【技术实现步骤摘要】
本专利技术系关于测试装置测试频道校准之校准装置，以及具有此种校准装置之测试系统。
技术介绍
半导体组件在它们的制程之后必须在测试系统的协助下受到测试。为此目的，这些半导体组件，在不可见的状态下，在具有接触连接针(contact-connecting needle)之针卡(needle card)的协助下被接触连接。这些接触连接的针经由测试频道被连接至测试装置，该测试装置传送信号至被连接的集成电路并经由该测试频道接收来自集成电路之响应信号。通常，测试信号及响应信号经由一测试频道，亦即集成电路与测试装置之间之一单一线，被传输。在测试期间，除了功能之外，时间的参考(时钟)及信号的强度也被列入考虑。因为测试频道实质上不具有相同和信号延迟及信号衰减相关之相同的电性行为，因此需要校准此测试装置。每一测试器频道被设置一延迟组件以及一放大组件，以便让被引导至测试频道上的测试信号依据变化的时间期间而被延迟，或是，如果适合的话，被加速-假设一个已经存在的延迟-或依据一预定值被放大。这可以确保测试信号以相同的相位角度出现在集成电路上，亦即，具有和一参考相对之相同的时间参考以及具有实...
【技术保护点】
一种校准装置（２０，３０，４０），用以校准一测试装置（１２）之一测试频道（１４），使一衬底晶片（１）上之集成组件可以为以电子信号测试而被接触连接，该校准装置（２０，３０，４０），具有一连接装置以及具有一第一接触区域（２，４７）及与该 第一接触区域（２，４７）隔离之一第二接触区域（３，４９）之一平面接触载体，其可经由该连接装置（５）被电连接，该连接装置（５）适用于连接该第一及第二接触区域（２，３，４７，４９）至该测试装置（１２），该第一接触区域（２，４７） 实质上由该第二接触区域包围，因此，当连接至该测试装置（１２）之一针卡（１５）...
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：G弗兰科维斯基，T布克施，G布雷萨姆伦，
申请(专利权)人：因芬尼昂技术股份公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]
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