【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于光学检测装调
,具体涉及一种两束干涉仪出射平面波光束间角度偏差标定方法,适用于光学系统装调。
技术介绍
光学系统作为天文望远镜、卫星等系统核心部件,其装调精度直接影响了光学系统性能。在系统装调中,涉及到标定两束干涉仪出射平面波角度偏差,标定精度直接影响系统装调精度。目前两束干涉仪出射角度的标定可以通过经纬仪完成,然而该方式测量精度不高,在高精度装调中无法满足实际需求。
技术实现思路
针对现有技术存在的问题和迫切技术需求,本专利技术提出一种两束干涉仪出射平面波角度偏差标定方法,提高在光学系统装调中的角度偏差测量精度。为了实现上述目的,本专利技术的标定方法包括如下步骤:(1)利用第一干涉仪对平面反射镜进行干涉测量,测量过程中通过调整平面反射镜的角度将干涉条纹调至零条纹;通过激光跟踪仪对平面反射镜面形进行测量,利用测量点拟合平面,所得第一平面的方程为a1x+b1y+c1z+d1=0,(x,y,z)为平面坐标变量,a1、b1、c1、d1为拟合系数;(2)调整平面反射镜位置,利用第二干涉仪对平面反射镜进行干涉测量,测量过程中通过调整平面反射镜的角度将干涉条纹调至零条纹;通过激光跟踪仪对平面反射镜面形进行测量,利用测量点拟合平面,所得第二平面的方程为a2x+b2y+c2z+d2=0,(x,y,z)为平面坐标变量,a2、b2、c2、d2为拟合系数;;(3)计算第一平面与第二平面出射平面波间的角度偏差本专利技术通过精确标定平面反射镜的反射平面方程,确定其法线方向,进而标定处两束平面波前的角度偏差,为后续装调精度提供保障,方法简单,容易实现,标定精度高。附 ...
【技术保护点】
一种两束干涉仪出射平面波光束间角度偏差标定方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)利用第一干涉仪对平面反射镜进行干涉测量,测量过程中通过调整平面反射镜的角度将干涉条纹调至零条纹;通过激光跟踪仪对平面反射镜面形进行测量,利用测量点拟合平面,所得第一平面的方程为a1x+b1y+c1z+d1=0,(x,y,z)为平面坐标变量,a1、b1、c1、d1为拟合系数;(2)调整平面反射镜位置,利用第二干涉仪对平面反射镜进行干涉测量,测量过程中通过调整平面反射镜的角度将干涉条纹调至零条纹;通过激光跟踪仪对平面反射镜面形进行测量,利用测量点拟合平面,所得第二平面的方程为a2x+b2y+c2z+d2=0,(x,y,z)为平面坐标变量,a2、b2、c2、d2为拟合系数;(3)计算第一平面与第二平面出射平面波间的角度偏差θ=a1a2+b1b2+c1c2a12+b12+c12·a22+b22+c22.]]>
【技术特征摘要】
1.一种两束干涉仪出射平面波光束间角度偏差标定方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)利用第一干涉仪对平面反射镜进行干涉测量,测量过程中通过调整平面反射镜的角度将干涉条纹调至零条纹;通过激光跟踪仪对平面反射镜面形进行测量,利用测量点拟合平面,所得第一平面的方程为a1x+b1y+c1z+d1=0,(x,y,z)为平面坐标变量,a1、b1、c1、d1为拟合系数;(2)调整平面反射镜位置,利用第二干涉仪对平面反射镜进...
【专利技术属性】
技术研发人员:闫力松,王辉华,李强,陈晓晨,史要涛,姜永亮,许伟才,王玉雷,胡海力,
申请(专利权)人:湖北航天技术研究院总体设计所,
类型:发明
国别省市:湖北;42
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