一种用于半导体工件的夹具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于半导体工件的夹具，包括第一夹持件和第二夹持件，所述第一夹持件和第二夹持件采用弹簧隐藏式内嵌连接，所述第一夹持件和第二夹持件弯钩处内侧设有数个环岛式凸起部，所述第一夹持件和第二夹持件弯钩处上表面上设有多个用于脱水晾干的冲孔，本实用新型专利技术通过设置环岛式凸起部，使夹具与半导工件镂空夹持，减少半导体工件与夹具接触面，减少污点残留，从而提高清洗效率和清洗洁净度，通过设置冲孔，能够减少半导体清洗工件两侧药液浸泡匀称度和清洗的阻力，使得工件起落时能快速凉干和脱水。起落时能快速凉干和脱水。起落时能快速凉干和脱水。

【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体工件的夹具


[0001]本技术涉及半导体清洗
，具体为一种用于半导体工件的夹具。

技术介绍

[0002]目前国内许多院校和事企单位采用经济性低成本的清洗机进行半导体工件、分立工件的清洗去污去残工作，大多数操作人员采用带防护手套在化学药槽频繁来回取件操作，久之或操作作不当难免人体遭受化学品的腐蚀危害以及晶圆工件被夹具或制具所刮伤划痕等污染。
[0003]为实现人工取件时快捷高效、间接取件无交叉污染、提高清洗效率和清洗洁净度、提高工作人员操作安全，本技术提供一种聚合物氟类塑料无金属离子等污染的防腐蚀工件夹具来取半导体工件的方便性。

技术实现思路

[0004]技术目的：提供一种用于半导体工件的夹具，实现人工取件时快捷高效、间接取件无交叉污染、提高清洗效率和清洗洁净度、提高工作人员操作安全。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]一种用于半导体工件的夹具，包括第一夹持件和第二夹持件，所述第一夹持件和第二夹持件采用弹簧隐藏式内嵌连接，所述第一夹持件和第二夹持件弯钩处内侧设有数个环岛式凸起部，
[0007]通过设置环岛式凸起部，使夹具与半导工件镂空夹持，减少半导体工件与夹具接触面，减少污点残留，从而提高清洗效率和清洗洁净度。
[0008]进一步地，所述环岛式凸起部均匀设置在所述第一夹持件和第二夹持件弯钩处内侧，所述环岛式凸起部的高度设置在3mm～8mm之间。
[0009]进一步地，所述第一夹持件和第二夹持件弯钩处上表面上设有多个用于脱水晾干的冲孔。
[0010]通过设置冲孔，能够减少半导体清洗工件两侧药液浸泡匀称度和清洗的阻力，使得工件起落时能快速凉干和脱水。
[0011]进一步地，所述第一夹持件和第二夹持件前端通过螺栓分别安装有第一平面夹嘴和第二平面夹嘴，所述第一平面夹嘴和第二平面夹嘴的平面经数控冲孔呈镂空平面。
[0012]进一步地，所述第一夹持件和第二夹持件后端开设挂钩孔，后端握柄处设置为符合人体工程学的手握纹路。
[0013]进一步地，所述第一夹持件和第二夹持件采用氟类聚合物材质，所有周边和菱角都经倒钝角处理。
[0014]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0015]通过设置环岛式凸起部，使夹具与半导工件镂空夹持，减少半导体工件与夹具接触面，减少污点残留，从而提高清洗效率和清洗洁净度；通过设置冲孔，能够减少半导体清
洗工件两侧药液浸泡匀称度和清洗的阻力，使得工件起落时能快速凉干和脱水；通过设置可拆卸、角度可旋转调节、灵活调整平面夹嘴使夹具能够夹持高精微小型的工件或圆/方片，并保证夹持两面受力均匀稳固，对工件无损伤、接触面对工件无污染。
附图说明
[0016]图1为本技术的平面结构示意图；
[0017]图2为本技术图1中C的局部放大图；
[0018]图3为本技术图1中平面夹嘴的结构示意图；
[0019]图4为本技术的平面结构示意图；
[0020]图5为本技术图4中A的局部放大图；
[0021]图6为本技术图4中平面夹嘴的结构示意图；
[0022]图7为本技术的平面结构示意图；
[0023]图8为本技术图7中B的局部放大图；
[0024]图9为本技术图7中平面夹嘴的结构示意图。
[0025]图中：1、第一夹持件；2、第二夹持件；3、嵌入式弹簧；4、环岛式凸起部；5、冲孔；6、挂钩孔；7、螺栓；8、宝塔式螺纹柱；10、第一平面夹嘴；20、第二平面夹嘴。
具体实施方式
[0026]在下文的描述中，给出了大量具体的细节以便提供对本技术更为彻底的理解。然而，对于本领域技术人员而言显而易见的是，本技术可以无需一个或多个这些细节而得以实施，在其他的例子中，为了避免与本技术发生混淆，对于本领域公知的一些技术特征未进行描述。
[0027]申请人认为，在半导体工件清洗过程中，大多数操作人员采用带防护手套在化学药槽频繁来回取件操作，久之或操作作不当难免人体遭受化学品的腐蚀危害以及晶圆工件被夹具或制具所刮伤划痕等污染。
[0028]为此，申请人设计如图1、图4、图7所示的一种用于半导体工件的夹具，包括阴阳两片呈弧形或半圆形弯钩形状组成第一夹持件1和第二夹持件2，第一夹持件1和第二夹持件2中间位置开设通孔，使得第一夹持件1和第二夹持件2能够通过隐藏式弹簧3内嵌连接，用弹簧来连接能够使夹具的松开和夹持收放自如，第一夹持件1和第二夹持2件弯钩处内侧设有均匀分布的数个环岛式凸起部4，环岛式凸起部4的高度设置在3mm～8mm之间，第一夹持件1和第二夹持件2弯钩处上表面上设有多个用于脱水晾干的冲孔5。
[0029]如图1
‑
3所述第一夹持件1和第二夹持件2的前端分别安装有第一平面夹嘴10和第二平面夹嘴20，所述第一平面夹嘴10和第二平面夹嘴20的下端设置的凸起部可以分别与第一夹持件1和第二夹持件2的前端开设的凹槽安装，所述第一平面夹嘴10和第二平面夹嘴20的凸起部的侧面设置有宝塔式螺柱8，第一夹持件1和第二夹持件2的侧面开设用于安装宝塔式螺柱的通孔，在第一平面夹嘴10和第二平面夹嘴20分别安装在第一夹持件1和第二夹持件2上时，可以根据经验和工件的形状、大小、厚薄等调节螺栓的松紧程度来粗略调整平面夹嘴的角度，主要通过宝塔式螺柱上的中空式螺帽来对平面夹嘴的角度实现精细调整，第一平面夹嘴10和第二平面夹嘴20的平面经数控冲孔呈镂空平面，有利于所夹持的半导体
工件(晶圆或单晶片)的表面或背面浸泡刻蚀覆盖率100％。
[0030]如图4
‑
6所述第一夹持件1和第二夹持件2的前端分别安装有第一平面夹嘴10和第二平面夹嘴20，所述第一平面夹嘴10和第二平面夹嘴20的下端设置的凸起部可以分别与第一夹持件1和第二夹持件2的前端开设的凹槽安装，第一夹持件1和第二夹持件2的前端开设的凹槽尺寸略大于第一平面夹嘴10和第二平面夹嘴20的下端设置的凸起部，平面夹嘴的凸起部下端开设圆形冲孔，方便使用螺栓将平面夹嘴安装在夹持件上，由于夹持件的安装凹槽略大于平面夹嘴的凸起部且二者通过螺栓固定，所以使用者可以根据经验和工件的形状、大小、厚薄等调节平面夹嘴和夹持件之间的松紧程度来灵活调整平面，实现针对短小扁平块状等分立工件、玻璃基板、坩埚、器皿等进行平面夹持取放，第一平面夹嘴10和第二平面夹嘴20的平面经数控冲孔呈镂空平面。
[0031]如图7
‑
9所述第一夹持件1和第二夹持件2的前端分别安装有第一平面夹嘴10和第二平面夹嘴20，所述第一平面夹嘴10和第二平面夹嘴20分别开设有凹槽并能与第一夹持件1和第二夹持件2前端的凸起部相吻合，第一平面夹嘴10和第二平面夹嘴20以及第一夹持件1和第二夹持件2前端的凸起部均开设有通孔，平面夹嘴和夹持件之间通过螺栓固定连接，所以使用者可以根据经验和工本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于半导体工件的夹具，包括第一夹持件(1)和第二夹持件(2)，所述第一夹持件(1)和第二夹持件(2)采用弹簧隐藏式内嵌连接，其特征在于：所述第一夹持件(1)和第二夹持件(2)弯钩处内侧设有数个用于镂空夹持半导体工件的环岛式凸起部(4)。2.根据权利要求1所述的一种用于半导体工件的夹具，其特征在于：所述环岛式凸起部(4)均匀设置在所述第一夹持件(1)和第二夹持件(2)弯钩处内侧，所述环岛式凸起部(4)的高度设置在3mm～8mm之间。3.根据权利要求1所述的一种用于半导体工件的夹具，其特征在于：所述第一夹持件(1)和第二夹持件(2)弯钩处上表面上设有多个用于脱水晾干的冲孔(5)。4.根据权利要求1所述的一种用于半导...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋孝波，
申请(专利权)人：无锡子索生化科技有限公司，
类型：新型
国别省市：