一垂直且通过该中心线C的径向延伸线R，各该抵推中心轴A平行于一该径向延伸线R，如图6所示，借以抵推该载台20转动。各该抵推件31至少部分为圆柱状，各该抵推中心轴A通过一该抵推件31的一圆心；其中一该抵推中心轴A与一该径向延伸线本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种载台移动装置，其特征在于，包括：一基座；一载台，供承载一基板，以一中心线为轴可转动地设于该基座；及至少一致动机构，设于该基座，包括至少一抵推件，该至少一抵推件可相对该载台往复移动并抵推该载台的一外周面以带动该载台转动，该至少一抵推件的一抵推中心轴偏心于该中心线。2.根据权利要求1所述的载台移动装置，其特征在于，另包括一轴承，其中该轴承包括一内环件及一可相对该内环件转动的外环件，该内环件抵接于该载台，该外环件抵接于该基座。3.根据权利要求1所述的载台移动装置，其特征在于，该载台包括一中空部分及一设于该中空部分的透光板，复数吸附孔相间隔地分布于该中空部分的外周以供吸附该基板。4.根据权利要求1所述的载台移动装置，其特征在于，另包括一感测单元，其中该感测单元包括一被测件及一设于该基座的传感器，该被测件径向凸设于该载台的该外周面，该传感器可感测该被测件的相对位置。5.根据权利要求1所述的载台移动装置，其特征在于，另包括一光学尺模块，其中该光学尺模块包括一光学尺及一设于该基座的读头，该光学尺设于该载台的该外周面，该读头对应于该光学尺以供反馈该载台的转动位置。6.根据权利要求1所述的载台移动装置，其特征在于，各该致动机构为一线性马达且包括二沿该载台的一厚度方向相叠设的该抵推件。7.根据权利要求1至6任一项所述的载台移动装置，其特征在于，该至少一致动机构的数量为复数，该载台定义至少一垂直且通过该中心线的径向延伸线；自各该致动机构朝该中心线观之，其中一该抵推中心轴位于一该径向延伸线的右侧，另一该抵推中心轴位于一该径向延伸线的左侧。8.根据权利要求1至6任一项所述的载台移动装置，其特征在于，该载台定义至少一垂直且通过该中心线的径向延伸线，各该抵推中心轴平行于一该径向延伸线。9....

【专利技术属性】
技术研发人员：吴子成，
申请(专利权)人：惠特科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：