基板检查夹具以及具备该基板检查夹具的基板检查装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及基板检查夹具以及具备该基板检查夹具的基板检查装置。检查夹具具备用于检查薄片基板上的各单位检查基板的布线图形的检查夹具头，检查夹具头具备：多个检查用探针，用于通过与单位检查基板的布线图形上的检查点对应并接触来进行布线图形的检查；探针头，保持多个检查用探针；基台，保持探针头；第１移动设备，设在基台上，在与单位检查基板的面平行的面内，沿第１方向移动探针头；第２移动设备，设在基台上，在与单位检查基板的面平行的面内，沿与第１方向不同的第２方向移动探针头。通过使第１移动设备和第２移动设备的一方或两方起作用，能够修正多个检查用探针和检查点的对应的位置的偏移。？

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及能够为了使触头与在多个单位检查基板上各自形成的电路图形接触并检查该电路图形而进行检查夹具头的位置的修正的检查夹具以及具备该检查夹具的基 板检查装置。 在本专利技术中，检查基板不限于印刷电路基板，能够适用于在例如柔性基板、多层布 线基板、液晶显示器或等离子显示器用的电极板以及半导体封装用的封装基板或薄膜载体 等各种基板或者半导体晶片等形成的电气布线的检查。在该说明书中，将这些各种布线基 板统称为基板。
技术介绍
专利文献1 :日本特开平8-21867号公报 在专利文献1中，公开了这样的构成对应于将成为检查对象的多个单位检查基 板配置成多行和多列的矩阵状的薄片基板的各单位检查基板的检查点而配置各检查夹具 头，对该薄片基板内的多个单位检查基板进行一次检查。 可是，在制造将多个单位检查基板配置成矩阵状的薄片基板时，在该层压工序中， 有时候各单位检查基板的检查点从设计上的目标位置偏移。这是因为，在依照堆积构造来 制造的基板中，在利用高温压焊来固定构成基板的基体材料，从而对各层进行层压时，产生 收縮误差，由此，检查点有时候从设计上的目标位置偏移。 如果存在这样的检查点的位置偏移，则有时候检查用探针不能与检查点恰当地接 触，不能进行正确的检查，或将正常的基板判断为不良品。尤其是，即使这样的位置偏移很 小，也会随着布线图形的细密化而成为更深刻的问题。 专利文献2 :日本特开2008-170365号公报 在专利文献2中，公开了相对于横向地排列成一列的3个单位检查基板的正中的 单位检查基板而移动两侧的2个单位检查基板，调整各个之间的距离。
技术实现思路
收縮误差的修正与相邻的单位检查基板间的距离相对应，仅调整检查夹具头的位 置是不够的，因而有必要使检查夹具头沿除此以外的方向移动并进行其位置的调整。 另外，随着布线图形的细密化，有必要更正确地消除用于配置各个检查夹具头的 设定位置和检查点的位置偏移。 而且，为了在薄片基板上形成许多单位检查基板，期望能够同时地一次检查更多 的单位检查基板。 为了解决上述课题，本专利技术的检查夹具具备用于检查薄片基板上的各单位检查基 板的布线图形的检查夹具头，用于通过移动检查夹具并使检查夹具头与薄片基板上的单位 检查基板对应来进行布线图形的检查的基板检查装置。检查夹具头具备多个检查用探针， 用于通过与单位检查基板的布线图形上的检查点对应并接触来进行布线图形的检查；探针头，保持多个检查用探针；基台，保持探针头；第1移动设备，设在基台上，在与单位检查基 板的面平行的面内，沿第1方向移动探针头；以及第2移动设备，设在基台上，在与单位检查 基板的面平行的面内，沿与第1方向不同的第2方向移动探针头，其中，通过使第1移动设 备和第2移动设备的一方或两方起作用，能够修正多个检查用探针和检查点的对应的位置 的偏移。 在该检查夹具中，第1移动设备和第2移动设备能够沿相互正交的方向移动检查 夹具。而且，也可以具备在与单位检查基板的面平行的面内旋转检查夹具的旋转设备。第 l移动设备和第2移动设备也可以各自具备使检查夹具前进和后退的突出和拉扯设备。移 动设备也可以具备压电马达。能够具备多个检查夹具头。多个检查夹具头配置成矩阵状， 个别的检查夹具头能够与将单位检查基板配置成矩阵状的薄片基板的单位检查基板各自 对应。多个检查夹具头以与配置成矩阵状的单位检查基板的一部分的配置成列状的单位基 板个别对应的方式配置成列状，如果所对应的单位检查基板的检查结束，则多个检查夹具 头可以与接下来的单位检查基板的一部分的配置成列状的单位基板个别对应。在薄片基板 上，单位检查基板配置成矩阵状，另外，多个检查夹具头隔开间隔而配置，在薄片基板中，不 相邻的单位检查基板和隔开间隔而配置的检查夹具头对应。 另外，基板检查装置具备上述检查夹具；基板搬送设备，将薄片基板搬送至检查 装置；位置检测设备，检测薄片基板上的单位检查基板的位置；检查夹具移动设备，将检查 夹具移动至检查位置；以及控制装置，在与检查夹具头的多个检查用探针之间收发基板检 查用的信号并取得单位检查基板的电气特性，另外，控制多个检查夹具头的各自的第1移 动设备和第2移动设备以及旋转设备的动作，其中，通过控制装置，求出薄片基板的单位检 查基板的设计位置和由位置检测设备检测出的单位检查基板的检测位置的偏移的大小，基 于偏移的大小，控制第1移动设备和第2移动设备以及旋转设备并修正规定的检查夹具头 的位置，由此，能够使检查夹具头的检查用探针与单位检查基板的检查点恰当地接触。 依照本专利技术，可以提供一种能够沿各种方向自如地变更各检查夹具头的位置的检 查夹具以及具备该检查夹具的基板检查装置。 另外，依照本专利技术，可以提供一种能够更精密地调整各检查夹具头的位置的检查 夹具以及具备该检查夹具的基板检查装置。 而且，依照本专利技术，可以提供一种能够一次同时地检查薄片基板中的更多单位检 查基板的检查夹具以及具备该检查夹具的基板检查装置。附图说明 图1是显示薄片基板的一个示例的平面图。 图2是图1所示的薄片基板的一部分的放大平面图。 图3是本专利技术的一个实施方式的检查夹具的简略化的侧面图。 图4A是图3所示的本专利技术的一个实施方式的检查夹具的简略化的平面图。 图4B是用于说明检查夹具的一个检查夹具头的位置的调整例的简略化的平面图。 图5是显示将薄片基板放置在基板检查装置的检查位置的状态的简略化的一部 分放大侧面图。 图6是显示在薄片基板的下方配置具备2个检查夹具头的检查夹具的状态的侧面图。 图7是显示进行检查夹具头的位置的调整时的顺序的流程。 图8A是本专利技术的另一个实施方式的检查夹具的简略化的平面图。 图8B是图8A的实施方式的检查夹具的简略化的正面图。 图9是本专利技术的又一个实施方式的检查夹具的简略化的平面图。 图10A是用于说明图8A所示的共同基台的情况和图9所示的分离基台的情况的使用时的不同的平面图。 图10B是用于说明图8A所示的共同基台的情况和图9所示的分离基台的情况的 使用时的不同的平面图。 图11是用于说明使用图9所示的实施方式的检查夹具来检查薄片基板的状态的 平面图。 图12是用于说明使用图9所示的实施方式的检查夹具来检查另一个薄片基板的状态的平面图。符号说明1、100...薄片基板2...单位检查基板10...摄像机20...定位标记30...检查夹具30A、30B.检查夹具头31、41......探针头42...移动设备42X、42Y...移动装置45...基台47X、47Y...压电马达48X、48Y.测微头48tx、48ty.前端部50X、50Y...突起52X、52Y...螺旋弹簧80、80-2、80-4...检查夹具82-1、82-2...检查夹具头82-lX、82-lYl、82-lY2...移动装置82s...移动台82m...可动部82r...旋转部144X、144Y...导轨具体实施例方式以下，能够基于附图，提供本专利技术的优选实施方式的检查夹具以及具备该检查夹具的基板检查装置。 而且，在各附图中，为了容易理解，各部件的厚度、长度、形状、部件彼此的间隔等 进行放大 縮小 变形 简略化等。另外，在各图中，由根据XYZ轴的正交坐标系表示各方向。在该正交坐标系中，关于由x表本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种检查夹具，具备用于检查薄片基板上的各单位检查基板的布线图形的检查夹具头，用于通过移动该检查夹具并使所述检查夹具头与所述薄片基板上的单位检查基板对应来进行所述布线图形的检查的基板检查装置，所述检查夹具头具备：多个检查用探针，用于通过与所述单位检查基板的布线图形上的检查点对应并接触来进行该布线图形的检查；探针头，保持该多个检查用探针；基台，保持该探针头；第１移动设备，设在该基台上，在与所述单位检查基板的面平行的面内，沿第１方向移动所述探针头；以及第２移动设备，设在所述基台上，在与所述单位检查基板的面平行的面内，沿与所述第１方向不同的第２方向移动所述探针头，其中，通过使所述第１移动设备和第２移动设备的一方或两方起作用，能够修正所述多个检查用探针和所述检查点的对应的位置的偏移。

【技术特征摘要】
JP 2008-10-23 2008-273200;JP 2009-4-9 2009-095333一种检查夹具，具备用于检查薄片基板上的各单位检查基板的布线图形的检查夹具头，用于通过移动该检查夹具并使所述检查夹具头与所述薄片基板上的单位检查基板对应来进行所述布线图形的检查的基板检查装置，所述检查夹具头具备多个检查用探针，用于通过与所述单位检查基板的布线图形上的检查点对应并接触来进行该布线图形的检查；探针头，保持该多个检查用探针；基台，保持该探针头；第1移动设备，设在该基台上，在与所述单位检查基板的面平行的面内，沿第1方向移动所述探针头；以及第2移动设备，设在所述基台上，在与所述单位检查基板的面平行的面内，沿与所述第1方向不同的第2方向移动所述探针头，其中，通过使所述第1移动设备和第2移动设备的一方或两方起作用，能够修正所述多个检查用探针和所述检查点的对应的位置的偏移。2. 根据权利要求1所述的检查夹具，其特征在于，所述第1移动设备和所述第2移动设 备沿相互正交的方向移动所述检查夹具。3. 根据权利要求1所述的检查夹具，其特征在于，还具备在与所述单位检查基板的面 平行的面内旋转所述检查夹具的旋转设备。4. 根据权利要求1所述的检查夹具，其特征在于，所述第1移动设备和第2移动设备各 自具备使所述检查夹具前进和后退的突出和拉扯设备。5. 根据权利要求1所述的检查夹具，其特征在于，所述移动设备具备压电马达。6. 根据权利要求1所述的检查夹具，其特征在于，具备多个检查夹具头。...

【专利技术属性】
技术研发人员：长谷川宽，
申请(专利权)人：日本电产丽德株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]