【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术总的来说涉及半导体设备的制造，更具体的说，涉及在自动测试系统相对于运料单元定位测试仪的机械系统。
技术介绍
在半导体设备的制造中，在制造操作过程中通常至少对半导体设备进行一次测试。在测试结果的基础上对设备作进一步的处理。可以通过测试将正常运行的设备与不能正常运行的设备分开。然而，还可以将测试用于将数据反馈至制造操作的其它阶段从而进行能提高正常运行设备生产率的调整。在其它情况下，测试结果用于将设备按照性能种类进行归类。例如，一个设备可能以200MHz的数据率运行，却不能以400MHz的数据率运行。测试之后，这个设备可能会归类为200MHz的设备并且以低于400MHz设备的价格出售。测试阶段还可以用于使受测试设备发生物理改变。很多带有存储器的半导体设备包含有冗余元件。如果在测试过程中发现了有缺陷的存储单元，可以将半导体设备发送至修理站，例如激光修理站，在该处对设备上的连接进行重新安排从而将有缺陷的单元断开并且在其位置上连接上冗余元件。测试通常由自动测试设备(ATE)执行。测试仪包括有产生并测量确定该设备是否正常作用所需的电信号的电路。分开的运料设备将半导...
【技术保护点】
一种属于具有运料单元和测试仪类型的自动测试系统，该自动测试系统包括测试仪定位器，包括：ａ）底部元件；ｂ）与所述底部元件滑动连接的平台；ｃ）联结在所述底部元件和所述平台之间的导引组件，该导引件具有受约束区域和适应性区域，从而导引件在该受约束区域中比在该适应性区域中对更多的自由度进行约束。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：迈克尔A丘，尼尔R本特利，
申请(专利权)人：泰拉丁公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]
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