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电流测定方法,电流传感器及使用该电流传感器的IC试验装置制造方法及图纸
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下载电流测定方法,电流传感器及使用该电流传感器的IC试验装置的技术资料
文档序号:2637476
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一种电流测定方法,将被测定电流变换为电压信号,利用该电压信号对透过光调制器的光进行相位调制,使该相位调制了的光和未相位调制的光干扰得到干扰光,利用该干扰光的强度测定被测定电流;一种IC试验装置,使用该电流测定方法,测定流过被试验IC的电源端...
该专利属于株式会社爱德万测试所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社爱德万测试授权不得商用。
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