用于高频测量的探测头制造技术

本发明专利技术涉及一种用于高频测量的探测头（１００），它具有一个接触端（２０），用于平面结构的接触；还具有一个同轴电缆端（１８），用于与一同轴电缆（２２）相连接，于此，在接触端（２０）和同轴电缆端（１８）之间设置了一个具有至少两个导体（１２、１４）的共面导体结构（１０）。依此，在共面导体结构（１０）上，在同轴电缆端（１８）和接触端（２０）之间的一个预定的区段内，至少在一边特别在两边设置了一个支承着共面导体结构（１０）的介电体（２８）。于此，在介电体（２８）和接触端（２０）之间，探测头（１００）是如此设计成形的，使得共面导体结构（１０）的导体（１２、１４）是悬空地和针对起支承作用的介电体（２８）有弹力地加以布置的。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于高频测量的探测头，它有一个接触端，用于平面结构的接触，还有一个同轴电缆端，用于同一根同轴电缆相连，依此，在接触端和同轴电缆端之间，按照权利要求1的前序部分，设置了一个至少配有两个导体的共面导体结构。此外，本专利技术还涉及一种方法，用于制造一种高频测量用的探测头，该探测头有一个接触端，以之用于平面结构的接触，有一个同轴电缆端，以之用于同一根同轴电缆相连，依此，按照权利要求8的前序部分，在接触端和同轴电缆端之间，设置了一个至少具有两个导体的共面导体结构。为了检测例如晶片上所制造的电子开关的功能作用及其电特性，通常都使用探测头，它们机械地放置在被测电子开关的相应接触位置上。这种待测的电子开关也不断增多地产生或处理高频信号，从而对探测头产生一种应加以相应重视的阻抗。换言之，探测头必须具有一种对同被测电开关的接触相适配的阻抗，因为否则如所周知的，在误配情况下会产生相应的反射，这种反射会以非所希望的方式影响到测量结果，或者甚至会使测量根本不可能进行。即使在探测头本身上也不应产生阻抗变化，这是因为这种阻抗跃迁也产生相应的反射点之故。为此，US 4 697 143公开了一本文档来自技高网...

【技术保护点】
用于高频测量的探测头（１００、２００、３００），它具有一个接触端（２０），用于接触平面结构；一个同轴电缆端（１８），用于连接同轴电缆（２２），于此，在接触端（２０）和同轴电缆端（１８）之间设置了一个至少配有两个导体（１２、１４）的共面导体结构（１０）， 其特征在于： 在共面导体结构（１０）上，在同轴电缆端（１９）和接触端（２０）之间的一个预定的区段上至少在一边，特别在两边，安置了一个支承共面导体结构（１０）的介电体（２８），在介电体（２８）和接触端（２０）之间如此设计了探测头（１００、２００、３００），使得共面导体结构（１０）的导体（１２、１４）是悬空地、针对起支承作用的介电体（２...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：迈克尔沃利特策，
申请(专利权)人：罗森贝格尔高频技术两合公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]