进行销顶端部的清洁而不会中断连续地检查多个基板的基板检查。基板检查装置（１０、７０）具有在运送路上以既定的间隔设置的被检查基板保持部（４０）、沿运送路移动被检查基板保持部的移动机构（２２ｔ）、设置在运送路的中途而顺次检查保持在被检查基板...

本发明涉及基板检查夹具以及具备该基板检查夹具的基板检查装置。检查夹具具备用于检查薄片基板上的各单位检查基板的布线图形的检查夹具头，检查夹具头具备：多个检查用探针，用于通过与单位检查基板的布线图形上的检查点对应并接触来进行布线图形的检查；...

本实用新型是一种提供能在短时间内以较高的精确度对多个被检查电路板的配线组合进行检查的电路板检查装置。旋转桌６１的边缘部以相等的间隔设置了将被检查电路板１１固定在检查标准位置上的４个支持架１３，电路板检查装置１以９０°的步进转动旋转桌６１...

本发明是一种提供能在短时间内以较高的精确度对多个被检查电路板的配线组合进行检查的电路板检查装置和电路板检查方法。旋转桌６１的边缘部以相等的间隔设置了将被检查电路板１１固定在检查标准位置上的４个支持架１３，电路板检查装置１以９０°的步进转...

提供一种对高密度的布线图案也能有效率地进行四端子测定的基板检查装置。此基板检查装置使用多个检查用探针，该检查用探针与被设定有多个被检查点的具有多个布线的被检查基板的上述被检查点接触。各检查用探针由电压测定用探针与电流供给用探针构成。此基...

一种电路板测试设备，用于测试电路板上形成的线路连续性和／或短路，包括：电磁波辐射器，它利用电磁波辐射线路第一端部，使得由于光电效应从第一端部放出电子。利用通过电偏置使电位比线路的第二端部的电位高的电极俘获放出的电子，产生经电极流过线路的...

激光束辐射单元将激光束辐射到形成于基板上的多条布线中要被检查的布线的顶表面图案部分上，所述激光束具有足够高的强度从而在被辐射的部分上引起激光磨蚀或双光子吸收。ＤＣ电源经由安培计将预定电压施加在俘获从顶表面部分释放的电子的电极部分与被按压...

本发明的课题在于使基板检查用夹具的组装变得容易。将构成基板检查用触头（２２）的第１销体（８０）在形成测定端的一端露出于外部的状态下可滑动地插通于第１引导基部（６２）的贯穿孔（１００），将构成基板检查用触头（２２）的压缩螺旋弹簧（８４）松...