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进行销顶端部的清洁而不会中断连续地检查多个基板的基板检查。基板检查装置（１０、７０）具有在运送路上以既定的间隔设置的被检查基板保持部（４０）、沿运送路移动被检查基板保持部的移动机构（２２ｔ）、设置在运送路的中途而顺次检查保持在被检查基板保持...
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