探针销对位装置制造方法及图纸

提供一种探针销对位装置，能够容易地对探针销与电极焊盘的位置的偏差量实时地进行校正，并且能够防止探针销或电子设备受到损伤。探针销对位装置(100)具备：反射镜(110)，其在探针销(331A、331B)靠近晶体振子(21)时，使电极焊盘(212P、213P)映入其中；相机(120)，其对探针销(331A、331B)、以及映入反射镜(110)的镜像进行拍摄；偏差量测量部(201)，其测量拍摄图像中的探针销(331A、331B)的位置与电极焊盘(212P、213P)的位置的偏差量；移动部(202)，其使载体(22)与探针销(331A、331B)相对移动；以及控制部(200)，其通过移动部(202)使探针销(331A、331B)与载体(22)相对移动，以使偏差量接近于零。

【技术实现步骤摘要】
探针销对位装置
本专利技术涉及探针销对位装置。
技术介绍
在具备液晶显示元件、半导体元件以及压电元件等电极的电子设备的检查或移载中会使用探针销。使探针销的前端与电子设备的电极焊盘接触从而执行电子设备的检查或移载，并且要求电极焊盘与探针销在适当的位置进行接触。在专利文献1中公开了一种用于液晶显示装置的液晶显示元件的检查系统。如专利文献1的图10所示，使探针销与液晶的电极焊盘接触的状态映入配置于侧方的反射镜，并通过相机对映入反射镜的镜像进行拍摄从而执行检查系统。通过使用反射镜和相机，能够使电极焊盘与探针销的接触位置可视化，并能够适当地观察接触状态。现有技术文献专利文献专利文献1：特开2017-96949号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题专利文献1所公开的检查系统对电极焊盘与探针销接触时的状态进行拍摄，并且在探针销与电极焊盘的位置的接触位置产生偏差时，将其反映到下一个检查对象，并对偏差量进行校正。因此，无法实时地对所拍摄的检查对象的偏差量进行校正。另外，在手动进行偏差本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种探针销对位装置，其是使载置于基台的一个面的电子设备、与前端接触到所述电子设备的电极焊盘的探针销对位的探针销的对位装置，/n所述探针销对位装置的特征在于，具备：/n反射镜，其在所述探针销靠近所述电极焊盘时，至少映出所述电子设备的电极焊盘；/n相机，其对靠近所述电极焊盘的所述探针销、以及映入所述反射镜的镜像进行拍摄；/n偏差量测量部，其测量由所述相机拍摄的图像中的、所述探针销的位置与所述电子设备的电极焊盘的位置的偏差量；/n移动部，其使所述基台与所述探针销相对移动；以及/n控制部，其通过所述移动部使所述基台与所述探针销相对移动，以使由所述偏差量测量部测量出的偏差量接近于零。/n

【技术特征摘要】
20190509 JP 2019-0888011.一种探针销对位装置，其是使载置于基台的一个面的电子设备、与前端接触到所述电子设备的电极焊盘的探针销对位的探针销的对位装置，
所述探针销对位装置的特征在于，具备：
反射镜，其在所述探针销靠近所述电极焊盘时，至少映出所述电子设备的电极焊盘；
相机，其对靠近所述电极焊盘的所述探针销、以及映入所述反射镜的镜像进行拍摄；
偏差量测量部，其测量由所述相机拍摄的图像中的、所述探针销的位置与所述电子设备的电极焊盘的位置的偏差量；
移动部，其使所述基台与所述探针销相对移动；以及
控制部，其通过所述移动部使所述基台与所述探针销相对移动，以使由所述偏差量测量部测量出的偏差量接近于零。


2.根据权利要求1所述的探针销对位装置，其特征在于，所述反射镜配置为相对于所述基台的一个面倾斜。


3.根据权利要求1或2所述的探针销对位装置，其特征在于，还具备装配有所述探针销的块体，所述反射镜...

【专利技术属性】
技术研发人员：迹边好寿，
申请(专利权)人：株式会社昭和真空，
类型：发明
国别省市：日本;JP