【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种基板检查装置，通过令销与被检查基板的配线(或者导体图案)的 检查点接触而测定该配线的电气特性，详细而言，涉及一种具有销顶端部的清洁机构的基 板检查装置，所述销顶端部的清洁机构能够在不对电气特性的测定产生影响的情况下对该 销的顶端部进行清洁。
技术介绍
基板检查装置中，令植入有多根销(也称作“测头”)的检查夹具接近被检查基板的 配线的多个检查点，测定配线的电气特性(例如电阻值)。本申请文件中使用的用语“被检查 基板”包含半导体封装用的封装基板、载膜、印刷配线基板、柔性基板、多层配线基板、液晶 显示器及等离子显示器用的电极板等的、形成有多根配线、在基板检查时令销接触而测定 电气特性的全部基板。配线上的检查点有时由比较柔软的金属例如焊锡、焊锡珠、焊锡膏等形成，在连续 地进行多张基板的检查时，若顶端部尖的销按压这样的比较柔软的金属，则有时焊锡的残 渣等附着在销上。由焊锡的残渣等附着在其上的销，有时无法进行配线的正确的电气特性 测定。因此，在检查了几张基板后，必须除去销顶端部的焊锡的残渣等。为此，以往以来，从基板检查装置取下检查夹具，在显微镜下通过手工作...
【技术保护点】
一种基板检查装置，具有： 运送机构，具有从运入部到运出部的运送路、在该运送路上以既定间隔设置的被检查基板保持部、沿上述运送路移动该被检查基板保持部的移动机构； 检查部，设置在上述运送路的中途，对被保持在上述运送机构的上述被检查基板保持部上的被检查基板顺次地进行检查，具有检查夹具，令设置在该检查夹具上的多个销与被检查基板上的配线的检查点接触，从而测定该配线的电气特性； 清洁机构，在上述运送路上设置在以既定的间隔设置的任意的相邻的被检查基板保持部之间，被上述运送机构的上述移动机构移动，在通过上述检查部时进行上述多个销的清洁。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：沼田清，
申请(专利权)人：日本电产丽德株式会社，
类型：发明
国别省市：JP
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