【技术实现步骤摘要】
,电流传感器及使用该电流传感器的ic试验装置的制作方法
本专利技术涉及可以通过利用光调制器扩展测定区域的、使用该构成的电流传感器及利用该电流传感器的IC试验装置，特别是涉及高速测定流过由CMOS型IC构成的被试验IC的电源端子的静止时的微小电流、根据测定的电流值是否在正常的范围内来判定IC的优劣的IC试验装置。以往，有下述试验方法，即，测定流过被试验IC的电流，根据流过被试验IC的电源端子的电流是否在规定的范围内来测定该IC是否正常的试验方法。附图说明图15显示该试验方法之一例。由直流电源12通过电流测定部件13向被试验IC11的电源端子TVDD施加规定的电源电压VDD。电流测定部件13由用于将电流变换为电压的并联电阻器SR、将该并联电阻器SR的两端产生的电位差作为电压值取出的差动放大器DF和与该差动放大器DF的输入端子并联连接的限幅用二极管D构成。由差动放大器DF输出的电压信号在取样保持电路14以规定的定时被取样保持，由AD变换器15对该取样保持的电压进行AD变换，将其数字输出作为电流测定结果输出，输入演算处理装置16判定电流测定值是否在规定的范围内。这里，...
【技术保护点】
一种电流测定方法，其特征在于，利用电流－电压变换器将被测定电流变换为电压信号，利用该电压信号对透过光调制器的光进行相位调制，使该相位调制了的光和未被相位调制的光干扰得到干扰光，将该干扰光的强度变换为电信号，从而特定所述被测定电流的值。
【技术特征摘要】
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