一种六氟化硫的卧式反应器制造技术

本实用新型专利技术涉及一种六氟化硫的卧式反应器，包括支撑台，所述支撑台顶部设有外壳体，所述外壳体内侧设有导热内衬板，所述导热内衬板与外壳体之间设有冷水腔，所述导热内衬板内侧设有反应腔，所述外壳体两侧设有驱动电机，所述驱动电机输出端安装有搅拌杆，且所述搅拌杆贯穿外壳体伸入反应腔内，所述反应腔内的搅拌杆上设有搅拌叶片，所述搅拌叶片之间设有U型冷风管，且所述U型冷风管两端贯穿导热内衬板与外壳体，该六氟化硫的卧式反应器采用了风冷与水冷的双重冷却方式，提高了六氟化硫制备反应中的冷却效果，提高了产品的质量。

【技术实现步骤摘要】
一种六氟化硫的卧式反应器
本技术涉及一种六氟化硫的卧式反应器，属于六氟化硫生产

技术介绍
六氟化硫广泛用于半导体、高压开关、断路器和电子设备中的绝缘介质以及微电蚀刻气体，六氟化硫常以氟气和硫反应生成，由于氟硫反应是剧烈的放热反应，会产生大量的热量，会对六氟化硫的质量产生影响，而现有的冷却方式效果不好，不能及时对反应器进行冷却，影响了产品的生产质量。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题克服现有的缺陷，提供一种六氟化硫的卧式反应器，采用风冷与水冷的方式对反应环境进行降温处理，提高降温的效果与效率，提高反应的效率及效果。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种六氟化硫的卧式反应器，包括支撑台，所述支撑台顶部设有外壳体，所述外壳体内侧设有导热内衬板，所述导热内衬板与外壳体之间设有冷水腔，所述导热内衬板内侧设有反应腔，所述外壳体两侧设有驱动电机，所述驱动电机输出端安装有搅拌杆，且所述搅拌杆贯穿外壳体伸入反应腔内，所述反应腔内的搅拌杆上设有搅拌叶片，所述搅拌叶片之间设有U型冷风管，且所述U型冷风管两端贯穿导热内衬板与外壳体。进一步的，所述支撑台底部设有支撑腿，且所述支撑腿底部设有防滑垫。进一步的，所述外壳体顶部设有氟气进气口与硫磺进液口，且所述氟气进气口与硫磺进液口均贯穿外壳体与导热内衬板连通反应腔。进一步的，所述冷水腔分别连通有进水口与出水口，且所述进水口与出水口均设于外壳体上。进一步的，所述反应腔内对称设置的搅拌杆的转动方向相反。进一步的，所述U型冷风管一端连通有分流箱，且所述分流箱设于外壳体底部，所述分流箱之间连通有进风口。进一步的，所述U型冷风管另一端连通有集气箱，且所述集气箱设于分流箱一侧，所述集气箱底部设有出风口。进一步的，所述外壳体顶部设有六氟化硫出气口，且所述六氟化硫出气口连通反应腔。本技术的有益效果是：1、通过设置进水口、冷水腔、出水口、导热内衬板等结构，采用水冷的方式从反应腔的外表面进行降温处理，便于反应腔内热量的散出；2、通过设置U型冷风管、分流箱、进风口、集气箱、出风口等结构，从反应腔的内侧导出热量，进一步提高降温的效果，有利于反应的快速进行，提高了反应的效果；3、通过设置驱动电机、搅拌杆、搅拌叶片等结构，用于搅拌反应腔内的反应物，使反应物可以充分的接触与混合，提高反应的效率，有利于六氟化硫的生产。附图说明附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的具体实施方式一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。图1是本技术一种六氟化硫的卧式反应器的正视图；图2是本技术一种六氟化硫的卧式反应器的外壳体的内部结构示意图；图3是本技术一种六氟化硫的卧式反应器的U型冷风管的侧视图；图中标号：1、支撑台；2、外壳体；3、导热内衬板；4、冷水腔；5、反应腔；6、驱动电机；7、搅拌杆；8、搅拌叶片；9、U型冷风管；10、支撑腿；11、氟气进气口；12、硫磺进液口；13、进水口；14、出水口；15、分流箱；16、进风口；17、集气箱；18、出风口；19、六氟化硫出气口；20、加强筋。具体实施方式以下结合附图对本技术的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本技术，并不用于限定本技术。实施例1如图1-图3，一种六氟化硫的卧式反应器，包括支撑台1，所述支撑台1顶部设有外壳体2，所述外壳体2内侧设有导热内衬板3，所述导热内衬板3与外壳体2之间设有冷水腔4，便于吸收反应腔5外侧的热量，所述导热内衬板3内侧设有反应腔5，所述外壳体2两侧设有驱动电机6，所述驱动电机6输出端安装有搅拌杆7，且所述搅拌杆7贯穿外壳体2伸入反应腔5内，所述反应腔5内的搅拌杆7上设有搅拌叶片8，促进反应物的反应，所述搅拌叶片8之间设有U型冷风管9，且所述U型冷风管9两端贯穿导热内衬板3与外壳体2，进一步提高冷却的效果。更具体而言，所述支撑台1底部设有支撑腿10，且所述支撑腿10底部设有防滑垫，所述外壳体2顶部设有氟气进气口11与硫磺进液口12，且所述氟气进气口11与硫磺进液口12均贯穿外壳体2与导热内衬板3连通反应腔5，所述冷水腔4分别连通有进水口13与出水口14，且所述进水口13与出水口14均设于外壳体2上，所述反应腔5内对称设置的搅拌杆7的转动方向相反，便于气流的对流，促进反应物混合，所述U型冷风管9一端连通有分流箱15，且所述分流箱15设于外壳体2底部，所述分流箱15之间连通有进风口16，所述U型冷风管9另一端连通有集气箱17，且所述集气箱17设于分流箱15一侧，所述集气箱17底部设有出风口18，所述外壳体2顶部设有六氟化硫出气口19，且所述六氟化硫出气口19连通反应腔5，便于冷风进入与排出。实施例2如图1所示，所述外壳体2外表面设有加强筋20，提高了反应器的强度，有利于保护反应器，避免受到外力损坏。本技术工作原理：使用时，氟气及硫磺分别通过氟气进气口11与硫磺进液口12注入反应腔5内，启动驱动电机6，进而搅拌杆7带动搅拌叶片8转动，促进氟气与硫磺的混合，冷水通过进水口13进入冷水腔4内，用于吸收反应腔5内的热量，冷风通过进风口16进入分流箱15内，随后进入U型冷风管9中，从而进一步吸收反应腔5内的热量，提高了产品生产的速率。以上为本技术较佳的实施方式，本技术所属领域的技术人员还能够对上述实施方式进行变更和修改，因此，本技术并不局限于上述的具体实施方式，凡是本领域技术人员在本技术的基础上所作的任何显而易见的改进、替换或变型均属于本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种六氟化硫的卧式反应器，包括支撑台(1)，其特征在于，所述支撑台(1)顶部设有外壳体(2)，所述外壳体(2)内侧设有导热内衬板(3)，所述导热内衬板(3)与外壳体(2)之间设有冷水腔(4)，所述导热内衬板(3)内侧设有反应腔(5)，所述外壳体(2)两侧设有驱动电机(6)，所述驱动电机(6)输出端安装有搅拌杆(7)，且所述搅拌杆(7)贯穿外壳体(2)伸入反应腔(5)内，所述反应腔(5)内的搅拌杆(7)上设有搅拌叶片(8)，所述搅拌叶片(8)之间设有U型冷风管(9)，且所述U型冷风管(9)两端贯穿导热内衬板(3)与外壳体(2)。/n

【技术特征摘要】
1.一种六氟化硫的卧式反应器，包括支撑台(1)，其特征在于，所述支撑台(1)顶部设有外壳体(2)，所述外壳体(2)内侧设有导热内衬板(3)，所述导热内衬板(3)与外壳体(2)之间设有冷水腔(4)，所述导热内衬板(3)内侧设有反应腔(5)，所述外壳体(2)两侧设有驱动电机(6)，所述驱动电机(6)输出端安装有搅拌杆(7)，且所述搅拌杆(7)贯穿外壳体(2)伸入反应腔(5)内，所述反应腔(5)内的搅拌杆(7)上设有搅拌叶片(8)，所述搅拌叶片(8)之间设有U型冷风管(9)，且所述U型冷风管(9)两端贯穿导热内衬板(3)与外壳体(2)。


2.根据权利要求1所述的一种六氟化硫的卧式反应器，其特征在于：所述支撑台(1)底部设有支撑腿(10)，且所述支撑腿(10)底部设有防滑垫。


3.根据权利要求1所述的一种六氟化硫的卧式反应器，其特征在于：所述外壳体(2)顶部设有氟气进气口(11)与硫磺进液口(12)，且所述氟气进气口(11)与硫磺进液口(12)均贯穿外壳体(2)与导热内衬板(3)连通反应腔(5)。
...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾熙，李嘉磊，傅钟盛，练凯，
申请(专利权)人：福建德尔科技有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35