【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种外差干涉仪的信号处理新方法，即相位和相位整数测量法。已有技术的外差干涉仪(包括双频激光干涉仪)系统以其信噪比高，抗干扰能力强，易于实现高分辨率，测量速度快等特点，在科研和生产中得到广泛应用。已有的外差干涉仪信号处理方法中有一种是清华大学光学仪器教研组在科学基金项目“光学探针测量表面粗糙度”采用的相位测量技术。即通过测量测量信号的相位相对于参考信号的相位变化，从而获得被测物理量的变化。被测物理量的大小与相位差的关系为L＝(φ/4π)λ。这种信号处理方法具有可实现高分辩率，和可用于动态信号处理，但是它测量范围不能超过±2π，即被测物理量变化不能超过±λ/2。为了扩大测量范围，采用了分频技术，即以牺牲测量的分辨率来扩大测量范围。因此它的应用范围受到限制。本专利技术的目的是寻求一种新的外差干涉仪信号处理方法，同时具有高分辨率、大测量范围和动态信号处理功能。本专利技术的内容是采用了相位测量技术和超过2π相位变化的相位整数测量技术，实现对外差干涉仪信号和任何涉及相位测量的信号处理，包括数字相位调制方法，即将两路频率信号的相位转换成为一个调宽信号，还包括...
【技术保护点】
一种外差干涉仪信号处理方法，包括数字相位调制方法，即将两路频率信号的相位转换成为一个调宽信号，其特征在于所述的信号处理方法还包括超过π相位变化的相位整数测量方法，即由相位调制器输出的调宽信号，经过整数相位测量电路，产生被测相位差周期数变化的信号，从而实现相位整数测量。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：赵洋，李达成，曹芒，王佳，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]
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