【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种导电的接触单元组合件，它允许改善每个接触单元触点的定位精确性并适用于高频探头中。近年来，已经需要在一个小区域(例如10mm见方的量级)中安排成百上千个接触单元，这是由于在需要测试的半导体产品中的集成度越来越高。在使用塑料材料作为支座绝缘板的导电接触单元的情况中，当在一个小区域中形成大量孔时，其机械强度可能变得不合适，这会引起绝缘板弯曲，又会造成单个导电接触单元自由端的位置误差。再有，当每个接触单元的导电部分受到外部噪声时，它可能影响从接触对象收到的信号的波形。此外，随着半导体芯片中使用的频率越来越高，通过每个接触单元传导的高频信号可能成为外部装置的噪声源。这样，因为针部件引导孔是在高强度材料(例如金属)做成的板状件中形成的，所以有可能保证带有针部件引导孔的支座部分具有足够的机械强度，从而防止板状件的弯曲，于是可保证导电的针部件的位置准确性。即使当高机械强度材料包括易于得到的导电金属，通过在每个导电的针部件和相应通孔之间形成一绝缘膜，也能实现必要的绝缘，尽管导电的针部件和针引导孔之间仍为滑动接触。如果对每个接触单元，只在螺旋压簧的一端提供一个...
【技术保护点】
一种导电的接触单元组合件，包括一支座用于引导导电的针部件与对象接触，从而可沿轴向移动而进出一通孔；以及一收容在该通孔中的与该导电的针部件共轴的螺旋压簧，以便弹性地把该导电的针部件推出该通孔，其特征在于： 该支座包括至少一个由高机械强度材料做成的板状件；而且 该通孔包括一针部件引导孔用于引导该导电的针部件，以及一止动肩用于止动其中的导电的针部件以抵抗螺旋压簧的弹力； 该针部件引导孔是在板状件中形成的，并在其内圆周表面上形成一个绝缘膜。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
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