基板检查装置以及基板检查方法制造方法及图纸

激光束辐射单元将激光束辐射到形成于基板上的多条布线中要被检查的布线的顶表面图案部分上，所述激光束具有足够高的强度从而在被辐射的部分上引起激光磨蚀或双光子吸收。ＤＣ电源经由安培计将预定电压施加在俘获从顶表面部分释放的电子的电极部分与被按压在布线的底表面图案上的接触探针之间。使用由安培计测量到的电流值来判断布线的开路状态和短路状态。由此能够容易地检查布线的开路和短路而不使探针与要被检查的基板顶表面上的布线着陆区相接触。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及基板检查装置和基板检查方法，其通过从形成在基板上的多条布线中逐一选取布线使其经受检查并通过检测流过选定布线或与选定布线相邻的布线的电流值，来检查形成在基板上的布线的不连续或开路状态以及短路状态。本专利技术适用于检查各种基板上的电布线，所述各种基板包括印刷电路板、柔性电路膜、多层布线板、用于液晶显示器或等离子体显示装置的电极板以及用于半导体封装的封装基板或膜载体。下文中，这些各种布线板一起被称为基板。
技术介绍
已经提出了多种类型的基板检查装置以检查布线或基板上的布线是否按设计精确形成。特别是由于近年来电气或电子装置的尺寸变小，用于这类装置的基板上的布线需要更为精细并且以高强度排布，并且用作检查点的布线着陆区(lands of the wirings)的数目增大同时宽度减小。这使得难以通过将检查装置的探针与着陆区或布线上的所有检查点直接接触来进行对于开路或短路的布线检查。为了解决这一问题，提出了检查布线的开路或短路而不使探针与着陆区或布线接触的基板检查装置。例如，在美国专利No.6777949中提出了一种基板检查装置，其利用了通过将激光束辐射到着陆区上而产生的电子，该专利所公开的全部内容在此引入作为参考。该专利公开了一实施例，其使用电流来检查基板，通过将UV范围内的激光束辐射到经受检查的布线的一端并通过用正电极俘获由光电效应所致从布线被辐射的一端释放出的电子来产生所述电流。在该专利中描述的装置能够检查布线的开路或短路而不使探针与基板一侧的着陆区接触。然而，由于该装置利用了光电效应，被辐射的激光束的波长受限到一特定值(称为阈值波长)，这可能会增大基板检查装置的制造成本。此外，因为阈值波长随着形成布线(着陆区)的材料(金铜等)而变化，所以被辐射的激光束的波长需要覆盖形成着陆区或布线的材料，导致了对将要使用的激光束的限制。
技术实现思路
本专利技术的一个目的是提供一种能够检查布线的开路或短路的非接触型。本专利技术的另一目的是提供一种利用用于发射带电粒子的激光束而没有上述现有技术的缺点的非接触型基板检查装置和基板检查方法。根据本专利技术的一个目的的基板检查装置检查形成在将经受检查的基板上的多条布线，从而根据两个检查点是否导通来确定在电特性方面是否符合标准。所述基板检查装置包括激光束辐射部，其以足够高的强度将激光束辐射到布线上的第一检查点上，从而导致由激光磨蚀或双光子吸收而释放出带电粒子；电极，其俘获从所述第一检查点释放出的所述带电粒子；电压施加部，其在所述电极部分和第二检查点之间施加预定量值的电压；以及，电流探测部，其串联连接到所述电压施加部并探测被所述电极俘获的所述带电粒子所引起的电流值。根据所述装置，所述激光束辐射部以足够高的强度将激光束辐射到布线上的第一检查点上，从而导致由激光磨蚀或双光子吸收而释放出带电粒子比如电子，由此通过激光磨蚀或双光子吸收而释放出足够量的带电粒子，而对于激光束波长的限制很小。由于电压施加部在这种情况下在所述电极部分和第二检查点之间施加预定量值的电压，所以电极部分俘获从所述第一检查点释放出的所述带电粒子。被俘获在电极部分中的带电粒子引起在第一检查点和第二检查点之间流过的电流，电流探测部探测该电流的值。在判断开路状态的情况下，当在选自多条布线的单一布线上的第一检查点和第二检查点之间流过的电流小于预先设定的特定值时，判断出存在连续性缺陷(出现布线的开路或不连续性)。同时，在判断短路状态的情况下，当选自多条布线的单一布线上的第一检查点与和该选定的单一布线相邻的布线上的第二检查点之间流过的电流大于预先设定的特定值时，判断出存在短路缺陷(在两条布线之间出现短路)。因为使用通过激光磨蚀或双光子吸收所释放的带电粒子来确定在电特定方面符合标准，所以使将被辐射的激光束的波长受到最小的限制。由此能够容易地检查布线的开路或短路。根据本专利技术一实施例的一个方面的基板检查装置包括强度设定部，其设定从所述激光束辐射部辐射的激光束的强度。根据该方面，由于强度设定部设定了从所述激光束辐射部辐射的激光束的强度，所以能够设定发生激光磨蚀或双光子吸收所需的合适的强度。例如，当需要高度的检查精度时，被辐射的激光束的强度被设定为在上限的最大值，从而不会在基板或者其要被检查的布线上造成损坏，相反，当基板上的损坏被限制为最小时，可以将强度设定为在探测下限的最小值。根据本专利技术一实施例的又一方面的基板检查装置包括电压设定部，其设定从所述电压施加部施加的电压。根据这一方面，因为电压设定部设定从所述电压施加部施加的电压，所以能够设定确保探测精度所需的合适的电压。例如，当需要高度的检查精度时，将要被施加的电压设定为在上限的最大值，从而不损坏基板。相反，当基板上的损坏被限制为最小时，可以将电压设定为在探测下限的最小值。根据本专利技术一实施例的又一方面的基板检查装置包括电压施加部，其以这样的方式施加电压使得在所述电极部分处的电势高于在所述第二检查点处的电势。根据这一方面，电压施加部以这样的方式施加电压使得在所述电极部分处的电势高于在所述第二检查点处的电势。这使得电极部分能够俘获通过激光磨蚀产生的电子。由此使通过激光磨蚀产生的带正电的金属离子保持在布线上的第一检查点处。因此能抑制由激光磨蚀造成的布线上的损坏。根据本专利技术一实施例的又一方面的基板检查装置包括壳体和减压部，所述壳体限定了密闭空间，第一检查点被封闭在该空间中，所述减压部降低了所述密闭空间的内部压力。当以这种方式配置时，所述壳体限定了密闭空间，在该空间中封闭了第一检查点，所述减压部降低了由所述壳体限定的所述密闭空间的内部压力。因此，激光束辐射到其上的第一检查点存在于减压空间内。由此能够抑制由于空气的存在所致的带电粒子和电子的散射。因此使带电粒子和电子被有效地俘获在电极部分中。在根据本专利技术一实施例的又一方面的基板检查装置中，电极部分被设置到壳体的侧壁；所述壳体具有由透明材料制成的顶壁；并且所述激光束辐射部通过使激光束穿过所述透明顶壁而将激光束从上方辐射到经受检查的基板上。当以这种方式配置时，俘获带电粒子的电极部分被设置到壳体的侧壁并且所述壳体的顶壁由透明材料制成。因此，所述激光束辐射部通过使激光束穿过所述透明顶壁而将激光束从上方辐射到基板上。因为激光束从上方辐射到基板上，所以易于确定其上将辐射激光束的第一检查点或着陆区上的激光束的位置。在根据本专利技术一个方面的基板检查方法中，检查形成在经受检查的基板上的多条布线，从而根据两个检查点是否导通来确定在电特性方面是否符合标准。所述基板检查方法包括以足够高的强度将激光束透射到布线上的第一检查点上，从而通过激光磨蚀和双光子吸收之一而导致带电粒子的释放；在电极部分和第二检查点之间施加预定量值的电压；使用所述电极部分俘获从所述第一检查点释放的带电粒子；以及，探测在所述第一检查点和所述第二检查点之间流动的电流的值。根据该方法，以足够高的强度将激光束投射到布线上的第一检查点上，从而通过激光磨蚀或双光子吸收而导致带电粒子的释放，并由此通过激光磨蚀或双光子吸收而释放出带电粒子。因为在电极部分和第二检查点之间施加预定量值的电压，所以从所述第一检查点释放的带电粒子被电极部分俘获。被电极部分俘获的带电粒子引起电流，该电流经由电极部分流过第一检查点和第二检查点，并且通过本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板检查装置，其检查形成在经受检查的基板上的多条布线，从而根据两个检查点是否导通来确定在电特性方面是否符合标准，所述装置包括：激光束辐射部，其以足够高的强度将激光束投射到布线上的第一检查点上，从而通过激光磨蚀和双光子吸收之一而导 致带电粒子的释放；电极部分，其俘获从所述第一检查点释放出的所述带电粒子；电压施加部，其在所述电极部分和第二检查点之间施加预定量值的电压；以及电流探测部，其串联连接到所述电压施加部，并探测由被释放的所述带电粒子引起的流 过被检查的所述布线的电流值。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：山本正美，
申请(专利权)人：日本电产丽德株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]