干燥装置、基板处理系统以及干燥方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种干燥装置、基板处理系统以及干燥方法。提供一种能够在基板的干燥时抑制凹凸图案的图案倒塌的技术。一种干燥装置，其是在利用液膜覆盖了基板的形成有凹凸图案的上表面之后使所述基板干燥的干燥装置，其具有：第1传热部，其被温度调整为第1温度，利用温度差在其与所述基板之间传递热；第2传热部，其被温度调整为与所述第1温度不同的第2温度，利用温度差在其与所述基板之间传递热；以及控制部，其控制所述第1温度和所述第2温度，而控制所述液膜的表面张力分布，从而控制所述液膜的凝聚。

【技术实现步骤摘要】
干燥装置、基板处理系统以及干燥方法
本公开涉及一种干燥装置、基板处理系统以及干燥方法。
技术介绍
专利文献1所记载的液处理系统具备：液处理装置，其向基板供给处理液而进行液处理；和控制部，其控制液处理装置。液处理装置具备保持基板的保持部和向由保持部保持着的基板的表面供给挥发性流体的第1供给部。作为挥发性流体，使用例如IPA(异丙醇)。向基板的图案形成面供给IPA。控制部使液处理装置进行挥发性流体供给处理和暴露处理。挥发性流体供给处理是从第1供给部向基板的表面供给挥发性流体而在基板表面形成液膜的处理。暴露处理是使基板的表面从挥发性流体暴露的处理。在暴露处理中，使基板旋转，并且使IPA的供给位置从基板的中心部向基板的外周部移动。另外，在暴露处理中，使基板旋转，并且使以IPA的供给位置为基准而设定于基板的径向内方的氮气的供给位置从基板的中心部向基板的外周部移动。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2014-90015号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题本公开的一技术方案提供一种能够在基板的干燥时抑制凹凸图案的图案倒塌的技术。用于解决问题的方案本公开的一技术方案的干燥装置是在利用液膜覆盖了基板的形成有凹凸图案的上表面之后、使所述基板干燥的干燥装置，其具有：第1传热部，其被温度调整为第1温度，利用温度差在其与所述基板之间传递热；第2传热部，其被温度调整为与所述第1温度不同的第2温度，利用温度差在其与所述基板之间传递热；以及控制部，其控制所述第1温度和所述第2温度，而控制所述液膜的表面张力分布，从而控制所述液膜的凝聚。专利技术的效果根据本公开的一技术方案，能够在基板的干燥时抑制凹凸图案的图案倒塌。附图说明图1是表示一实施方式的基板处理系统的俯视图。图2是表示一实施方式的基板处理系统的侧视图。图3是表示一实施方式的液处理装置的剖视图。图4是表示一实施方式的喷嘴移动机构的俯视图。图5是表示一实施方式的基板处理方法的流程图。图6是表示由一实施方式的液处理装置进行的处理的剖视图。图7是表示现有技术的干燥的剖视图。图8是表示一实施方式的干燥的剖视图。图9是表示一实施方式的干燥装置的俯视图。图10是图9所示的干燥装置的剖视图，且是沿着图9的(A)的X-X线的剖视图。图11是表示干燥装置的变形例的剖视图。图12是表示第2输送装置的变形例的剖视图。图13是图12所示的流槽的剖视图。图14是表示排液机构的变形例的剖视图。图15是表示第2输送装置的另一变形例的俯视图。图16是图15所示的第2输送装置的剖视图，且是沿着图15的(A)的XVI-XVI线的剖视图。图17是表示干燥装置的另一变形例的俯视图。图18是表示液处理装置的变形例的俯视图。图19是图18所示的液处理装置的剖视图，且是沿着图18的XIX-XIX线的剖视图。图20是表示配置于第1传热部与第2传热部之间的分隔构件的一个例子的剖视图。具体实施方式以下，参照附图而对本公开的实施方式进行说明。此外，有时在各附图中对相同的或相对应的结构标注相同的附图标记，而省略说明。在本说明书中，X轴方向、Y轴方向、Z轴方向是相互垂直的方向。X轴方向和Y轴方向是水平方向，Z轴方向是铅垂方向。图1是表示一实施方式的基板处理系统的俯视图。图2是表示一实施方式的基板处理系统的侧视图。基板处理系统1对基板100进行液处理，并使基板100干燥。基板处理系统1具备送入送出站2和处理站3。送入送出站2与处理站3相邻地设置。送入送出站2具备载置部21和第1输送部22。在载置部21载置将多张基板100以水平状态收容的多个载体C。第1输送部22与载置部21相邻地设置，在内部设置有第1输送装置23。第1输送装置23具备保持基板100的保持部。该保持部能够在水平方向和铅垂方向上移动并能够进行以铅垂轴线为中心的回转，而在载体C与交接部31之间进行基板100的输送。处理站3与第1输送部22相邻地设置。处理站3具备：交接部31、第2输送部32以及多个液处理装置33。多个液处理装置33排列设置于第2输送部32的两侧。交接部31与第1输送部22以及第2输送部32这两者相邻地设置，而在第1输送部22与第2输送部32之间交接基板100。交接部31在内部具有干燥装置34。也可以如图2所示那样使多个干燥装置34在铅垂方向上层叠。能够减少基板处理系统1的设置面积。第2输送部32在内部设置有第2输送装置35。第2输送装置35具备保持基板100的保持部。该保持部能够在水平方向和铅垂方向上移动并能够进行以铅垂轴线为中心的回转，而在交接部31与液处理装置33之间进行基板100的输送。液处理装置33对由第2输送装置35输送的基板100进行所期望的基板处理。另外，基板处理系统1具备控制装置4。控制装置4是例如计算机，如图1所示，具备CPU(中央处理单元，CentralProcessingUnit)41和存储器等存储介质42。在存储介质42中储存有控制要在基板处理系统1执行的各种处理的程序。控制装置4通过使CPU41执行被存储到存储介质42的程序，从而控制基板处理系统1的动作。另外，控制装置4具备输入接口43和输出接口44。控制装置4利用输入接口43接收来自外部的信号，利用输出接口44向外部发送信号。上述程序存储于例如能够由计算机读取的存储介质，并从该存储介质向控制装置4的存储介质42加载。作为能够由计算机读取的存储介质，可列举出例如硬盘(HD)、软盘(FD)、光盘(CD)、磁盘(MO)、存储卡等。此外，程序也可以经由互联网从服务器下载，并向控制装置4的存储介质42加载。在上述的基板处理系统1中，首先，送入送出站2的第1输送装置23从载置于载置部21的载体C取出基板100，并将取出来的基板100载置于交接部31。载置于交接部31的基板100被处理站3的第2输送装置35从交接部31取出而向液处理装置33送入。送入到液处理装置33的基板100在利用液处理装置33进行了处理之后，被第2输送装置35从液处理装置33送出而载置于交接部31。然后，载置于交接部31的处理完毕的基板100利用第1输送装置23返回载置部21的载体C。图3是表示一实施方式的液处理装置的剖视图。图4是表示一实施方式的喷嘴移动机构的俯视图。液处理装置33例如具备：处理容器51、保持部52、旋转马达53、喷嘴54、喷嘴移动机构55以及杯56。处理容器51收容保持部52、喷嘴54以及杯56。在处理容器51的顶部设置有FFU(风机过滤单元，FanFilterUnit)57。FFU57用于在处理容器51内形成下降流。保持部52将基板100水平地保持。保持部52是机械卡盘、真空吸附卡盘、或静电卡盘等。旋转马达53使本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种干燥装置，其是在利用液膜覆盖了基板的形成有凹凸图案的上表面之后使所述基板干燥的干燥装置，其中，/n该干燥装置具有：/n第1传热部，其被温度调整为第1温度，利用温度差在其与所述基板之间传递热；/n第2传热部，其被温度调整为与所述第1温度不同的第2温度，利用温度差在其与所述基板之间传递热；以及/n控制部，其控制所述第1温度和所述第2温度，而控制所述液膜的表面张力分布，从而控制所述液膜的凝聚。/n

【技术特征摘要】
20190517 JP 2019-0937801.一种干燥装置，其是在利用液膜覆盖了基板的形成有凹凸图案的上表面之后使所述基板干燥的干燥装置，其中，
该干燥装置具有：
第1传热部，其被温度调整为第1温度，利用温度差在其与所述基板之间传递热；
第2传热部，其被温度调整为与所述第1温度不同的第2温度，利用温度差在其与所述基板之间传递热；以及
控制部，其控制所述第1温度和所述第2温度，而控制所述液膜的表面张力分布，从而控制所述液膜的凝聚。


2.根据权利要求1所述的干燥装置，其中，
该干燥装置具有用于拍摄所述液膜的凝聚的拍摄部。


3.根据权利要求1或2所述的干燥装置，其中，
所述第1传热部具有供朝向所述基板喷射的第1气体流通的流路，
该干燥装置具有向所述第1传热部供给所述第1气体的第1气体供给部。


4.根据权利要求1～3中任一项所述的干燥装置，其中，
该干燥装置具备排液机构，该排液机构与所述液膜接触，使所述液膜向所述基板之外排出。


5.根据权利要求4所述的干燥装置，其中，
该干燥装置具备接触分离机构，该接触分离机构使所述排液机构相对于所述基板相对地移动，而使所述液膜与所述排液机构接触、分离。


6.根据权利要求4或5所述的干燥装置，其中，
该干燥装置具备经由所述排液机构抽吸所述液膜的抽吸机构。


7.根据权利要求1～6中任一项所述的干燥装置，其中，
该干燥装置具有加热部，该加热部配置于所述基板的径向外方，对由所述凝聚导致的暴露的开始地点赋予热。


8.根据权利要求1～7中任一项所述的干燥装置，其中，
该干燥装置具有冷却部，该冷却部配置于所述基板的径向外方，从由所述凝聚导致的暴露的结束地点吸收热。


9.根据权利要求1～8中任一项所述的干燥装置，其中，
该干燥装置在所述第1传热部与所述第2传热部之间具有阻碍热的移动的分隔构件。


10.根据权利要求1～9中任一项所述的干燥装置，其中，
该干燥装置具有将所述基板水平地保持的保持部，
该干燥装置具有水平方向驱动部，该水平方向驱动部使所述保持部相对于所述第1传热部和所述第2传热部在水平方向上相对地移动。

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【专利技术属性】
技术研发人员：森川胜洋，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP